超级军网中微等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE(TM) 运抵中芯国际
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/05/06 17:23:54
中微第二代等离子体刻蚀设备首次在中国试运安装；用于32纳米至28纳米芯片加工
上海和旧金山2012年3月20日电 /美通社亚洲/ -- 中微半导体设备有限公司（以下简称“中微”）于 SEMICON China 展会期间宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际[0.38 -3.80%]，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE™ 正式发布以来，中微 Primo AD-RIE™ 设备首次进入中国大陆客户生产线。目前，中微第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE™ 已在中国建立了稳固的市场地位。Primo AD-RIE™ 设备也已进入台湾客户的生产线。
中微半导体设备有限公司宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。Primo AD-RIE™ 设备首次
到目前为止，中微的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片生产线，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也包括中微近日发布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E™，为中微开辟了新的市场。综合来看，中微的设备均拥有生产率高、工艺性能出色、操作简便、成本竞争优势明显等优点。随着亚洲地区对半导体设备的需求日渐增长，中微不断拓展产品线使之日趋多元化，从而迈入了快速发展的轨道，2011年中微的销售额较2010年增长了两倍多。同时，为了满足企业自身发展的需求，中微位于上海的二期大楼也将竣工，届时将增加10，000平方米的生产基地。
Primo AD-RIE™ 设备是中微第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备，可满足多种关键生产工艺要求。继第一代已被业界广泛认可的 Primo D-RIE™ 之后，Primo AD-RIE™ 采用了更多技术创新点，以解决生产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点包括：可切换频率的射频系统保证了刻蚀的灵活性和可重复性，更好的调谐能力确保了超精细关键尺寸的均匀度和可重复性，改良的反应室室内材料减少了工艺缺陷并降低了成本消耗。
“我们很高兴中微在中国的第一台 Primo AD-RIE™ 设备能进入国内领先的晶圆代工厂，”中微副总裁兼刻蚀产品事业群总经理朱新萍说道，“与中微第一代产品类似，Primo AD-RIE™ 设备的单位投资产出率比市场上其他同类设备提高了30%以上，占地面积较其他同类设备减少了30%以上，并能使加工晶圆的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE™ 设备已成为市场上生产率最高、单位投资产出率最高的先进刻蚀设备，用于各种关键及通常的工艺应用。”
欲了解更多关于 Primo AD-RIE™ 的信息，请访问 www.aME c-inc.com/produCTS /ADRIE.php。
关于中微半导体设备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的世界领先公司提供一系列高端的芯片生产设备。公司拥有业内经验最丰富的管理和技术专家，已形成强有力的市场驱动力，持续拓展产品线以满足各种新兴的技术需求。客户正是运用了中微先进的刻蚀设备和技术，制造了电子产品中最为关键的芯片器件。中微的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了技术创新和生产力提高的最优化。中微公司以亚洲为基地，总部位于中国，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
http://finance.ifeng.com/usstock/realtime/20120320/5774355.shtml中微第二代等离子体刻蚀设备首次在中国试运安装；用于32纳米至28纳米芯片加工
上海和旧金山2012年3月20日电 /美通社亚洲/ -- 中微半导体设备有限公司（以下简称“中微”）于 SEMICON China 展会期间宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际[0.38 -3.80%]，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE™ 正式发布以来，中微 Primo AD-RIE™ 设备首次进入中国大陆客户生产线。目前，中微第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE™ 已在中国建立了稳固的市场地位。Primo AD-RIE™ 设备也已进入台湾客户的生产线。
中微半导体设备有限公司宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。Primo AD-RIE™ 设备首次
