半导体所国内首台48片MOCVD样机研发工作取得重大进展

来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/30 01:39:14


在中国科学院和广东省共同支持下，由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。

样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核，还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。所外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。多家第三方机构检测结果表明，用此48片MOCVD样机外延的氮化镓材料，其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。

3月10日，在广东省与中科院在京举行的全面战略合作座谈会上，广东省省长朱小丹、中科院院长白春礼等就首台48片MOCVD样机研制成果向中共中央政治局委员、广东省委书记汪洋作了汇报。会议期间，还举行了MOCVD装备成果与用户的应用合作签约仪式。

MOCVD是金属有机化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英文缩写，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，是LED外延片量产的关键技术设备。



48片MOCVD样机



在中国科学院和广东省共同支持下，由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。

样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核，还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。所外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。多家第三方机构检测结果表明，用此48片MOCVD样机外延的氮化镓材料，其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。

3月10日，在广东省与中科院在京举行的全面战略合作座谈会上，广东省省长朱小丹、中科院院长白春礼等就首台48片MOCVD样机研制成果向中共中央政治局委员、广东省委书记汪洋作了汇报。会议期间，还举行了MOCVD装备成果与用户的应用合作签约仪式。

MOCVD是金属有机化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英文缩写，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，是LED外延片量产的关键技术设备。



48片MOCVD样机

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严重支持！
外延片主要不是美日韩在搞吗
好像北方微电也在搞100片的MOCVD.
持续关注
微风轻轻 发表于 2012-3-30 19:39
好像北方微电也在搞100片的MOCVD.
   听说北京的不少it企业都逃往南方了，那个地方的气氛好像不适合搞科研，人静不下心来。
持续关注~
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实话说土鳖的产品外观设计真是一般
样子不好看，你好歹多贴点警告标志，至少看起来现代点
求科普，有什么应用呢？
xinglingkele 发表于 2012-3-30 23:58
求科普，有什么应用呢？
芯片制造的四大基础设备之一
厉害啊。
恭喜！再接再厉
好东西，赶快量产吧
taohaihua 发表于 2012-3-30 21:14
持续关注
实话说土鳖的产品外观设计真是一般
样子不好看，你好歹多贴点警告标志，至少看起来现代点{:158: ...
这是工程样机 北方微电子找洛可可设计的就不错
国内现在做mocvd的 有北京的北方微电子 思捷爱普 上海的理想能源 中微设备 广州的宏微  力量有些分散啊 这个东西很难搞 美国也就一家veeco
jeciq 发表于 2012-4-7 21:52
国内现在做mocvd的 有北京的北方微电子 思捷爱普 上海的理想能源 中微设备 广州的宏微  力量有些分散啊 这个 ...
tg是打算5年内把芯片制造设备白菜化
playfish 发表于 2012-4-7 22:38
tg是打算5年内把芯片制造设备白菜化
这种产业只有提高产业集中度，搞适度垄断才是正道。
寒风烈 发表于 2012-4-8 15:03
这种产业只有提高产业集中度，搞适度垄断才是正道。
两桶油的教训还不深刻么？
该集中的应集中 不该集中的适当垄断 也就是美国的并购文化 高技术类应该集中 资源及服务类应该分散 中国正好是反的 比如汽车产业就不集中 而像电信服务 商业银行就垄断
playfish 发表于 2012-4-8 19:49
两桶油的教训还不深刻么？
稀土行业的教训还少吗？？
中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD
http://lt.cjdby.net/thread-1360273-1-1.html

小白弱弱地请教，这两个……？
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