12英寸65纳米等离子刻蚀机进入大生产线

来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/05/02 09:53:22
<br /><br />来源：中国电子报   发布者：中国电子报

要熟悉和遵从国际半导体产业的国际惯例和游戏规则


    ·国内设备企业成功需要坚持


    半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来，中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来，中国半导体行业的强劲发展不仅没有拉动中国半导体装备的发展，反而由于引进的冲击使中国的半导体设备行业濒临全军覆没。


    随着中国近年来集成电路、光伏、LED、FPD产业与国际先进水平差距的缩小，相关的配套材料、零备件、工艺设备、维护服务等支撑行业迎来了千载难逢的发展机遇。国家重大科技专项的实施，大大增强了中国半导体装备产业的整体竞争能力。


    中国近年来半导体设备产业的进步与国家重大专项的支持有关，更为重要的是中国本土芯片制造企业、太阳能电池片、显示面板企业、LED芯片制造企业的技术进步和跨越式发展拉动了设备产业的发展。北方微电子是国内第一家将半导体核心工艺设备进入主流生产线的本土设备企业。


    国产设备进入主流大生产线，首先是本土设备制造商要熟悉和遵从国际半导体产业的国际惯例和游戏规则，在各个方面一定要比国外竞争对手做得更好、更到位，设备技术工艺性能、设备价格、服务支持、备品备件、耗材成本等都要有量化指标，而且有相对的竞争优势才能获取客户的兴趣和信任。


    半导体设备产业是半导体工业的基础，是中国在未来战略性新型产业实现跨越的根本保证，这已经得到各级领导和业内专家的认同，设备产业也受到前所未有的重视和极大的关注。但是，一个先进的半导体制造工厂是可以依靠花重金引进先进设备建设起来的，而一个先进的设备工厂是无法靠引进来建成的。国际主流设备公司研发一台大型设备从立项到研发成功再到客户认可大约需要4到5年时间，研发的方向和资金的投入需要具有极高的风险控制能力，尤其是对市场、技术趋势的判断和把握，设备产业被认为是极具风险的产业。对国内设备企业来说，跟踪已非易事，要实现技术引领就更为艰难，成功需要坚持，也需要机遇。


    一家设备企业从初创到实现自负盈亏，并实现自我持续发展，最根本的是要开发出市场认可、客户需要、而且与竞争对手相比更具竞争力的产品，在销售推广、生产制造、质量控制、售后服务、财务管理、人力资源、知识产权、资本运营等各方面都具备国际一流的能力和水平，这些都需要时间，需要设备产业自身坚持不懈的努力，更需要产业界更多的理解和持续不断的支持。此次国家重大专项的目标不是突破几项关键技术、获得几项科研成果，而是通过持续不断的努力，在某些科技领域获得国际竞争优势，培育几个具有国际竞争力的世界级企业。<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
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要熟悉和遵从国际半导体产业的国际惯例和游戏规则


    ·国内设备企业成功需要坚持


    半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来，中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来，中国半导体行业的强劲发展不仅没有拉动中国半导体装备的发展，反而由于引进的冲击使中国的半导体设备行业濒临全军覆没。


    随着中国近年来集成电路、光伏、LED、FPD产业与国际先进水平差距的缩小，相关的配套材料、零备件、工艺设备、维护服务等支撑行业迎来了千载难逢的发展机遇。国家重大科技专项的实施，大大增强了中国半导体装备产业的整体竞争能力。


    中国近年来半导体设备产业的进步与国家重大专项的支持有关，更为重要的是中国本土芯片制造企业、太阳能电池片、显示面板企业、LED芯片制造企业的技术进步和跨越式发展拉动了设备产业的发展。北方微电子是国内第一家将半导体核心工艺设备进入主流生产线的本土设备企业。


    国产设备进入主流大生产线，首先是本土设备制造商要熟悉和遵从国际半导体产业的国际惯例和游戏规则，在各个方面一定要比国外竞争对手做得更好、更到位，设备技术工艺性能、设备价格、服务支持、备品备件、耗材成本等都要有量化指标，而且有相对的竞争优势才能获取客户的兴趣和信任。


    半导体设备产业是半导体工业的基础，是中国在未来战略性新型产业实现跨越的根本保证，这已经得到各级领导和业内专家的认同，设备产业也受到前所未有的重视和极大的关注。但是，一个先进的半导体制造工厂是可以依靠花重金引进先进设备建设起来的，而一个先进的设备工厂是无法靠引进来建成的。国际主流设备公司研发一台大型设备从立项到研发成功再到客户认可大约需要4到5年时间，研发的方向和资金的投入需要具有极高的风险控制能力，尤其是对市场、技术趋势的判断和把握，设备产业被认为是极具风险的产业。对国内设备企业来说，跟踪已非易事，要实现技术引领就更为艰难，成功需要坚持，也需要机遇。


