超级军网北方微电子NMC 14纳米等离子硅刻蚀机出货～科普文转～72 ...
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/29 04:23:51
2016-08-05 全球半导体观察
近日，由北方微电子自主研发的国内首台12英寸14纳米FinFET等离子硅刻蚀机正式进入上海集成电路研发中心（“ICRD”），与客户共同开展研发工作。
上海集成电路研发中心于2002年12月组建成立，2007年5月被国家发展和改革委员会等六部委核准为国家级集成电路研发中心。此次14纳米高端微电子装备的顺利进厂标志着中国集成电路装备技术取得了新的突破，也预示着中国集成电路产业即将迈入全新的技术时代。
14纳米集成电路制造技术是目前世界最先进的半导体工艺制造技术，自14nm(包括14nm)之后，采用FinFET 3D结构工艺已成为主流技术。
14纳米FinFET是一种新型多栅3D晶体管，和传统的平面型晶体管相比，FinFET器件具有更显着的功耗和性能优势，14nm FinFET 3D工艺引入了截然不同的工艺流程，这对其流程中的关键制造设备带来了更高的挑战！
作为中国自主开发集成电路高端制造装备的先行者，北方微电子NMC 612D 14nm FinFET刻蚀机以全新的设计理念来实现14nm FinFET刻蚀工艺的要求。
设备采用了新开发的同步脉冲等离子技术，通过对等离子体的实时控制和诊断来实现低损伤和高选择比，采用多区ESC以获得更高的CD均匀性，增加高温上电极的设计来降低缺陷，增大Throughput，设备多项关键指标达到国际先进水平。
NMC 612D 14纳米等离子硅刻蚀机Move in上海集成电路研发中心是北方微电子通过技术创新取得又一重要成绩。凭借机台优异的性能和28nm的成功经验，期待NMC 612D14纳米等离子硅刻蚀机创造更多的优异成绩。
来源：北方微电子
http://www.aiweibang.com/m/detail/138284961.html?from=p
2016-08-05 全球半导体观察
近日，由北方微电子自主研发的国内首台12英寸14纳米FinFET等离子硅刻蚀机正式进入上海集成电路研发中心（“ICRD”），与客户共同开展研发工作。
上海集成电路研发中心于2002年12月组建成立，2007年5月被国家发展和改革委员会等六部委核准为国家级集成电路研发中心。此次14纳米高端微电子装备的顺利进厂标志着中国集成电路装备技术取得了新的突破，也预示着中国集成电路产业即将迈入全新的技术时代。
14纳米集成电路制造技术是目前世界最先进的半导体工艺制造技术，自14nm(包括14nm)之后，采用FinFET 3D结构工艺已成为主流技术。
14纳米FinFET是一种新型多栅3D晶体管，和传统的平面型晶体管相比，FinFET器件具有更显着的功耗和性能优势，14nm FinFET 3D工艺引入了截然不同的工艺流程，这对其流程中的关键制造设备带来了更高的挑战！
作为中国自主开发集成电路高端制造装备的先行者，北方微电子NMC 612D 14nm FinFET刻蚀机以全新的设计理念来实现14nm FinFET刻蚀工艺的要求。
设备采用了新开发的同步脉冲等离子技术，通过对等离子体的实时控制和诊断来实现低损伤和高选择比，采用多区ESC以获得更高的CD均匀性，增加高温上电极的设计来降低缺陷，增大Throughput，设备多项关键指标达到国际先进水平。
NMC 612D 14纳米等离子硅刻蚀机Move in上海集成电路研发中心是北方微电子通过技术创新取得又一重要成绩。凭借机台优异的性能和28nm的成功经验，期待NMC 612D14纳米等离子硅刻蚀机创造更多的优异成绩。
来源：北方微电子
http://www.aiweibang.com/m/detail/138284961.html?from=p
用不了十年20年，半导体工艺也会给做成白菜价
再怎么高精尖的神器都能包装的如此土鳖。
这个必须啪啪啪鼓掌
一步一个台阶地前进，甚好。
不懂 这个是什么 是不是以后能自己做手机CPU之类的东东了
祝贺，基本可以算是主流产品了
IC产业的关键制造设备之一。
是不是可以横扫4v和棒子了
这就是令兔子蛋疼了几十年的光刻机吗？
祝贺。。。。
我还是一直以来的说法。技术的领域没有无法到达的，需要的只是时间跟投入。外国人有的，天朝也会有的
E博士请出来评价几句吧……是不是客户捏着鼻子买的……
中国的科技人员们得加油，看中国的运动员在赛场上被黑的多惨就知道西方国家有多无耻，我们报答的方式就是继续将高科技白菜化，让他们无路可走，子孙都去要饭。
有没有专家科普一下，这个是什么东东，在世界上啥水平
感觉高大上？
感觉高大上？
光刻机如果突破了，哪就完美了！
估计棒子吧子又不高兴了。
有没有所谓的内部人士讲解讲解
这是半导体工业主要设备的一项，其他还有光刻机、沉淀机等，光刻机最难。
仪式是不是有点太简单了
记得我捅炉子那时候，是4寸的石英管，不过已经是挺先进的了，国内的厂子，一般还都是2寸的，7、8个um的。
有次老师说，加工厂刚做好一个管子，你去取一下吧。于是我就骑上破自行车，到了那边，一手扶把，一夹着石英管，就给运回来了。你说我们落后？但那时台集电还没成立呢。
后来的半导体，完全是走了弯路， 花钱不少，没啥成效。
有次老师说，加工厂刚做好一个管子，你去取一下吧。于是我就骑上破自行车，到了那边，一手扶把，一夹着石英管，就给运回来了。你说我们落后？但那时台集电还没成立呢。
后来的半导体，完全是走了弯路， 花钱不少，没啥成效。
支持一下。。。。
好东西 多多益善 纳米机器人就靠你们了
记得我捅炉子那时候，是4寸的石英管，不过已经是挺先进的了，国内的厂子，一般还都是2寸的，7、8个um的。
...
