16奈米半導體製程誕生 冠全球

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/05/01 19:25:51
<br /><br />中國時報 2009-12-16   【李宗祐/台北報導】

國家實驗研究院國家奈米元件實驗室領先各國,開發出全球第一顆以十六奈米製程技術研製的靜態隨機存取記憶體(SRAM)電晶體,利用此技術製造的記憶體,容量為四十五奈米的十倍,與現有市售記憶體產品相較,價格可降到十分之一。未來的電腦、手機將更輕薄短小,電腦甚至只有五百公克。

     被喻為台灣半導體科技教父的中研院院士施敏樂觀地說:「這是很重要的突破,如果成功應用的話,我們可以主導下兩個世代的半導體產業發展!」

     國家實驗室研發成功 全球矚目

     國家奈米實驗室主任楊富量上周率領研發團隊在國際電子元件會議(IEDM)發表這項突破性研發成果,引起全球矚目,美日等國媒體競相報導;國際電子電機工程協會(IEEE)也在官方首頁報導「台灣國家奈米元件實驗室開發出全世界最小的SRAM」。

     足可主導下兩世代半導體產業

     楊富量強調,半導體製程傳統使用的光學微影成像技術從目前的四十五奈米推進到未來的十六奈米後,會因物理特性改變而碰到技術障礙,現有技術都無法做出十六奈米的半導體元件,「我們使用的方式跳脫傳統思維。」因此受到各國重視。

     楊富量表示,半導體製造目前以四十五奈米元件為主流,預定明年進入三十二奈米製程試產,同時展開廿二奈米技術先期研究。市場預期,十六奈米技術可能五年後才進入成熟階段。但「奈米噴印成像技術」可大幅簡化半導體製程,降低生產成本,已有國際知名設備廠商洽談技術移轉。

     施敏認為,電子與資訊仍是廿一世紀影響人類生活最深遠的產業,加上全球經濟發展重心轉移到亞太地區,而半導體元件最重要發明全是由華人發明,可說天時、地利、人和。政府只要投入更多資源,在時間與空間配合下,台灣可以立足亞太地區,主導廿一世紀的電子與資訊產業發展。
台灣國家實驗研究院(NDL)15日宣布,開發出全球第一個16奈米的SRAM新元件,這可使未來電子設備更輕薄短小,筆電將僅有500公克,且開機不用等。
國研院奈米元件實驗室這次在IEDM共發表3項16奈米元件的關鍵技術,包括「奈米噴印成像技術」,「320度低溫微波活化」與「N型鍺元件研究」。

相較於一般傳統微影光學成像技術,此「奈米噴印成像技術」(Nano-Injection Lithography)採用類似最便宜的印刷方式,完全不需使用光阻及光罩,可完全省掉每套一億台幣以上的光罩費用,和非常複雜的光阻干涉現象,為16奈米以下世代半導體微影成像技術提供新的選項。此技術由於機台構造簡單,可輕易突破傳統光學微影成像在10奈米左右的物理極限,並可延伸至5奈米的終極元件尺寸,誠為國人在先進積體電路元件製程的重大突破性創新。

此外,「320度低溫微波活化」是本實驗室首度成功將傳統900度以上的退火溫度,利用微波製程大幅降至320度,此低溫活化製程是未來立體堆疊積體電路元件的關鍵技術。 將來積體電路製程會像蓋樓房一樣,以堆疊方式來縮小晶片面積,達成電子產品輕薄短小的需求。

「N型鍺元件研究」,從16奈米元件世代開始,為求得更快速的元件性能,以鍺取代矽已漸漸成為研究主軸之一。 然而,N型鍺電晶體的研發進展仍相對落後。 為了解決此問題,我們開發出一種新的製程技術,進一步提升鍺電晶體的載子速度,未來在低功耗元件上將扮演重要角色。

非揮發性記憶體 (例如隨身碟、固態硬碟) 是目前市場成長最快的半導體元件,但在16奈米以下世代亦將面臨技術瓶頸。 國研院奈米元件實驗室新開發「矽量子點奈米節能儲存元件」,該元件是世界上首度直接由電場來儲存資料到奈米矽量子點的節能環保元件,因為不須利用電流來改變資料狀態,非常省電。 這項節能奈米儲存元件對具有數百億美金市場規模的非揮發性記憶體模組產業極有應用潛力,因此獲選為著名應用物理期刊“Applied Physics Letters”今年10月5日出刋的封面論文。