    一家设备企业从初创到实现自负盈亏，并实现自我持续发展，最根本的是要开发出市场认可、客户需要、而且与竞争对手相比更具竞争力的产品，在销售推广、生产制造、质量控制、售后服务、财务管理、人力资源、知识产权、资本运营等各方面都具备国际一流的能力和水平，这些都需要时间，需要设备产业自身坚持不懈的努力，更需要产业界更多的理解和持续不断的支持。此次国家重大专项的目标不是突破几项关键技术、获得几项科研成果，而是通过持续不断的努力，在某些科技领域获得国际竞争优势，培育几个具有国际竞争力的世界级企业。<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
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好事，加油吧
加油吧!我为你骄傲
我是搞应用级编程的，强烈希望中国自己的系统级核心程序早日出现。
这个不得了，不过好象生产液晶面板的曝光机都是进口鬼子的啊，那个技术水平可比这个差远了，有谁能解释一下？
今天的新闻联播报道了，支持中国IT事业的发展。
再接再厉:)[:a15:]
chengzhibo 发表于 2010-10-22 21:24


这不是一回事...
虽然我们在光刻机上有差距
但也不能这么比...
回看新闻联播了，很兴奋
这个要能有突破可是不得了的事情。基础装备制造业，加油！
顶，这样的重大专项越多越好！

这个不得了，不过好象生产液晶面板的曝光机都是进口鬼子的啊，那个技术水平可比这个差远了，有谁能解释一下 ...
chengzhibo 发表于 2010-10-22 21:24


又是在"岳飛戰張飛，關公鬥秦瓊"。

記住這些名字 - Asml, Nikon,Cannon，其他的基本上很困難! 因為今日要發展一套成功的曝光機不單是自己要有最強的技術，還需要配合光阻與光罩供應商，客戶製程要求，客戶的客戶的認證，SEMI標準....,這個投資大到超級大腳企業才能玩得起，就是政府支持也玩不下去的。
这个不得了，不过好象生产液晶面板的曝光机都是进口鬼子的啊，那个技术水平可比这个差远了，有谁能解释一下 ...
chengzhibo 发表于 2010-10-22 21:24


又是在"岳飛戰張飛，關公鬥秦瓊"。

記住這些名字 - Asml, Nikon,Cannon，其他的基本上很困難! 因為今日要發展一套成功的曝光機不單是自己要有最強的技術，還需要配合光阻與光罩供應商，客戶製程要求，客戶的客戶的認證，SEMI標準....,這個投資大到超級大腳企業才能玩得起，就是政府支持也玩不下去的。
希望越来越好。。。

又是在"岳飛戰張飛，關公鬥秦瓊"。

記住這些名字 - Asml, Nikon,Cannon，其他的基本上很困難! 因為 ...
151905 发表于 2010-10-24 05:57


你的这些“超级大脚”要是能卖的话，中国收购跟玩似的，技术有差距这承认，跟中国说玩大，你看看现在是什么时候了
又是在"岳飛戰張飛，關公鬥秦瓊"。

記住這些名字 - Asml, Nikon,Cannon，其他的基本上很困難! 因為 ...
151905 发表于 2010-10-24 05:57


你的这些“超级大脚”要是能卖的话，中国收购跟玩似的，技术有差距这承认，跟中国说玩大，你看看现在是什么时候了
chengzhibo 发表于 2010-10-22 21:24
这个你放心，技术封锁，国内想买也买不到。
加油吧
;P封锁什么啊！！现在设备根本不是买不到，主要是自己的工艺流程的开发。
回复 1# malsal

好消息啊:D
还有两代的差距，不过仍然是巨大的进步；
啥时候全部芯片生产设备可以自产，哪怕落后最先进工艺一、两代也不要紧。
chengzhibo 发表于 2010-10-22 21:24


   TFT的曝光机是佳能的天下，MPA系列的，国内没能力仿制……
观光团员 发表于 2010-10-24 15:03


    国内正在使用的光MPA7800至少就有40台以上……这个出口没有限制的
戒骄戒躁 继续努力 国货当自强
151905 发表于 2010-10-24 05:57


    这三大仅仅是STEPPER,而ALINGER光刻机的话厂商很多的，比如SUSS,比如EVG，对应BUMPING，MEMS，IC，LCD，OLED都有相应的光刻设备，大家潜意识里认为光刻机就是都该像ASML 1950Hi和尼康NSR 610系列那样肯定是眼光太高了:D
这新闻稿根本就没说光刻设备嘛，又被歪楼了;P干嘛一看到半导体制造就想到光刻呢？刻蚀和离子注入也很重要嘛，就是清洗设备，那也是不可或缺的嘛;P
sunbamboo124 发表于 2010-10-24 23:41


    IC方面的，连1950Hi和S620D都向中国推销了，而且是很积极滴，结果中国人还看不上S620D.。。。。。。尼康泪目了，至于理由嘛和大腕里说的一样，买个日本车都不好意思和别人打招呼口牙。。。。。。。。