到目前为止，中微的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片生产线，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也包括中微近日发布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E™，为中微开辟了新的市场。综合来看，中微的设备均拥有生产率高、工艺性能出色、操作简便、成本竞争优势明显等优点。随着亚洲地区对半导体设备的需求日渐增长，中微不断拓展产品线使之日趋多元化，从而迈入了快速发展的轨道，2011年中微的销售额较2010年增长了两倍多。同时，为了满足企业自身发展的需求，中微位于上海的二期大楼也将竣工，届时将增加10，000平方米的生产基地。
Primo AD-RIE™ 设备是中微第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备，可满足多种关键生产工艺要求。继第一代已被业界广泛认可的 Primo D-RIE™ 之后，Primo AD-RIE™ 采用了更多技术创新点，以解决生产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点包括：可切换频率的射频系统保证了刻蚀的灵活性和可重复性，更好的调谐能力确保了超精细关键尺寸的均匀度和可重复性，改良的反应室室内材料减少了工艺缺陷并降低了成本消耗。
“我们很高兴中微在中国的第一台 Primo AD-RIE™ 设备能进入国内领先的晶圆代工厂，”中微副总裁兼刻蚀产品事业群总经理朱新萍说道，“与中微第一代产品类似，Primo AD-RIE™ 设备的单位投资产出率比市场上其他同类设备提高了30%以上，占地面积较其他同类设备减少了30%以上，并能使加工晶圆的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE™ 设备已成为市场上生产率最高、单位投资产出率最高的先进刻蚀设备，用于各种关键及通常的工艺应用。”
欲了解更多关于 Primo AD-RIE™ 的信息，请访问 www.aME c-inc.com/produCTS /ADRIE.php。
关于中微半导体设备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的世界领先公司提供一系列高端的芯片生产设备。公司拥有业内经验最丰富的管理和技术专家，已形成强有力的市场驱动力，持续拓展产品线以满足各种新兴的技术需求。客户正是运用了中微先进的刻蚀设备和技术，制造了电子产品中最为关键的芯片器件。中微的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了技术创新和生产力提高的最优化。中微公司以亚洲为基地，总部位于中国，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
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上海和旧金山2012年3月20日电 /美通社亚洲/ -- 中微半导体设备有限公司（以下简称“中微”）于 SEMICON China 展会期间宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际[0.38 -3.80%]，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE™ 正式发布以来，中微 Primo AD-RIE™ 设备首次进入中国大陆客户生产线。目前，中微第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE™ 已在中国建立了稳固的市场地位。Primo AD-RIE™ 设备也已进入台湾客户的生产线。
中微半导体设备有限公司宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。Primo AD-RIE™ 设备首次
到目前为止，中微的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片生产线，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也包括中微近日发布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E™，为中微开辟了新的市场。综合来看，中微的设备均拥有生产率高、工艺性能出色、操作简便、成本竞争优势明显等优点。随着亚洲地区对半导体设备的需求日渐增长，中微不断拓展产品线使之日趋多元化，从而迈入了快速发展的轨道，2011年中微的销售额较2010年增长了两倍多。同时，为了满足企业自身发展的需求，中微位于上海的二期大楼也将竣工，届时将增加10，000平方米的生产基地。
Primo AD-RIE™ 设备是中微第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备，可满足多种关键生产工艺要求。继第一代已被业界广泛认可的 Primo D-RIE™ 之后，Primo AD-RIE™ 采用了更多技术创新点，以解决生产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点包括：可切换频率的射频系统保证了刻蚀的灵活性和可重复性，更好的调谐能力确保了超精细关键尺寸的均匀度和可重复性，改良的反应室室内材料减少了工艺缺陷并降低了成本消耗。