工业基础太差
发展高端就上不去
...
工业基础太差
发展高端就上不去
基础是很差，但决策问题更大。当时钱、资源和最好的人才，都投到电路设计上去了，工艺根本没人管。
很多年都是这样，重设计轻工艺，扔了多少钱进去？一事无成。
台湾为何后来搞得这么厉害？就是完全放弃设计，只做工艺，当年台湾连懂半导体的人都没有。
很多年都是这样，重设计轻工艺，扔了多少钱进去？一事无成。
台湾为何后来搞得这么厉害？就是完全放弃设计，只做工艺，当年台湾连懂半导体的人都没有。
中国的科技人员们得加油，看中国的运动员在赛场上被黑的多惨就知道西方国家有多无耻，我们报答的方式就是继 ...
白鬼永远都看不起黄色人种的。
白鬼永远都看不起黄色人种的。
超大需要好听话 发表于 2016-8-13 08:14
白鬼永远都看不起黄色人种的。
那也是因为人家的成就太高 现代文明的起源就是白人
白鬼永远都看不起黄色人种的。
那也是因为人家的成就太高 现代文明的起源就是白人
记得我捅炉子那时候，是4寸的石英管，不过已经是挺先进的了，国内的厂子，一般还都是2寸的，7、8个um的。
...
我用的石英管最粗300mm多，不过不是用来做硅。化合物半导体，4-8吋材料外延。
...
我用的石英管最粗300mm多，不过不是用来做硅。化合物半导体，4-8吋材料外延。
好东西！又打破一项国外垄断。
bobcat 发表于 2016-8-13 07:59
记得我捅炉子那时候，是4寸的石英管，不过已经是挺先进的了，国内的厂子，一般还都是2寸的，7、8个um的。
...
求教，捅炉子是干啥活，看你的意思不像是字面意思。
记得我捅炉子那时候，是4寸的石英管，不过已经是挺先进的了，国内的厂子，一般还都是2寸的，7、8个um的。
...
求教，捅炉子是干啥活，看你的意思不像是字面意思。
这绝对是一大突破！回想两年前与朋友谈起芯片制造工艺时还在慨叹中国只能设计制作40nm，与国外水平相差三代；而今，仅仅过了两年多的时间，就已经站在制造工艺的前端了，可喜可贺！
这是半导体工业主要设备的一项，其他还有光刻机、沉淀机等，光刻机最难。
中国能不能做出靠谱的光刻机？
中国能不能做出靠谱的光刻机？
抢劫 发表于 2016-8-13 06:51
中国的科技人员们得加油，看中国的运动员在赛场上被黑的多惨就知道西方国家有多无耻，我们报答的方式就是继 ...
呵呵，未全面碾压之前，你任何一个突破都只会招来更多的“被黑”，那是嫉妒与恨啊。
中国的科技人员们得加油，看中国的运动员在赛场上被黑的多惨就知道西方国家有多无耻，我们报答的方式就是继 ...
呵呵，未全面碾压之前，你任何一个突破都只会招来更多的“被黑”，那是嫉妒与恨啊。
用不了十年20年，半导体工艺也会给做成白菜价
把那些吸食世界人民血汗的强盗国家的产业，一个一个的摧毁！
把那些吸食世界人民血汗的强盗国家的产业，一个一个的摧毁！
中国能不能做出靠谱的光刻机？
目前只有上海微电子搞的90nm工艺光刻机
目前只有上海微电子搞的90nm工艺光刻机
基础是很差，但决策问题更大。当时钱、资源和最好的人才，都投到电路设计上去了，工艺根本没人管。
很多 ...
台湾不能做例子，都是买来的设备，中国大陆要买是会被禁运的，台湾所谓工艺不是研发出来的
很多 ...
台湾不能做例子，都是买来的设备，中国大陆要买是会被禁运的，台湾所谓工艺不是研发出来的
这就是令兔子蛋疼了几十年的光刻机吗？
不是，是后端的
不是，是后端的
目前只有上海微电子搞的90nm工艺光刻机
还可以。再加把劲。我一直以为生产不了这个东西。
还可以。再加把劲。我一直以为生产不了这个东西。
光刻机最强好像一直是荷兰的ASML吧，和日本没多大关系。
有没有所谓的内部人士讲解讲解
无非就是，你没有的时候说你造不出来，体制问题。
造出来了说质量不好，没人买，体制问题。
卖出去了，说是政治任务，被逼买的，体制问题。
卖家表现的很乐意，价格便宜量又足，它们又说是买家需求低，买些低档次的东西将就用。国外的才是高级货，买来了也用不着。体制问题。
中国有大量的喷子存在，中国人素质低，体制问题……
无非就是，你没有的时候说你造不出来，体制问题。
造出来了说质量不好，没人买，体制问题。
卖出去了，说是政治任务，被逼买的，体制问题。
卖家表现的很乐意，价格便宜量又足，它们又说是买家需求低，买些低档次的东西将就用。国外的才是高级货，买来了也用不着。体制问题。
中国有大量的喷子存在，中国人素质低，体制问题……