超级军网中国科学家自主研制成功新型光刻机
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/27 16:36:33
新华社成都３月２３日电（记者李华梁）记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，该所自主研发的新型光刻机，将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术，与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。
记者了解到，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下，完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利２０余项。
“该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。
据悉，该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、ＮＭＥＭＳ器件等微纳结构器件的制备，具有广阔的应用前景，目前已完成初试和小批生产，并已在高校与企业用户中推广。（完）
http://laoyaoba.com/ss6/html/69/n-594569.html新华社成都３月２３日电（记者李华梁）记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，该所自主研发的新型光刻机，将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术，与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。
记者了解到，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下，完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利２０余项。
“该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。
据悉，该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、ＮＭＥＭＳ器件等微纳结构器件的制备，具有广阔的应用前景，目前已完成初试和小批生产，并已在高校与企业用户中推广。（完）
http://laoyaoba.com/ss6/html/69/n-594569.html
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，该所自主研发的新型光刻机，将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术，与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。
记者了解到，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下，完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利２０余项。
“该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。
据悉，该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、ＮＭＥＭＳ器件等微纳结构器件的制备，具有广阔的应用前景，目前已完成初试和小批生产，并已在高校与企业用户中推广。（完）
http://laoyaoba.com/ss6/html/69/n-594569.html新华社成都３月２３日电（记者李华梁）记者２３日从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，该所自主研发的新型光刻机，将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术，与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。
记者了解到，这套设备采用新型纳米对准技术，将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一，是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下，完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发，取得专利２０余项。
“该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题，为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。
据悉，该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、ＮＭＥＭＳ器件等微纳结构器件的制备，具有广阔的应用前景，目前已完成初试和小批生产，并已在高校与企业用户中推广。（完）
http://laoyaoba.com/ss6/html/69/n-594569.html
@hswz 来评点一下。
在激光技术方面中国似乎不输老美呀。
厂家应该自己接活流片
前几天也看到光刻机，有些乱了。到底哪个代表先进？哪位大神梳理下、、、
xdw076 发表于 2016-3-24 11:00
前几天也看到光刻机，有些乱了。到底哪个代表先进？哪位大神梳理下、、、
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余作家可以自由发挥的题材
xdw076 发表于 2016-3-24 11:00
前几天也看到光刻机，有些乱了。到底哪个代表先进？哪位大神梳理下、、、
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余作家可以自由发挥的题材
6g2 发表于 2016-3-24 11:03
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余 ...
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余 ...
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
wenxf 发表于 2016-3-24 11:08
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ21几年前的报道，看看今天，呵呵，同样诸如此类的东西数不胜数，几年后当笑话看看
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ21几年前的报道，看看今天，呵呵，同样诸如此类的东西数不胜数，几年后当笑话看看
wenxf 发表于 2016-3-24 11:08
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
其实工程研究也是如此。只有努力不断投入才可能真正突破进展。
科学投入本来就是广种薄收，投了十个有一个能成就算是祖上烧了高香了。
其实工程研究也是如此。只有努力不断投入才可能真正突破进展。
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余 ...
又新注册了个马甲，关于这个，你还知道点什么?进口部件怎么了?里面用的铜说不定也是进口的
又新注册了个马甲，关于这个，你还知道点什么?进口部件怎么了?里面用的铜说不定也是进口的
大力支持，持续点赞。
6g2 发表于 2016-3-24 11:15
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ2 ...
在一阵笑声中，J15挂着导弹飞上了蓝天，航母也要下水了，大飞机马上也要飞了。
对了，贵国的心神号大航模飞了没？
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ2 ...
在一阵笑声中，J15挂着导弹飞上了蓝天，航母也要下水了，大飞机马上也要飞了。
对了，贵国的心神号大航模飞了没？
future220 发表于 2016-3-24 11:18
又新注册了个马甲，关于这个，你还知道点什么?进口部件怎么了?里面用的铜说不定也是进口的
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
又新注册了个马甲，关于这个，你还知道点什么?进口部件怎么了?里面用的铜说不定也是进口的
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
6g2 发表于 2016-3-24 11:24
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
6g2 发表于 2016-3-24 11:24
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
哪个领域你都能扯一扯，也是个人才
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
6g2 发表于 2016-3-24 11:24
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
哪个领域你都能扯一扯，也是个人才
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
future220 发表于 2016-3-24 11:27
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
那些猴子国连最基本的大推都还没做出来，你跟它谈反物质，也是太欺负人了点。
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
那些猴子国连最基本的大推都还没做出来，你跟它谈反物质，也是太欺负人了点。
皮吸轰 发表于 2016-3-24 11:25
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
落后？哈哈哈，现在都用锂电了是吧，用镍氢电池的地方多了，你想不到而已，锂电智能充更难。
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
落后？哈哈哈，现在都用锂电了是吧，用镍氢电池的地方多了，你想不到而已，锂电智能充更难。
倭寇做高级喷气式超跑还是世界领先的
6g2 发表于 2016-3-24 11:15
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ2 ...