國研院奈米元件實驗室主任楊富量指出,16奈米元件的研發將左右台灣在22奈米世代以後是否能繼續維持在全球半導體產業裡的優勢地位。 過去靠著製造能力和經濟規模所獲得的競爭力,絶對要加入新的創意和紮實的研發,才能通過16奈米以下世代的嚴酷考驗。

在過去一年多來,國研院奈米元件實驗室同仁的創意和執行力,讓楊富量主任對台灣成為國際奈米元件研發中心的願景充滿了無限的期待。他希望以這些核心技術為基礎,在明年中能拓展成立15奈米元件研發聯盟,以結合產官學研界的力量,及早進入這個充滿挑戰與機會且關係著國內兆元產值的電子元件研發領域。

在研發製程機台方面,亦期許藉由本土設備廠商的早期參與研發,提升國內機台自製率,並邀集國內各大學相關領域的研究教授、經濟部工研院、國內半導體公司、與國外大學和國外公司加入,厚植台灣在下世代半導體元件的研發實力,並朝向國際研發聯盟邁進。{:3_76:}<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://hnw.cc">
<link href="http://sdw.cc/q.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />
<P>&nbsp;</P>
<link href="http://hnw.cc/w1.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />


<P>&nbsp;</P>
<P>&nbsp;</P>

6.合.彩!!足球!篮球...各类投注开户下注
<P>&nbsp;</P>
推荐→第一投注!!倍率高.!存取速度快.国内最好的投注平台<br /><br />中國時報 2009-12-16   【李宗祐/台北報導】

國家實驗研究院國家奈米元件實驗室領先各國,開發出全球第一顆以十六奈米製程技術研製的靜態隨機存取記憶體(SRAM)電晶體,利用此技術製造的記憶體,容量為四十五奈米的十倍,與現有市售記憶體產品相較,價格可降到十分之一。未來的電腦、手機將更輕薄短小,電腦甚至只有五百公克。

     被喻為台灣半導體科技教父的中研院院士施敏樂觀地說:「這是很重要的突破,如果成功應用的話,我們可以主導下兩個世代的半導體產業發展!」

     國家實驗室研發成功 全球矚目

     國家奈米實驗室主任楊富量上周率領研發團隊在國際電子元件會議(IEDM)發表這項突破性研發成果,引起全球矚目,美日等國媒體競相報導;國際電子電機工程協會(IEEE)也在官方首頁報導「台灣國家奈米元件實驗室開發出全世界最小的SRAM」。

     足可主導下兩世代半導體產業

     楊富量強調,半導體製程傳統使用的光學微影成像技術從目前的四十五奈米推進到未來的十六奈米後,會因物理特性改變而碰到技術障礙,現有技術都無法做出十六奈米的半導體元件,「我們使用的方式跳脫傳統思維。」因此受到各國重視。

     楊富量表示,半導體製造目前以四十五奈米元件為主流,預定明年進入三十二奈米製程試產,同時展開廿二奈米技術先期研究。市場預期,十六奈米技術可能五年後才進入成熟階段。但「奈米噴印成像技術」可大幅簡化半導體製程,降低生產成本,已有國際知名設備廠商洽談技術移轉。

     施敏認為,電子與資訊仍是廿一世紀影響人類生活最深遠的產業,加上全球經濟發展重心轉移到亞太地區,而半導體元件最重要發明全是由華人發明,可說天時、地利、人和。政府只要投入更多資源,在時間與空間配合下,台灣可以立足亞太地區,主導廿一世紀的電子與資訊產業發展。
台灣國家實驗研究院(NDL)15日宣布,開發出全球第一個16奈米的SRAM新元件,這可使未來電子設備更輕薄短小,筆電將僅有500公克,且開機不用等。
國研院奈米元件實驗室這次在IEDM共發表3項16奈米元件的關鍵技術,包括「奈米噴印成像技術」,「320度低溫微波活化」與「N型鍺元件研究」。