以上纯属胡说，仅增笑耳。。。。:D
LPC2103 发表于 2010-10-25 10:40


    塔西卡尼……HITACHI High Tech的都根本卖不出去……
sunbamboo124 发表于 2010-10-25 11:00


    可是S620D可是真的好东西啊，世界上第一台45NM节点的ArF光源浸没式的SCANNER，INTEL也在用呢，还适用于32NM和22NM。。。。。。
sunbamboo124 发表于 2010-10-25 11:00


    在关键尺寸-SEM上还是有日立的机台的
回复 25# LPC2103


这是典型的洋奴心态吧？买个欧洲车就很有面子了？

回复  LPC2103


这是典型的洋奴心态吧？买个欧洲车就很有面子了？
东亚人 发表于 2010-10-25 11:24

IC方面的，连1950Hi和S620D都向中国推销了，而且是很积极滴，结果中国人还看不上S620D.。。。。。 ...
以上纯属胡说，仅增笑耳。。。。:D
LPC2103 发表于 2010-10-25 10:40





    都说了认真你就输了;P
回复  LPC2103


这是典型的洋奴心态吧？买个欧洲车就很有面子了？
东亚人 发表于 2010-10-25 11:24

IC方面的，连1950Hi和S620D都向中国推销了，而且是很积极滴，结果中国人还看不上S620D.。。。。。 ...
以上纯属胡说，仅增笑耳。。。。:D
LPC2103 发表于 2010-10-25 10:40





    都说了认真你就输了;P
查了下，这个新闻说的就是北方微电子和中微，北方微电子立足于国内市场，中微立足于国外，http://info.ledgb.com/detail-a42-65433.html
盛美半导体的清洗设备也打进韩国市场了。
不是中微，是中信科，七星华创的马甲，和中微没关系
LPC2103 发表于 2010-10-25 12:13

主要就是这3家在做刻蚀吧，中微08年不是有90nm刻蚀机打进台积电么？现在65nm的还没投产啊，那不是已经落后于那2家了嘛。

主要就是这3家在做刻蚀吧，中微08年不是有90nm刻蚀机打进台积电么？现在65nm的还没投产啊，那不是已经落 ...
东亚人 发表于 2010-10-25 12:31



    中微现在在搞45NM的，65NM早投产了，都已经在TSMC的生产线上运转了一年多
主要就是这3家在做刻蚀吧，中微08年不是有90nm刻蚀机打进台积电么？现在65nm的还没投产啊，那不是已经落 ...
东亚人 发表于 2010-10-25 12:31



    中微现在在搞45NM的，65NM早投产了，都已经在TSMC的生产线上运转了一年多
:'):')国内的65NM的光刻机什么时候能够实现商品化，不过成都光电所是好像有开发这类的产品。
LPC2103 发表于 2010-10-25 11:12


    Intel一直是尼康粉，坚定不移...
chinatemplar 发表于 2010-10-25 16:44


    准确地说INTEL谁的粉也不是，因为INTEL多年来一直选择大致40%的ASML机台和60%的尼康机台这个比例组合
ASML是个集成商而已，说不好听点就是个壳子企业，光刻机最精密的部分就是透镜/反射镜组，大概占成本的75%。这是光刻机最核心的部件，很难很高端。需要加工到极高的形状精度和粗糙度，而且随着制程的提高，对精度的要求也越高。100nm制程需要加工到RMS 0.5nm的面形精度和0.2nm粗糙度。EUVL要求更高，因为软X射线的波长极短，巴掌大的反射镜误差不能超过两个原子，近乎于“完美制造”。这方面欧美日也差不多，但荷兰这种小国是做不了的，ASML扮演的是集成商的角色，德国Zeiss给它做透镜组。两家已经合作多年，两个国家的关系也是欧洲最亲密的。众所周知磨玻璃是德国佬的强项，但你可能想不到，德国Zeiss的加工设备却是美国QED提供的。

QED公司的MRF机床是目前效率最高、最稳定、成本最低的磨玻璃设备。虽然不再制造光刻机透镜，美国依然占据精密光学领域的制高点，另外光刻机透镜的材料是高纯度完美生长的光学晶体，这方面美国也极为强悍。同样因为军事需求，红外焦平面阵列需要极高品质的半导体晶体，美国人的分子束外延（MBE）独步天下。

耗材，包括各种超高纯试剂、光阻材料和掩膜以及光刻胶。同样制程越先进，对纯度和精度要求也越高。这方面JSR和TOPPAN领先。
回复 35# 175799023


Stepper/Scanner实用化还有相当一段距离，这个还不容乐观，MII和大日本印刷旗下的DaiNippon Printing结成战略技术联盟，准备要在2013年实用化打败EUV。

回复  175799023


Stepper/Scanner实用化还有相当一段距离，这个还不容乐观，MII和大日本印刷旗下的D ...
东亚人 发表于 2010-10-25 18:03
;P 人家中电45所的0.5微米Stepper光刻机早在2003年就已经实用化了
回复  175799023


Stepper/Scanner实用化还有相当一段距离，这个还不容乐观，MII和大日本印刷旗下的D ...
东亚人 发表于 2010-10-25 18:03
;P 人家中电45所的0.5微米Stepper光刻机早在2003年就已经实用化了
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