超级军网尼康在日本首次展出整个表面形成微细图案的450mm晶圆
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/29 12:35:39
在12月3～5日于东京有明国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2014”上，尼康首次在日本展出了在晶圆的整个表面上形成了微细布线图案的450mm晶圆。其特点是，并不是在晶圆上局部解析图案，而是能够在晶圆的整个表面解析图案。使用的是液浸曝光装置，NA值为1.35，与目前已量产的300mm晶圆的液浸曝光装置相同。NA值越高，就越能解析微细图案。
尼康面向英特尔等参与的450mm晶圆相关技术开发联盟——Global 450mm Consortium（G450C），开始涉足450mm晶圆曝光领域，目前开发在按照预定计划推进。尼康计划2015年4月向奥尔巴尼（Albany）的研究开发设施供货可处理450mm晶圆的液浸曝光装置。尼康介绍称，“虽说是用于处理450mm晶圆，但基本上使用的是面向300mm晶圆的已有技术，因此容易实现量产”。
据介绍，可在450mm晶圆上同时形成线宽32nm、线距96nm的布线图案和直径60nm的接触孔（孔距为100nm）。在布线图案及接触孔的形成方面，除了G450C以外，尼康还与富士胶片、JSR及东京应化工业开展了合作。
链接china.nikkeibp.com.cn/news/semi/72957-201412081515.html
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在12月3～5日于东京有明国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2014”上，尼康首次在日本展出了在晶圆的整个表面上形成了微细布线图案的450mm晶圆。其特点是，并不是在晶圆上局部解析图案，而是能够在晶圆的整个表面解析图案。使用的是液浸曝光装置，NA值为1.35，与目前已量产的300mm晶圆的液浸曝光装置相同。NA值越高，就越能解析微细图案。
尼康面向英特尔等参与的450mm晶圆相关技术开发联盟——Global 450mm Consortium（G450C），开始涉足450mm晶圆曝光领域，目前开发在按照预定计划推进。尼康计划2015年4月向奥尔巴尼（Albany）的研究开发设施供货可处理450mm晶圆的液浸曝光装置。尼康介绍称，“虽说是用于处理450mm晶圆，但基本上使用的是面向300mm晶圆的已有技术，因此容易实现量产”。
据介绍，可在450mm晶圆上同时形成线宽32nm、线距96nm的布线图案和直径60nm的接触孔（孔距为100nm）。在布线图案及接触孔的形成方面，除了G450C以外，尼康还与富士胶片、JSR及东京应化工业开展了合作。
链接china.nikkeibp.com.cn/news/semi/72957-201412081515.html
泥坑有能力做到这一步，为什么这么多年还是向大法买呢？或者最低限度像富士那样修改一下滤镜搞出自己的特色出来。感觉它就是植入相位点就了事了？不过NA1.35真的很牛
作为器材党还是先遁了，看看技术党怎么说？富士胶片、JSR及东京应化工业，听名字就觉得产业层次真tm高
泥坑有能力做到这一步，为什么这么多年还是向大法买呢？或者最低限度像富士那样修改一下滤镜搞出自 ...
这是光刻，跟传感器两码事
这是光刻，跟传感器两码事
再说鞋厂自己设计的传感器也好几款了
泥坑有能力做到这一步，为什么这么多年还是向大法买呢？或者最低限度像富士那样修改一下滤镜搞出自 ...
这种高端货土豪都玩不起的。
这种高端货土豪都玩不起的。
Gunslinger 发表于 2015-1-30 22:15
这是光刻，跟传感器两码事
不是说索尼其实是借尼康的光刻吗？本来几年前尼康放风出来也要加入E口，后来搞1系列
这是光刻，跟传感器两码事
不是说索尼其实是借尼康的光刻吗？本来几年前尼康放风出来也要加入E口，后来搞1系列
单反那是屌丝玩的，超级玩家玩的镜头都是二三十万一部，卡尔蔡司还有200万一部重达300公斤的镜头来自: Android客户端
感觉很高大上的样子