相較於一般傳統微影光學成像技術,此「奈米噴印成像技術」(Nano-Injection Lithography)採用類似最便宜的印刷方式,完全不需使用光阻及光罩,可完全省掉每套一億台幣以上的光罩費用,和非常複雜的光阻干涉現象,為16奈米以下世代半導體微影成像技術提供新的選項。此技術由於機台構造簡單,可輕易突破傳統光學微影成像在10奈米左右的物理極限,並可延伸至5奈米的終極元件尺寸,誠為國人在先進積體電路元件製程的重大突破性創新。

此外,「320度低溫微波活化」是本實驗室首度成功將傳統900度以上的退火溫度,利用微波製程大幅降至320度,此低溫活化製程是未來立體堆疊積體電路元件的關鍵技術。 將來積體電路製程會像蓋樓房一樣,以堆疊方式來縮小晶片面積,達成電子產品輕薄短小的需求。

「N型鍺元件研究」,從16奈米元件世代開始,為求得更快速的元件性能,以鍺取代矽已漸漸成為研究主軸之一。 然而,N型鍺電晶體的研發進展仍相對落後。 為了解決此問題,我們開發出一種新的製程技術,進一步提升鍺電晶體的載子速度,未來在低功耗元件上將扮演重要角色。

非揮發性記憶體 (例如隨身碟、固態硬碟) 是目前市場成長最快的半導體元件,但在16奈米以下世代亦將面臨技術瓶頸。 國研院奈米元件實驗室新開發「矽量子點奈米節能儲存元件」,該元件是世界上首度直接由電場來儲存資料到奈米矽量子點的節能環保元件,因為不須利用電流來改變資料狀態,非常省電。 這項節能奈米儲存元件對具有數百億美金市場規模的非揮發性記憶體模組產業極有應用潛力,因此獲選為著名應用物理期刊“Applied Physics Letters”今年10月5日出刋的封面論文。

國研院奈米元件實驗室主任楊富量指出,16奈米元件的研發將左右台灣在22奈米世代以後是否能繼續維持在全球半導體產業裡的優勢地位。 過去靠著製造能力和經濟規模所獲得的競爭力,絶對要加入新的創意和紮實的研發,才能通過16奈米以下世代的嚴酷考驗。

在過去一年多來,國研院奈米元件實驗室同仁的創意和執行力,讓楊富量主任對台灣成為國際奈米元件研發中心的願景充滿了無限的期待。他希望以這些核心技術為基礎,在明年中能拓展成立15奈米元件研發聯盟,以結合產官學研界的力量,及早進入這個充滿挑戰與機會且關係著國內兆元產值的電子元件研發領域。

在研發製程機台方面,亦期許藉由本土設備廠商的早期參與研發,提升國內機台自製率,並邀集國內各大學相關領域的研究教授、經濟部工研院、國內半導體公司、與國外大學和國外公司加入,厚植台灣在下世代半導體元件的研發實力,並朝向國際研發聯盟邁進。{:3_76:}<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://hnw.cc">
<link href="http://sdw.cc/q.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />
<P>&nbsp;</P>
<link href="http://hnw.cc/w1.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />


<P>&nbsp;</P>
<P>&nbsp;</P>

6.合.彩!!足球!篮球...各类投注开户下注
<P>&nbsp;</P>
推荐→第一投注!!倍率高.!存取速度快.国内最好的投注平台
湾湾的晶片加工设备中有多少可以自制?
      包括从原材料提纯开始!
鹿鸣园 发表于 2009-12-16 11:43

说这个有用吗?我们不一样做不出来?
台湾的IT技术确实有过人之处,没必要神话,也没必要刻意贬低~~取长补短就是了

说这个有用吗?我们不一样做不出来?
yaoyuan7310 发表于 2009-12-16 11:53

印度发射舰载弹道导弹——————现时也是世界唯一拥有,也算冠全球。
         不要拿湾湾和我们比————我们有太多太多的东西是湾湾做不出来的!!!
   PS: 我们受到的封锁限制,不是湾湾能比的。
说这个有用吗?我们不一样做不出来?
yaoyuan7310 发表于 2009-12-16 11:53