“我们很高兴中微在中国的第一台 Primo AD-RIE™ 设备能进入国内领先的晶圆代工厂，”中微副总裁兼刻蚀产品事业群总经理朱新萍说道，“与中微第一代产品类似，Primo AD-RIE™ 设备的单位投资产出率比市场上其他同类设备提高了30%以上，占地面积较其他同类设备减少了30%以上，并能使加工晶圆的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE™ 设备已成为市场上生产率最高、单位投资产出率最高的先进刻蚀设备，用于各种关键及通常的工艺应用。”
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关于中微半导体设备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的世界领先公司提供一系列高端的芯片生产设备。公司拥有业内经验最丰富的管理和技术专家，已形成强有力的市场驱动力，持续拓展产品线以满足各种新兴的技术需求。客户正是运用了中微先进的刻蚀设备和技术，制造了电子产品中最为关键的芯片器件。中微的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了技术创新和生产力提高的最优化。中微公司以亚洲为基地，总部位于中国，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
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上海和旧金山2012年3月20日电 /美通社亚洲/ -- 中微半导体设备有限公司（以下简称“中微”）于 SEMICON China 展会期间宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际[0.38 -3.80%]，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE™ 正式发布以来，中微 Primo AD-RIE™ 设备首次进入中国大陆客户生产线。目前，中微第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE™ 已在中国建立了稳固的市场地位。Primo AD-RIE™ 设备也已进入台湾客户的生产线。
中微半导体设备有限公司宣布，中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE™ 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。Primo AD-RIE™ 设备首次
到目前为止，中微的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片生产线，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也包括中微近日发布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E™，为中微开辟了新的市场。综合来看，中微的设备均拥有生产率高、工艺性能出色、操作简便、成本竞争优势明显等优点。随着亚洲地区对半导体设备的需求日渐增长，中微不断拓展产品线使之日趋多元化，从而迈入了快速发展的轨道，2011年中微的销售额较2010年增长了两倍多。同时，为了满足企业自身发展的需求，中微位于上海的二期大楼也将竣工，届时将增加10，000平方米的生产基地。
Primo AD-RIE™ 设备是中微第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备，可满足多种关键生产工艺要求。继第一代已被业界广泛认可的 Primo D-RIE™ 之后，Primo AD-RIE™ 采用了更多技术创新点，以解决生产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点包括：可切换频率的射频系统保证了刻蚀的灵活性和可重复性，更好的调谐能力确保了超精细关键尺寸的均匀度和可重复性，改良的反应室室内材料减少了工艺缺陷并降低了成本消耗。
“我们很高兴中微在中国的第一台 Primo AD-RIE™ 设备能进入国内领先的晶圆代工厂，”中微副总裁兼刻蚀产品事业群总经理朱新萍说道，“与中微第一代产品类似，Primo AD-RIE™ 设备的单位投资产出率比市场上其他同类设备提高了30%以上，占地面积较其他同类设备减少了30%以上，并能使加工晶圆的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE™ 设备已成为市场上生产率最高、单位投资产出率最高的先进刻蚀设备，用于各种关键及通常的工艺应用。”
欲了解更多关于 Primo AD-RIE™ 的信息，请访问 www.aME c-inc.com/produCTS /ADRIE.php。
关于中微半导体设备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的世界领先公司提供一系列高端的芯片生产设备。公司拥有业内经验最丰富的管理和技术专家，已形成强有力的市场驱动力，持续拓展产品线以满足各种新兴的技术需求。客户正是运用了中微先进的刻蚀设备和技术，制造了电子产品中最为关键的芯片器件。中微的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了技术创新和生产力提高的最优化。中微公司以亚洲为基地，总部位于中国，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
http://finance.ifeng.com/usstock/realtime/20120320/5774355.shtml
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
