超级军网02专项又传捷报：“90-65纳米大角度离子注入机研发及产 ...
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/20 07:49:29
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收
链接http://www.cetc.com.cn/
2014年1月18-19日，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。
验收组首先听取了项目、各课题的任务及财务完成情况汇报，然后进行现场检查、测试、资料审查、质询与讨论。验收组一致认为：中科信公司全面完成了合同书规定的研发内容，成功开发出适用极大规模集成电路12英寸生产线90-65纳米工艺沟道工程和阱注入制程的大角度（中束流）离子注入机，设备的各项技术指标达到合同任务书的考核要求。验收组同意该项目通过验收。
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目在实施过程中，以技术突破和产业化为核心，以人才队伍培育为重点，以国内先进的集成电路生产线为工艺平台，注重知识产权体系的建立与完善，建立了集设计、研发、制造、调试、服务于一体的装备开发体系，实现了核心零部件国产化与整机制造工程化，同时工艺超合同要求延伸了两个技术代（到55纳米与28纳米），该项目以高分通过验收，标志着我国离子注入装备从关键技术到系统设计均实现了自主创新，并从消化吸收阶段跨越到正向设计阶段。彰显了中国电科在集成电路装备领域占领战略制高点的决心与实力。
48所 “十二五”45-22nm低能大束流离子注入机项目取得重大技术突破
链接：http://www.cs48.com/
9月10日,48所“十二五”项目组45-22nm低能大束流离子注入机在5-40kev能量下获得到靶1.5-12mA（B+）的大束流，在未进行校准情况下，束流均匀性在330mm宽的范围内达到3%-4%，取得了重大技术突破。
试验数据表明,低能大束流设备中完全由48所自行研发、试制的最关键的系统——光路传输系统物理结构设计符合技术要求、可靠可用。
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中科信公司就是中国电子科技集团旗下第48研究所，另外根据去年7月份消息，48所将在今年年内推出”45-22nm/12英寸低能大束流离子注入机，兔子又种出一种新萝卜
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收
链接http://www.cetc.com.cn/
2014年1月18-19日，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。
验收组首先听取了项目、各课题的任务及财务完成情况汇报，然后进行现场检查、测试、资料审查、质询与讨论。验收组一致认为：中科信公司全面完成了合同书规定的研发内容，成功开发出适用极大规模集成电路12英寸生产线90-65纳米工艺沟道工程和阱注入制程的大角度（中束流）离子注入机，设备的各项技术指标达到合同任务书的考核要求。验收组同意该项目通过验收。
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目在实施过程中，以技术突破和产业化为核心，以人才队伍培育为重点，以国内先进的集成电路生产线为工艺平台，注重知识产权体系的建立与完善，建立了集设计、研发、制造、调试、服务于一体的装备开发体系，实现了核心零部件国产化与整机制造工程化，同时工艺超合同要求延伸了两个技术代（到55纳米与28纳米），该项目以高分通过验收，标志着我国离子注入装备从关键技术到系统设计均实现了自主创新，并从消化吸收阶段跨越到正向设计阶段。彰显了中国电科在集成电路装备领域占领战略制高点的决心与实力。
48所 “十二五”45-22nm低能大束流离子注入机项目取得重大技术突破
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9月10日,48所“十二五”项目组45-22nm低能大束流离子注入机在5-40kev能量下获得到靶1.5-12mA（B+）的大束流，在未进行校准情况下，束流均匀性在330mm宽的范围内达到3%-4%，取得了重大技术突破。
试验数据表明,低能大束流设备中完全由48所自行研发、试制的最关键的系统——光路传输系统物理结构设计符合技术要求、可靠可用。
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中科信公司就是中国电子科技集团旗下第48研究所，另外根据去年7月份消息，48所将在今年年内推出”45-22nm/12英寸低能大束流离子注入机，兔子又种出一种新萝卜
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2014年1月18-19日，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等领域的国家层面的专家和各级领导40余人参加了项目验收工作。