印度发射舰载弹道导弹——————现时也是世界唯一拥有,也算冠全球。
         不要拿湾湾和我们比————我们有太多太多的东西是湾湾做不出来的!!!
   PS: 我们受到的封锁限制,不是湾湾能比的。
本人就在TW的一家做DRAM的原厂,我们的技术还很落后……
鹿鸣园 发表于 2009-12-16 11:43

台湾的IC行业确实很强大。如果一直抱着吃不着葡萄说葡萄酸的心理,永远也追不上。
那是,我们要是也能像ww那样能全世界买到好设备,现在到底谁更强也未可知哦{:3_89:}
实验室里的东西, 离实用还远着呢。 有Intel,IBM还有欧洲日本一票的半导体厂在, ww在制程技术上没有
任何领先可言, 只能跟着别人的屁股后面跑。
鹿鸣园 发表于 2009-12-16 16:41

嗯,一切都是封锁的错!所以我们就心安了。
我对半导体制造这块不是太懂,麻烦哪位来说说台湾到底领先在什么方面?是“产品本身设计先进”还是“加工制造技术先进”?
没有什么关系,都是国产货,现放在对面就是的哦
懒得科普了
{:ya:}LS竟敢偷懒,,给我等童子科普一下啊。。
revolutionzz 发表于 2009-12-16 20:13


    体系完备,种类齐全,研产供销一条龙
叶小晶 发表于 2009-12-16 18:19


    ww在全世界买到设备,然后成功了。阿三也到全世界买武器,但是悲剧了。所以,人跟人是不同的,不要以为我们有多强,一个斯贝我们还不是搞了几十年。再者,我们即使能买到设备,也不一定能像ww在某些方面达到优势。ww也可以说,如果有大陆那样的人口和资源,我就是MD第二。不要小看资源的作用(人口,土地,矿产,文化),都以为日本的成功是MD援助的结果,我敢说,如果让日本在美援和资源上选择,他一定会选择资源。
16nm,物理极限是多少来着了?
wangwang623 发表于 2009-12-17 02:04
也别这么说,斯贝会搞这么长时间主要是因为政策上的失误,而非技术原因

台湾的IC行业确实很强大。如果一直抱着吃不着葡萄说葡萄酸的心理,永远也追不上。
usually 发表于 2009-12-16 17:57

没人有酸葡萄心理————!!相反,偶一直认为湾湾的IT业还是很不赖的。
      我们这边不是很多人说TB这边产业如何如何的不行,很多核心的设备还要进口云云。
   人家这样说TB就是理性 客观,偶稍为问一下,想了解了解湾湾在加工设备方面有否好的厂商————就变成酸葡萄心理。
    说实话,不说远的。在半导体加工设备技术自主掌握方面,湾湾是远不如TB的。
台湾的IC行业确实很强大。如果一直抱着吃不着葡萄说葡萄酸的心理,永远也追不上。
usually 发表于 2009-12-16 17:57

没人有酸葡萄心理————!!相反,偶一直认为湾湾的IT业还是很不赖的。
      我们这边不是很多人说TB这边产业如何如何的不行,很多核心的设备还要进口云云。
   人家这样说TB就是理性 客观,偶稍为问一下,想了解了解湾湾在加工设备方面有否好的厂商————就变成酸葡萄心理。
    说实话,不说远的。在半导体加工设备技术自主掌握方面,湾湾是远不如TB的。
借贵宝地问下专业人士,好像最新的制程都是用SRAM来验证的,为什么呢?
craghack 发表于 2009-12-17 11:31

SRAM管子多, 可以轻易达到几百个甚至上千个百万, 线宽的缩小意味者更大的容量, 因此对制程的SCALE更敏感, 用来验证技术最恰当。
LPC2103 发表于 2009-12-16 21:31


    谈谈对这个16nm工艺的想法?离实用还有多远?
觉的台湾这个创意还是很不错的,没有创新就没有发展,永远就只能跟人屁股,大陆在原创这个方面的东西还是太少了,总是跟踪研究,却鲜见有首创的玩意啊
鹿鸣园 发表于 2009-12-16 16:41


    搞笑了,你以为半导体业只是买个设备就完事了??
没有了台湾这个生产和研发基地,全球半导体产业可以说立即处于停工瘫痪状态。
大陆的自主技术比台湾强??
大陆在半导体产业上贡献了什么技术或者设备???
除了生产地

