首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂----------------请懂 ...

来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/27 17:35:07

　　10月21日，沈阳拓荆科技有限公司对外宣布，该公司承担研制的国家02重大科技专项——《90-65纳米等离子体增强化学气相沉积设备的研制与应用》项目12英寸PECVD设备成功研发，将于近日出厂，并在我国最大的芯片代工企业中芯国际进行在线测试。据介绍，该设备已完成3000片工艺测试和1万片可靠性测试，各项指标已经达到设计要求。这是我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备，标志着关键IC装备国产化实现重大突破。
　　
　　拓荆公司承担的项目是国家 “十一五”重大专项中最大单体项目之一，也是迄今为止辽宁省落实的最大的02专项国家级科研项目，项目总投资3.5亿元。
　　
　　该项目产品适用于65纳米以下集成电路生产线，是高质量薄膜材料的关键生产设备，是芯片制造过程中4种最基本、最重要的设备之一。作为集成电路生产线上的主流加工技术，12英寸PECVD设备全球每年市场份额大约100亿元，但长期以来一直被欧美以及日本等国所垄断，设备进口受到发达国家严格限制。
　　
　　拥有完全自主知识产权的 12英寸PECVD设备样机在沈阳成功研发，标志着我国在集成电路高端设备（PECVD）研究和制造领域技术达到了国际先进水平，使我国IC薄膜设备制造水平与国际IC制造业主流技术水平保持同步，完善了国内半导体重要装备的产业链，打破了国外产品的市场垄断和技术垄断，使我国有能力在IC高端设备市场上参与国际竞争，对提升我国IC制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要战略意义

http://forum.home.news.cn/detail.jsp?id=89787752
　　



　　10月21日，沈阳拓荆科技有限公司对外宣布，该公司承担研制的国家02重大科技专项——《90-65纳米等离子体增强化学气相沉积设备的研制与应用》项目12英寸PECVD设备成功研发，将于近日出厂，并在我国最大的芯片代工企业中芯国际进行在线测试。据介绍，该设备已完成3000片工艺测试和1万片可靠性测试，各项指标已经达到设计要求。这是我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备，标志着关键IC装备国产化实现重大突破。
　　
　　拓荆公司承担的项目是国家 “十一五”重大专项中最大单体项目之一，也是迄今为止辽宁省落实的最大的02专项国家级科研项目，项目总投资3.5亿元。
　　
　　该项目产品适用于65纳米以下集成电路生产线，是高质量薄膜材料的关键生产设备，是芯片制造过程中4种最基本、最重要的设备之一。作为集成电路生产线上的主流加工技术，12英寸PECVD设备全球每年市场份额大约100亿元，但长期以来一直被欧美以及日本等国所垄断，设备进口受到发达国家严格限制。
　　
　　拥有完全自主知识产权的 12英寸PECVD设备样机在沈阳成功研发，标志着我国在集成电路高端设备（PECVD）研究和制造领域技术达到了国际先进水平，使我国IC薄膜设备制造水平与国际IC制造业主流技术水平保持同步，完善了国内半导体重要装备的产业链，打破了国外产品的市场垄断和技术垄断，使我国有能力在IC高端设备市场上参与国际竞争，对提升我国IC制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要战略意义

http://forum.home.news.cn/detail.jsp?id=89787752
　　


有没有懂行的网友，来说说是个神马水平。
为什么没有人回应呢？
同求解毒
如果是真的，算不错。

关键是稳定性。

半导体制造业的上游。

奔跑的老蜗牛 发表于 2011-10-23 20:06
如果是真的，算不错。

关键是稳定性。


将于近日出厂，并在我国最大的芯片代工企业中芯国际进行在线测试.--------------这就说明是真的，不是吹牛
奔跑的老蜗牛 发表于 2011-10-23 20:06
如果是真的，算不错。