这有什么不了解的，美国死掉的很多技术工程多了去了，中国这才哪到哪。当年名动一时的翠鸟无人机，高超音速反舰弹，还有名燥一时的深蓝，都死在了路上。投入十分收货只有几厘，这是技术投入的常态。
这个过程实际的情况到底怎样不是军迷了解的，这种信息你最好几年以后再回首，一切真相都解开，看看ARJ2 ...
这有什么不了解的，美国死掉的很多技术工程多了去了，中国这才哪到哪。当年名动一时的翠鸟无人机，高超音速反舰弹，还有名燥一时的深蓝，都死在了路上。投入十分收货只有几厘，这是技术投入的常态。
说了半天纳米级，就是没说是到底是多少纳米的？目前intel 14纳米都量产几年了。
没有高人来科普啊？
貌似同样的纳米级，兔子的实现方式更容易白菜花，只是目前精度比MD还差点。
其实兔子就是比较懒，能买到的东西没动力研发，只要MD继续封锁，兔子很快就搞出来了，说白了就是砸钱
其实兔子就是比较懒，能买到的东西没动力研发，只要MD继续封锁，兔子很快就搞出来了，说白了就是砸钱
6g2 发表于 2016-3-24 11:24
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
别忘了圆珠笔芯
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
别忘了圆珠笔芯
wxzxf 发表于 2016-3-24 16:21
貌似同样的纳米级，兔子的实现方式更容易白菜花，只是目前精度比MD还差点。
其实兔子就是比较懒，能买到的 ...
光刻机还是比日本荷兰吧？
貌似同样的纳米级，兔子的实现方式更容易白菜花，只是目前精度比MD还差点。
其实兔子就是比较懒，能买到的 ...
光刻机还是比日本荷兰吧？
超大需要好听话 发表于 2016-3-24 15:47
没有高人来科普啊？
不是很懂。光刻机目前好像有三个研究方向。
第一个是EUV方式，极紫光技术。这是最直接的技术，也是最有可能取得突破的技术。利用波长极短的极紫光。但目前存在功率低，照射时间短的缺点。而且研发资金巨大。ASML，三星，英特尔都在主要研发这个技术。
第二个是利用目前成熟的长波长光源，通过浸渗技术，表面等离子衍射技术来达到获得极高分辨率。这个方向优点是光源成熟，开发成本比较低。但缺点是大的突破比较难，毕竟使用的是长波长，能够达到的有极限。前两天有个帖子，就是介绍了国内的表面等离子体超衍射光学光刻的。而日本的尼康则玩了命的继续压榨浸渗技术。据说也居然有可能弄到10nm分辨率。
第三个就是这个了，紫外纳米压印技术，NIL技术。这个和前两个思路完全不同，不是采用曝光技术，而是直接用纳米技术在基板上压印。目前这个技术日本佳能比较积极（佳能已经完全没有能力跟上EUV技术，完全放弃研发了）。优点是结构简单，可以大幅度降低设备的成本。但缺点是由于直接压印，目前的技术不良率极高，还没有办法获得量产。
所以国内的报道如果有这三个参数了，那就是真的在高端突破了。
第一，EUV光刻机，分辨率达到10nm以下，稳定量产14nm。或者大功率，长时间照射。
第二 ，表面等离子衍射或Arf浸渗，量产稳定分辨率20nm以下。
第三 紫光纳米压印光刻机 稳定量产。大面积基板。
不过国内企业完全可以在现有成熟技术上，降低设备的成本，提高生产效率，降低不良率上取得突破。毕竟光刻机不是只用于手机芯片的。像佳能的300nm分辨率的光刻机还算主力机型呢。
没有高人来科普啊？
不是很懂。光刻机目前好像有三个研究方向。
第一个是EUV方式，极紫光技术。这是最直接的技术，也是最有可能取得突破的技术。利用波长极短的极紫光。但目前存在功率低，照射时间短的缺点。而且研发资金巨大。ASML，三星，英特尔都在主要研发这个技术。
第二个是利用目前成熟的长波长光源，通过浸渗技术，表面等离子衍射技术来达到获得极高分辨率。这个方向优点是光源成熟，开发成本比较低。但缺点是大的突破比较难，毕竟使用的是长波长，能够达到的有极限。前两天有个帖子，就是介绍了国内的表面等离子体超衍射光学光刻的。而日本的尼康则玩了命的继续压榨浸渗技术。据说也居然有可能弄到10nm分辨率。
第三个就是这个了，紫外纳米压印技术，NIL技术。这个和前两个思路完全不同，不是采用曝光技术，而是直接用纳米技术在基板上压印。目前这个技术日本佳能比较积极（佳能已经完全没有能力跟上EUV技术，完全放弃研发了）。优点是结构简单，可以大幅度降低设备的成本。但缺点是由于直接压印，目前的技术不良率极高，还没有办法获得量产。