验收组首先听取了项目、各课题的任务及财务完成情况汇报，然后进行现场检查、测试、资料审查、质询与讨论。验收组一致认为：中科信公司全面完成了合同书规定的研发内容，成功开发出适用极大规模集成电路12英寸生产线90-65纳米工艺沟道工程和阱注入制程的大角度（中束流）离子注入机，设备的各项技术指标达到合同任务书的考核要求。验收组同意该项目通过验收。
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目在实施过程中，以技术突破和产业化为核心，以人才队伍培育为重点，以国内先进的集成电路生产线为工艺平台，注重知识产权体系的建立与完善，建立了集设计、研发、制造、调试、服务于一体的装备开发体系，实现了核心零部件国产化与整机制造工程化，同时工艺超合同要求延伸了两个技术代（到55纳米与28纳米），该项目以高分通过验收，标志着我国离子注入装备从关键技术到系统设计均实现了自主创新，并从消化吸收阶段跨越到正向设计阶段。彰显了中国电科在集成电路装备领域占领战略制高点的决心与实力。
48所 “十二五”45-22nm低能大束流离子注入机项目取得重大技术突破
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9月10日,48所“十二五”项目组45-22nm低能大束流离子注入机在5-40kev能量下获得到靶1.5-12mA（B+）的大束流，在未进行校准情况下，束流均匀性在330mm宽的范围内达到3%-4%，取得了重大技术突破。
试验数据表明,低能大束流设备中完全由48所自行研发、试制的最关键的系统——光路传输系统物理结构设计符合技术要求、可靠可用。
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中科信公司就是中国电子科技集团旗下第48研究所，另外根据去年7月份消息，48所将在今年年内推出”45-22nm/12英寸低能大束流离子注入机，兔子又种出一种新萝卜
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验收组首先听取了项目、各课题的任务及财务完成情况汇报，然后进行现场检查、测试、资料审查、质询与讨论。验收组一致认为：中科信公司全面完成了合同书规定的研发内容，成功开发出适用极大规模集成电路12英寸生产线90-65纳米工艺沟道工程和阱注入制程的大角度（中束流）离子注入机，设备的各项技术指标达到合同任务书的考核要求。验收组同意该项目通过验收。
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目在实施过程中，以技术突破和产业化为核心，以人才队伍培育为重点，以国内先进的集成电路生产线为工艺平台，注重知识产权体系的建立与完善，建立了集设计、研发、制造、调试、服务于一体的装备开发体系，实现了核心零部件国产化与整机制造工程化，同时工艺超合同要求延伸了两个技术代（到55纳米与28纳米），该项目以高分通过验收，标志着我国离子注入装备从关键技术到系统设计均实现了自主创新，并从消化吸收阶段跨越到正向设计阶段。彰显了中国电科在集成电路装备领域占领战略制高点的决心与实力。
48所 “十二五”45-22nm低能大束流离子注入机项目取得重大技术突破
链接：http://www.cs48.com/
9月10日,48所“十二五”项目组45-22nm低能大束流离子注入机在5-40kev能量下获得到靶1.5-12mA（B+）的大束流，在未进行校准情况下，束流均匀性在330mm宽的范围内达到3%-4%，取得了重大技术突破。
试验数据表明,低能大束流设备中完全由48所自行研发、试制的最关键的系统——光路传输系统物理结构设计符合技术要求、可靠可用。
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中科信公司就是中国电子科技集团旗下第48研究所，另外根据去年7月份消息，48所将在今年年内推出”45-22nm/12英寸低能大束流离子注入机，兔子又种出一种新萝卜
“90-65纳米大角度离子注入机”是不是就是运用于90-65纳米工艺的注入机?
和目前世界先进的工艺间，还隔着几代：
45nm、32nm、22nm......
存储芯片现在有19nm工艺吧。
对土鳖而言，设备自产还是有意义的；
就不知目前90nm、65nm的芯片还有没有竞争力、养得起设备产业不？
和目前世界先进的工艺间，还隔着几代：
45nm、32nm、22nm......
存储芯片现在有19nm工艺吧。
对土鳖而言，设备自产还是有意义的；
就不知目前90nm、65nm的芯片还有没有竞争力、养得起设备产业不？
懂得专家出来解说一下呢
兔子真打算产供销一条龙么
xxg1017 发表于 2014-2-18 20:12
兔子真打算产供销一条龙么
日本就这样起来的
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