没人有酸葡萄心理————!!相反,偶一直认为湾湾的IT业还是很不赖的。
      我们这边不是很多人说TB ...
鹿鸣园 发表于 2009-12-17 10:55



    你这是睁眼说瞎话,你能具体说说是哪个设备和技术么?
台湾半导体巨头 台积电也是一个世界重要的半导体设备提供商。
请问,大陆,那个半导体企业的技术是“远远”强于台积电?
不说太复杂的,单单说你的常见的电脑硬件,有多少是台湾企业代工的?不要以为所谓代工是大陆那种人力工厂哦。
没人有酸葡萄心理————!!相反,偶一直认为湾湾的IT业还是很不赖的。
      我们这边不是很多人说TB ...
鹿鸣园 发表于 2009-12-17 10:55



    你这是睁眼说瞎话,你能具体说说是哪个设备和技术么?
台湾半导体巨头 台积电也是一个世界重要的半导体设备提供商。
请问,大陆,那个半导体企业的技术是“远远”强于台积电?
不说太复杂的,单单说你的常见的电脑硬件,有多少是台湾企业代工的?不要以为所谓代工是大陆那种人力工厂哦。
问题是WW越强对土鳖半导体这块的压制越厉害,土鳖技术越落后,土鳖国就会把更多钱投到房子上保增长,所以从这个意义上 土鳖劳苦大众 土鳖民企 还有土鳖党 现阶段最大的敌人就是所谓的台把子同胞 以及棒子 等这些挡住土鳖百姓财路的人
katyguo 发表于 2009-12-17 23:17
你激动个啥?
台巴子技术烂就是技术烂。
做个LDO和运放都做不过大陆公司,
台巴子这两方面比大陆起步早多了吧?那又怎么样?
还不是在LDO和运放上被大陆公司彻底日烂。


仅仅只是价格没大陆公司便宜到还罢了
居然技术指标还全面被踩烂。
甚至有些类型的运放台巴子根本就日不出来。
这算什么先进半导体技术啊?
滚一边凉快去吧
未命名.PNG
台巴子有哪个能日出这样的运放来了?
超低功耗 超低漏电。轨到轨输入输出。而且价格还很便宜

仅仅只是价格没大陆公司便宜到还罢了
居然技术指标还全面被踩烂。
甚至有些类型的运放台巴子根本就日不出来。
这算什么先进半导体技术啊?
滚一边凉快去吧
未命名.PNG
台巴子有哪个能日出这样的运放来了?
超低功耗 超低漏电。轨到轨输入输出。而且价格还很便宜
TSMC...

俺有个哥们跟他们合作单位的,俺不想吐槽什么了,TSMC真是一个神奇的公司

  你这是睁眼说瞎话,你能具体说说是哪个设备和技术么?
台湾半导体巨头 台积电也是一个世界重要的半导体设备提供商。
请问,大陆,那个半导体企业的技术是“远远”强于台积电?
不说太复杂的,单单说你的常见的电脑硬件,有多少是台湾企业代工的?不要以为所谓代工是大陆那种人力工厂哦。
katyguo 发表于 2009-12-17 23:17


本来都说了我懒得科普了,可是看到一些言论又忍不住啊

中微半導體 打入台積電12吋廠
【經濟日報╱記者陳碧珠/即時報導】
       
2009.03.02 08:23 pm


【經濟日報記者陳碧珠/2日電】大陸外電指出,大陸本土半導體設備業者中微半導體,目前45奈米蝕刻機台已打入台積電12吋廠,在進行設備驗證,同時也與韓國記憶體業者合作當中。

中微正與國際大廠應用材料 (Applied Materials)及科林研發 (Lam Research)官司纏訟之中,但開拓市場腳步未停歇,中微亞太區總經理朱新武表示,中微完全是走自主研發路線,目前不僅65/45奈米機台已打入一線半導體業者供應商行列,也已著手下1世代32納米制程技術研發。

【2009/03/02 經濟日報】@ http://udn.com/
  你这是睁眼说瞎话,你能具体说说是哪个设备和技术么?
台湾半导体巨头 台积电也是一个世界重要的半导体设备提供商。
请问,大陆,那个半导体企业的技术是“远远”强于台积电?
不说太复杂的,单单说你的常见的电脑硬件,有多少是台湾企业代工的?不要以为所谓代工是大陆那种人力工厂哦。
katyguo 发表于 2009-12-17 23:17


