超级军网浸入式光刻的初浅知识~~~~~~
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/29 02:46:40
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内容很直观哦~~~
桃mm 这马甲也太明显了 :L
相当的冷啊~~~~~:L
主号呢？
不错，65nm
浸入时候用什么溶剂做介质呢？
请看第二副图~~~~
哦……
原帖由 李药师 于 2008-9-12 23:36 发表
哦……
zheyangbuyongkoufenme?:D
banzhumeikandao :D
似懂非懂的好像有了一个大体的印象~~~~~~~~~
相当不错的科普资料！很好！
不过有一幅图里面不应该写缩小透镜，而应该写聚焦透镜或者凸透镜，日常称呼是放大镜。
不过有一幅图里面不应该写缩小透镜，而应该写聚焦透镜或者凸透镜，日常称呼是放大镜。
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那叫聚焦！叫缩小透镜，会有歧义的！一般而言缩小透镜是指凹透镜，但是这里用的是聚焦透镜组。叫缩小镜头也可以，但不要叫缩小透镜，有歧义。
这个和洗照片用的放大箱很接近，是放大箱的反应用。放大箱作用是把底片放大到照片。放大箱里的透镜组叫做放大镜头，而不叫放大透镜！
明白否！
这个和洗照片用的放大箱很接近，是放大箱的反应用。放大箱作用是把底片放大到照片。放大箱里的透镜组叫做放大镜头，而不叫放大透镜！
明白否！
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LS的和LS的LS,不要吵了~~~~~~~~~:L
嗨,怪偶没说清楚~~~~~~~~~~~
透镜系统是由一整套CaF单晶体构成的复杂透镜系统~~~~~~~
整个透镜系统的目标就是把准分子光源照射MASK后在涂上光刻胶硅片上清晰地成一个极小极细微的像,有正,负之分~~~~~~
STEPPER的最后一套组镜头就是叫缩小透镜,不存在歧义,物距决定了其不可能放大的~~~~~~~~~
我们FAB里都是这么叫的,需要贴论文出来吗?~~~~~~~~~~~~
xcxy 以这个和洗洗照片用的放大箱的反应用来解释是不对的~~~~~~~~~~~
凸透镜是放大还是缩小由物距和焦距决定~~~~~~~~~~~
希望大家不要在我的贴子里吵了,好吗?~~~~~~~:lol :lol
嗨,怪偶没说清楚~~~~~~~~~~~
透镜系统是由一整套CaF单晶体构成的复杂透镜系统~~~~~~~
整个透镜系统的目标就是把准分子光源照射MASK后在涂上光刻胶硅片上清晰地成一个极小极细微的像,有正,负之分~~~~~~
STEPPER的最后一套组镜头就是叫缩小透镜,不存在歧义,物距决定了其不可能放大的~~~~~~~~~
我们FAB里都是这么叫的,需要贴论文出来吗?~~~~~~~~~~~~
xcxy 以这个和洗洗照片用的放大箱的反应用来解释是不对的~~~~~~~~~~~
凸透镜是放大还是缩小由物距和焦距决定~~~~~~~~~~~
希望大家不要在我的贴子里吵了,好吗?~~~~~~~:lol :lol
为什么说不能和洗照片用的放大箱的反作用来理解,因为STEPPER的透镜组太过复杂,比如PAS系列基本都是天文极的,这个不能同日而语的~~~~~~~
不能因为小白太复杂就不叫他镜头！
下一代光源啥时候该动用呢?浸入式也不是一劳永逸的办法
F2光源?
留名再看
原帖由 Gunslinger 于 2008-9-14 15:05 发表
下一代光源啥时候该动用呢?浸入式也不是一劳永逸的办法
浸入式的生命周期还长,还有挖潜的空间~~~~~~~~~~~~