关键是稳定性。


将于近日出厂，并在我国最大的芯片代工企业中芯国际进行在线测试.--------------这就说明是真的，不是吹牛
猫头真萌~~
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面都是进口的东西，山寨还意思说自主研制，你能和美国应用材料公司比吗？ 国产坑爹设备啊～～～ 半导体别搞了，多投点钱搞新技术吧！ 半导体技术到头了！！等你消化了，别人就不玩了，哎～～ 浮躁，急功近利啊～～ 坑爹的主。
不懂，还是路过
打破垄断,就是说可以凭此压价。
不错了 四大关键设备 又解决了一个
现在曝光机都尼康的 期待曝光机国产 彩虹的那个啥好像也还不错
什么东东？
超大的高手们，来科普下嘛
四大关键设备解决了几个了。没解决的进度或现状如何了。
同求解毒！
高手现身
高手都遁了，剩下外面一批喷子。
不管是什么水平，只要打破垄断这点就足够了~
看了很多这样的新闻后,我变得很慎重了, 裤衩不轻易变色.
65->50->40->28,还差不少。
不过，东北人做的东西，总觉得不真实。
immouse 发表于 2011-10-23 22:14
65->50->40->28,还差不少。
不过，东北人做的东西，总觉得不真实。
小心被扣分   
geneshow 发表于 2011-10-23 22:18
小心被扣分
好吧，我解释一下，不是歧视东北人。
建国以来，东北一直是重要的重工业基地，但在中国向苏联学习的过程中，多数项目也放在东北进行，造成多数东北的研究所模仿能力大于创造能力。
而对于12寸技术而言，苏联并不具备(没有真正量产的产品)，因此，如果有这个项目，在上海附近进行的可能性要大一些，毕竟目前主要的芯片产业链在上海附近。
kihou 发表于 2011-10-23 20:12
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
兄弟，科研界确实有骗经费的事。但也有脚踏实地干实事的，而且是大多数。
你要指责就要有真凭实据，否则你不是在胡说八道吗？你不能因为看到有人假冒和尚行骗，就得出结论所有的和尚都是骗子，对吧？凡事严谨一些。讲讲逻辑。
immouse 发表于 2011-10-23 22:14
65->50->40->28,还差不少。
不过，东北人做的东西，总觉得不真实。
不许地域攻击，这个习惯非常的坏！
真是的，超大到底有没有高手帮忙解读一下呀？
可以，达到08年国际主流先进水平
我只知道MOCVD，最大的生产厂家是德国的爱斯强和美国的维易科....
建议去航天二炮版去问问，一般懂这行的大地主们都混那边。
四大关键设备中：光刻机，刻蚀机，气象沉积机和曝光机我们已经解决了三个，还差最难的曝光机，虽然只能达到65nm级，不过已经算可以了，毕竟世界上能够生产以上设备的不超过五个公司。这东西还是一步一个脚印来吧，总会有赶上的一天。
原来就是那个年年亏损的中芯国际啊
同求解毒！


我是做PECVD，不太清楚这个是用在什么地方，12英寸大概指的是半导体行业的吧。


我是做PECVD，不太清楚这个是用在什么地方，12英寸大概指的是半导体行业的吧。
kihou 发表于 2011-10-23 20:12
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
国家中长期战略发展规划，将集成电路制造产业的重点发展项目列为国家十六个重点支持的专项之一，位列第二，统称为02专项，并计划通过3个五年计划，使中国在集成电路制造领域赶上和超过世界先进水平。
经费真的那么好骗吗？
immouse 发表于 2011-10-23 22:24
好吧，我解释一下，不是歧视东北人。
建国以来，东北一直是重要的重工业基地，但在中国向苏联学习的过程 ...
不说别的，汉芯造假出自上海，难道上海芯片业就是造假了？地域攻击有意思么？;P
kihou 发表于 2011-10-23 20:12
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
请问能取代半导体的技术是啥子技术？
kihou 发表于 2011-10-23 20:12
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
还有你从哪儿知道这机器里面都是进口的，内部人士？
这东西就算是国家养着也不能荒废的  谁让咱现在还不行呢？
长春的光机所不是很牛么
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。  PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
骗了经费，拿不出成绩是要挨板子的，审核的相关官员要追究责任的。
在器件上，不知道核心的东西来自何方：
质量流量计-用于精确控制反应中气体的流量；
diffuser-控制气体的分布和沉积时的均匀；
射频发生器-用于产生等离子体的射频电场；
射频阻抗匹配装置-用于调节和稳定射频电场；
先想到这么多，再有还会补充。
另外，AMAT强大之处不光在于其有全套的设备生产和技术支持，
更因为其具有完整的工艺调试经验和独立的研发经验可以提供给各种各样的客户，这个才是最为重要的。
想长什么样的膜，多厚的膜，关键还在于如何去生长，而不是有没有东西拿来长膜。

另外，如果流3000片就认为算是稳定，不论真伪，那实在还处于初级阶段……
kihou 发表于 2011-10-23 20:12
中芯国际这个坑爹的项目，哪里有钱买设备，自己都半停产状态呢。
PEVCD还国产，又一个骗经费的主，机器里面 ...
呵呵，韩国就是这样从使用到仿制，现在已经走出了自己的路子，从清洗到PECVD都有自己的品牌了，这虽然看起来很不值一提，但是借SMIC的鸡，生中国国产装备制造业的蛋也是好事情。
当然，我们更要关注其中的国产化程度和自主知识产权的比重。如果是单纯仿造Endura，那是没有任何意义的……
我国首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂 首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂----------------请懂 ... (转帖)我国首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂 TG半导体装备之突围：首台国产12英寸PECVD设备出厂 达到 ... 拓荆科技12英寸半导体PECVD设备获得突破 转自新华网：我国12英寸PECVD设备实现国产化 中芯国际采购首台国产12英寸化学机械抛光机 我首台12英寸单晶炉研制成功 国内首台等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)下线 国产32一22纳米光刻机双工件台样机,15纳米压印光刻模板 ... 国产世界上首台超分辨光刻原理样机,365nm波长的汞灯光源 ... “火麒麟” J-7MF 第一架样机出厂！！！