顶起来，不要沉下去了！！！
再接再厉，统统白菜花！
和俄国的芯片自造技术和设备比怎么样？
huyue3100 发表于 2012-3-21 15:08 ![]()
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
京东方知道不？？ 国家是不会让这些企业垮的！！
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
京东方知道不？？ 国家是不会让这些企业垮的！！
这个不算在禁运内吗？？？？
huyue3100 发表于 2012-3-21 15:08 ![]()
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
据说最近银行又给了6亿美元贷款！不差钱！
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
据说最近银行又给了6亿美元贷款！不差钱！
这个不错
据说半导体就是半倒体，头把交椅赚大钱，老二能活着，其他等死的说。
顶起啊
hopefully 发表于 2012-3-21 15:14 ![]()
和俄国的芯片自造技术和设备比怎么样？
俄国连95纳米的都没有
和俄国的芯片自造技术和设备比怎么样？
俄国连95纳米的都没有
邻家小妹妹 发表于 2012-3-21 01:12 ![]()
俄国连95纳米的都没有
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
俄国连95纳米的都没有
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
我们要给美国议会发个十吨重的勋章！
hopefully 发表于 2012-3-21 17:13 ![]()
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
俄国没有需求也没有资金来发展芯片制造工业啊
现在有自己设计的高性能军用芯片，是到台湾流片的
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
俄国没有需求也没有资金来发展芯片制造工业啊
现在有自己设计的高性能军用芯片，是到台湾流片的
xinxincd 发表于 2012-3-21 16:22 ![]()
这个不算在禁运内吗？？？？
2个都是中国企业...当然是禁的
自己搞出来了
这个不算在禁运内吗？？？？
2个都是中国企业...当然是禁的
自己搞出来了
hopefully 发表于 2012-3-21 17:13 ![]()
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
你是不是看了克格勃1986老大的那个帖子？人家可是说的很明白的：这些事迹是苏联扑街之前的事情，离现在都20多年了。苏联一扑街这些产业...你以为皿煮自由高效率的资本家会放着能源工业不干往这个领域里烧钱？
不会吧，俄国那么惨，不是谁说他家自己设计x86兼容芯片，自己流片然后装备超级计算机的啊。。。
你是不是看了克格勃1986老大的那个帖子？人家可是说的很明白的：这些事迹是苏联扑街之前的事情，离现在都20多年了。苏联一扑街这些产业...你以为皿煮自由高效率的资本家会放着能源工业不干往这个领域里烧钱？
昨天我看新闻美帝解锁46项高科技产品来着。。。
是个不错的好消息……期待大规模应用。
好，该出手时就出手
这个慢慢来吧，裤衩这未来20年以内都是白的。
中微是那个国家的？中芯决不差钱的，国家养着的，和京东方一样
中国的核高基工程产业化集成化需要到2015年才能够结出果实，现在还在开花和授粉阶段，取得这样的成绩不错了。
这个东西还要加紧山寨
又要白菜价了？
中微是一群海归办的，这些海归很多都是从应用材料、lam等巨头出来的牛人，搞的很不错，很有前途
芯片业就是一个费钱的行业啊。没钱投是不行的。
好事啊，一步步赶上去
NB白菜白菜，通通白菜
好东西，哈东西，芯片领域，集成电路，，，以后台湾还有什么？只剩下旅游和明星？没有大陆消费他们的旅游和明星他们。。。。。。。。。。。死去
capa2004 发表于 2012-3-21 19:02 ![]()
芯片业就是一个费钱的行业啊。没钱投是不行的。
你这句话说对了，我就是学微电子的，深深认为这一行就得是大机器大工业。
芯片业就是一个费钱的行业啊。没钱投是不行的。
你这句话说对了，我就是学微电子的，深深认为这一行就得是大机器大工业。
http://lt.cjdby.net/thread-1349689-1-1.html
huyue3100 发表于 2012-3-21 15:08 ![]()
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
http://lt.cjdby.net/thread-1349689-1-1.html 6个亿美元
中微很低调啊！中芯国际亏了那么多，还有没有钱买设备啊？
http://lt.cjdby.net/thread-1349689-1-1.html 6个亿美元
其实就是俩国内企业做了一次生意……
眩病月 发表于 2012-3-21 17:51 ![]()
昨天我看新闻美帝解锁46项高科技产品来着。。。
果然观察锐利，老美能给的，基本是我们马上就能出产的。
所以老美也是我们的爆尿机啊
昨天我看新闻美帝解锁46项高科技产品来着。。。
果然观察锐利，老美能给的，基本是我们马上就能出产的。
所以老美也是我们的爆尿机啊
这个猛呀!工业基础！
都是国企？
邻家小妹妹 发表于 2012-3-21 17:12 ![]()
俄国连95纳米的都没有
毛子到了65.
俄国连95纳米的都没有
毛子到了65.
哎，芯片再搞定也就齐活了