90-65nm大角度中束流离子注入机整机集成完成,年底设备上 ...

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/03/29 01:32:38


犹如这七月似火的骄阳,我公司90-65nm大角度中束流离子注入机项目组全体成员的工作热情奔放、热烈而恒长,看!蕴积着他们近四百个日夜的技术积累与五百多个日夜技术攻关、奋战的90-65nm大角度中束流离子注入机已完成整机系统集成,进入系统连调、连试阶段。
      尽管我们在离子注入机的研发和制造上有着多年的技术和经验积累,并提前为项目的成功研制做足了功课,可上至公司领导,下到普通员工,未敢有丝毫的大意,要知道,我们瞄准的可是现行半导体器件制造工艺国际上最先进的水平啊!要想在短时间内圆满完成项目任务,实现离子注入技术又一次的成功跨越并产业化,攻关过程绝非艰、难、困、苦几个字可以形容和概括的。
      所幸,心存高远的中科信人不会被眼前的困难所吓倒,在公司领导的科学部署下,项目组根据计划节点制定了严实周密的实施计划,组织国内外技术专家对核心技术及难点及时诊断、重点攻克。为了确保项目如期进行,多少个不眠之夜,项目组成员彻夜讨论寻找解决方案;多少个期盼已久的与亲人团聚的机会,项目组成员为了保障项目进度主动放弃;多少回抱恙在身,心系项目任务的他们坚守岗位。他们舍小我为大我,舍小家为大家,在先后攻克了90-65nm大角度离子注入机离子光学设计技术、重离子长寿命离子源技术、宽范围平行束测量与调整及均匀性校正技术、12英寸晶片传输靶室设计技术等多项关键技术后,又顺利完成零部件装配、分系统集成、整机系统集成,进入整机联调、性能测试阶段,取得了又一重大阶段性成果。联调完成后,项目组将迅速开展适应90-65nm大角度中束流离子注入技术、工艺一致性、稳定性的测试与验证,为年底设备成功上大线奠定坚实的基础。
      攻关的征途上,随时可能有拦路虎突至,但我们坚信,成功的希望已在眼前,只要一如既往,必将取得圆满成功

犹如这七月似火的骄阳,我公司90-65nm大角度中束流离子注入机项目组全体成员的工作热情奔放、热烈而恒长,看!蕴积着他们近四百个日夜的技术积累与五百多个日夜技术攻关、奋战的90-65nm大角度中束流离子注入机已完成整机系统集成,进入系统连调、连试阶段。
      尽管我们在离子注入机的研发和制造上有着多年的技术和经验积累,并提前为项目的成功研制做足了功课,可上至公司领导,下到普通员工,未敢有丝毫的大意,要知道,我们瞄准的可是现行半导体器件制造工艺国际上最先进的水平啊!要想在短时间内圆满完成项目任务,实现离子注入技术又一次的成功跨越并产业化,攻关过程绝非艰、难、困、苦几个字可以形容和概括的。
      所幸,心存高远的中科信人不会被眼前的困难所吓倒,在公司领导的科学部署下,项目组根据计划节点制定了严实周密的实施计划,组织国内外技术专家对核心技术及难点及时诊断、重点攻克。为了确保项目如期进行,多少个不眠之夜,项目组成员彻夜讨论寻找解决方案;多少个期盼已久的与亲人团聚的机会,项目组成员为了保障项目进度主动放弃;多少回抱恙在身,心系项目任务的他们坚守岗位。他们舍小我为大我,舍小家为大家,在先后攻克了90-65nm大角度离子注入机离子光学设计技术、重离子长寿命离子源技术、宽范围平行束测量与调整及均匀性校正技术、12英寸晶片传输靶室设计技术等多项关键技术后,又顺利完成零部件装配、分系统集成、整机系统集成,进入整机联调、性能测试阶段,取得了又一重大阶段性成果。联调完成后,项目组将迅速开展适应90-65nm大角度中束流离子注入技术、工艺一致性、稳定性的测试与验证,为年底设备成功上大线奠定坚实的基础。
      攻关的征途上,随时可能有拦路虎突至,但我们坚信,成功的希望已在眼前,只要一如既往,必将取得圆满成功
65nm离子注入机快搞定了,就差65nm光刻机了:(


MD现在主用45nm,试产32nm,准备22nm的设备;
差距还是不小。
不过,65nm设备如果能够全部搞定,的确是跨越式进步!

MD现在主用45nm,试产32nm,准备22nm的设备;
差距还是不小。
不过,65nm设备如果能够全部搞定,的确是跨越式进步!
100纳米的还没有搞定呢!!还有你知道复旦的那个百万门可变程门阵列是多少位的啊!!
加油吧
不知深度能做到多少


光刻机,TG主要卡在光学系统上,兵器工业集团的大孔径高精度玻璃材料,今年正式批产,这个用在光刻机上,对TG的光刻系统将提升很大,不过这种材料现在从用向来看,主要还是满足军方和航天需要.

总体来说,TG搞半导体装备制造业,光学产业我更看好东北 ,西北 西南的企业和院所,至于上海我不抱希望的,基本就是顶着名头,在混.

光刻机,TG主要卡在光学系统上,兵器工业集团的大孔径高精度玻璃材料,今年正式批产,这个用在光刻机上,对TG的光刻系统将提升很大,不过这种材料现在从用向来看,主要还是满足军方和航天需要.

总体来说,TG搞半导体装备制造业,光学产业我更看好东北 ,西北 西南的企业和院所,至于上海我不抱希望的,基本就是顶着名头,在混.
顶一下,只要100ns以内的工艺,即使有差距也都还能接受
有人用么?哪间Fab用阿,这个才是关键,没人用就是废物。
我有预感  这帖子能招来教主圣驾
热情奔放、热烈而恒长...
桃MM给科普一下吧
银灰 发表于 2009-11-3 20:32 光刻机光学系统有中科院成都光电所,所以不会卡在光学系统上
liaoduan 发表于 2009-11-3 23:00 肯定是先用在中芯国际大生产线上
银灰 发表于 2009-11-3 20:32


    我觉得问题应该出在机械方面,工艺和自动控制系统不过关,定位精度和重复精度达不到要求。相对来说,光学部件倒好办,就算成本高,也应该能达标。
山寨手机流行海外一个不可忽视的角色是大陆微电子产业的兴起,由于上海广芯、艾为等公司的兴起,双卡双待芯片从最初联发科的1.5美元已经降到几个美分,蓝牙芯片由于大陆锐迪科的介入也已经从1.3美元降到仅有0.65美元,手机摄像传感器也已经由上海格科微垄断低端市场,可以说大陆微电子行业的兴起使得山寨手机整机价格不断下调,与品牌手机的价差也不断扩大。

其实大陆微电子产业的贡献不仅如此,山寨手机之所以流行海外,一个非常重要的原因在于模拟手机电视的兴起,虽然在大陆模拟手机电视市场并不大,因为大陆有线电视更流行,而海外很多国家主要以无线传输为主,为模拟电视手机流行奠定了基础,可以说真正引爆山寨手机出口潮的是模拟电视手机,而模拟电视芯片主要来自上海泰景一家,另外山寨手机指南针的芯片提供商来自大陆无锡美新,大陆山寨手机的兴起带动了大陆微电子行业,而微电子行业的兴起又反过来促进了大陆山寨产品的创新。(作者,老杳)
希望这些设备能尽快成套国产化
这个跟电子信息技术有关?有人科普一下吗?