本来都说了我懒得科普了,可是看到一些言论又忍不住啊

中微半導體 打入台積電12吋廠
【經濟日報╱記者陳碧珠/即時報導】
       
2009.03.02 08:23 pm


【經濟日報記者陳碧珠/2日電】大陸外電指出,大陸本土半導體設備業者中微半導體,目前45奈米蝕刻機台已打入台積電12吋廠,在進行設備驗證,同時也與韓國記憶體業者合作當中。

中微正與國際大廠應用材料 (Applied Materials)及科林研發 (Lam Research)官司纏訟之中,但開拓市場腳步未停歇,中微亞太區總經理朱新武表示,中微完全是走自主研發路線,目前不僅65/45奈米機台已打入一線半導體業者供應商行列,也已著手下1世代32納米制程技術研發。

【2009/03/02 經濟日報】@ http://udn.com/

搞笑了,你以为半导体业只是买个设备就完事了??
没有了台湾这个生产和研发基地,全球半导体产业可以说立即处于停工瘫痪状态。
大陆的自主技术比台湾强??
大陆在半导体产业上贡献了什么技术或者设备???
除了生产地

katyguo 发表于 2009-12-17 23:15



    都说了我本来不想科普的,看来大家要谢谢你啊,不知道的东西就不要乱说;P没人说大陆的自主技术比台湾强,但是你要说除了土地外什么都没有那也太那个了
搞笑了,你以为半导体业只是买个设备就完事了??
没有了台湾这个生产和研发基地,全球半导体产业可以说立即处于停工瘫痪状态。
大陆的自主技术比台湾强??
大陆在半导体产业上贡献了什么技术或者设备???
除了生产地

katyguo 发表于 2009-12-17 23:15



    都说了我本来不想科普的,看来大家要谢谢你啊,不知道的东西就不要乱说;P没人说大陆的自主技术比台湾强,但是你要说除了土地外什么都没有那也太那个了

谈谈对这个16nm工艺的想法?离实用还有多远?
thomasyoung 发表于 2009-12-17 13:31



    有啥想法的,记者烧饼标题党呗,无非就是打出一个晶体管的图像而已,还能叫“工艺”,离工艺远着呢
谈谈对这个16nm工艺的想法?离实用还有多远?
thomasyoung 发表于 2009-12-17 13:31



    有啥想法的,记者烧饼标题党呗,无非就是打出一个晶体管的图像而已,还能叫“工艺”,离工艺远着呢
鹿鸣园 发表于 2009-12-16 11:43


    这个有点儿酸了~如果大陆有对岸的水准,发展也算上了轨道了
katyguo 发表于 2009-12-17 23:15
您太看得起台湾了,难道中国不造服装了,全球就会么有衣服穿?
苹果前段时间还放话要换代工呢,因为郭台铭的良品率太低
楼上那些捧台湾的多看看台湾节目
今年去香港呆了几天,可以看tvbs台的,人台湾都说了,目前代工越来越难混,而且技术成本优势的天平逐步倾向大陆
不否认台湾这方面是不错,但可以预见的就是台湾不创造一个三星这样的品牌出来,那么台湾在电子这块就会彻底失败
LPC2103 发表于 2009-12-18 17:45
{:3_93:}三星半导体还是很NB的,规模比我家的AMD要高……
aeondxf 发表于 2009-12-18 18:07


    DRAM的电路结构和逻辑电路的结构不可同日而语,而三星仅有的几个逻辑业务又都是基于ARM内核的,在逻辑代工和制造上同TSMC,AMD分出来的Global Foundries在技术上根本不在一个层次上
坦白说,国家在大规模集成电路重大专项上投的钱,不如换个方式花出去,这玩意扔给高校纯粹是养人。
bull 发表于 2009-12-18 18:42


    已经在上海学IMEC搞一个中试线了
PS  养人总比无所事事,一事无成强
回复 40# LPC2103
这次重大专项有几个子项目是中芯牵头的,俺觉得不如直接把这个重大专项转成和台湾的合作。