所以国内的报道如果有这三个参数了，那就是真的在高端突破了。
第一，EUV光刻机，分辨率达到10nm以下，稳定量产14nm。或者大功率，长时间照射。
第二 ，表面等离子衍射或Arf浸渗，量产稳定分辨率20nm以下。
第三 紫光纳米压印光刻机 稳定量产。大面积基板。
不过国内企业完全可以在现有成熟技术上，降低设备的成本，提高生产效率，降低不良率上取得突破。毕竟光刻机不是只用于手机芯片的。像佳能的300nm分辨率的光刻机还算主力机型呢。
事物发展的规律没有变，基本面是趋好趋上，但信息时代把本来清楚的东西搅得东西他妈都认不出来了，这不是信息科技的错，领导成了万能，发烧成了专业，文凭被逼作弊，这是信息时代的特色吗？当然不是！······我们走得太快，连我们的影子（灵魂）都追不上我们了！
泰国刀削面 发表于 2016-3-24 17:34
不是很懂。光刻机目前好像有三个研究方向。
第一个是EUV方式，极紫光技术。这是最直接的技术，也是最有 ...
不错。先从低端做起吧。建议研究所和光刻机工厂一起联合公关。
不是很懂。光刻机目前好像有三个研究方向。
第一个是EUV方式，极紫光技术。这是最直接的技术，也是最有 ...
不错。先从低端做起吧。建议研究所和光刻机工厂一起联合公关。
头回听说镍氢电池锂电池智能充做好很难
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余 ...
明年就可以新闻完全自助知识产权的了，后年是国产化率百分之百
明年就可以新闻完全自助知识产权的了，后年是国产化率百分之百
看看应用在说 有弯道超车的可能 关键是市场
呵呵，这个东西基本是年年突破，年年无突破，工程样机算不算都是问题，也不排除进口部件，属于大小业余 ...
有很多东西需要持续不断的投入才会真正开花结果，就像孩子一样，要养大才能成人
有很多东西需要持续不断的投入才会真正开花结果，就像孩子一样，要养大才能成人
sinacom 发表于 2016-3-24 10:55
厂家应该自己接活流片
先掏几十个亿整个Fab出来？
厂家应该自己接活流片
先掏几十个亿整个Fab出来？
future220 发表于 2016-3-24 11:27
哪个领域你都能扯一扯，也是个人才
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
你说鸭它扯鸡，你说东它往西！！中定输系列.....
哪个领域你都能扯一扯，也是个人才
我说的是光刻机，你扯充电器，废话，我还知道反物质推进器很难做呢
你说鸭它扯鸡，你说东它往西！！中定输系列.....
我知道的是就连智能镍氢电池充电器做好都很难！
你好博学呀
你好博学呀
皮吸轰 发表于 2016-3-24 11:24
在一阵笑声中，J15挂着导弹飞上了蓝天，航母也要下水了，大飞机马上也要飞了。
对了，贵国的心神号 ...
本国薄弱的航天工业不经保护就直接遭受美国军工的挑战决定了心神不可能成功
在一阵笑声中，J15挂着导弹飞上了蓝天，航母也要下水了，大飞机马上也要飞了。
对了，贵国的心神号 ...
本国薄弱的航天工业不经保护就直接遭受美国军工的挑战决定了心神不可能成功
CD以前有个桃华月禅老大，不知现在还能召唤出来不
关键是市场化啦
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
国产品牌的锂电池、充电器也是今非昔比，这不，兜里还装着一块儿品胜版的5D3电池，用的挺好！^_^
国产品牌的锂电池、充电器也是今非昔比，这不，兜里还装着一块儿品胜版的5D3电池，用的挺好！^_^
炸体 发表于 2016-3-24 17:03
光刻机还是比日本荷兰吧？
荷兰老大，日本比荷兰差不少，中国在追日本。
光刻机还是比日本荷兰吧？
荷兰老大，日本比荷兰差不少，中国在追日本。
马上石墨烯了，还用那个落后的东西干嘛呢。
国产品牌的锂电池、充电器也是今非昔比，这不，兜里还装着一块儿品胜版的5D3电池，用的挺好！^_^
国产品牌的锂电池、充电器也是今非昔比，这不，兜里还装着一块儿品胜版的5D3电池，用的挺好！^_^