超级军网国产65nm离子注入机进入300mm晶圆生产线
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/28 08:11:58
<br /><br />由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验，为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线，表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。
作为国内领先的半导体设备供应商，北京中科信公司拥有颇具前瞻性的领导班子及实力雄厚、经验丰富的人才队伍，以紧跟时代发展步伐的创新研发模式和坚实超前的技术基础，他们勇敢地挑起了极大规模集成电路制造装备及成套工艺——65nm大角度离子注入机研发及产业化的重担。
北京中科信公司研制的65nm大角度离子注入机以满足大规模生产线65nm制程工艺需求为目标，以提升产品工艺性能、整机高可靠性及降低成本消耗为设计理念。在不到两年的时间里，公司研发团队成功突破了多项关键工艺，完成多项核心研究，实现了设备的工程化制造、关键零部件国产化，完善了系统设计、系统加工、系统集成流程，保证了设备的高可靠性及工艺水平。长时间的系统的性能测试结果表明，整机生产率、控制精度、软件可靠性、整机自动性能、工艺一致性等指标都有了显著提高，整机性能完全达到甚至部分已经超过了项目合同要求，同时适应国际300mm工艺生产线标准要求。该设备具备先进工艺控制及故障诊断功能，出厂前已通过用户基本技术指标评估与硬件改进，其主要工艺性能及可靠性、稳定性已取得令人满意的效果。<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
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只是“开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验 ”等结果出来再庆祝吧
原上草 发表于 2010-11-20 14:45 
有进步，庆祝下，高兴下，咋啦
有进步，庆祝下，高兴下，咋啦
有差距，有进步
一天一点进步 不错
有进步，顶
可喜可贺，希望有朝一日能亲眼看到
加油啊。
大角度？记得离子注入时，离子的注入角是越小越好啊，所以有远距注入和准直器注入啊
laomao0000 发表于 2010-11-21 01:41
随着超浅结的引入
现在也不流行90度垂直注入了
打得太深，而且分布也不好控制，常规的离子注入都恨不得用1KV的能量了
某些注入工艺带点角度可以有效降低注入深度
不过这里的大角度应该是指的Halo implant需要的吧
那种目的就是为了打到侧壁下面，专门打斜的
角度还是挺大的
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现在也不流行90度垂直注入了
打得太深，而且分布也不好控制，常规的离子注入都恨不得用1KV的能量了
某些注入工艺带点角度可以有效降低注入深度
不过这里的大角度应该是指的Halo implant需要的吧
那种目的就是为了打到侧壁下面，专门打斜的
角度还是挺大的
基础工业的东西 好
国之基础 不得不顶啊
国之基础 不得不顶啊
回复 1# malsal
有进步，庆祝下，高兴下，:D
有进步，庆祝下，高兴下，:D
chinatemplar 发表于 2010-11-21 03:14
嘿嘿
嘿嘿
LPC2103 发表于 2010-11-21 22:27
乃这么淫荡笑啥
乃这么淫荡笑啥