目前也没有所谓红鸟巡航导弹!

<P>只有东海10号（DH-10)巡航导弹，见下列文章!</P>
<P>希望大家不要再以讹传讹!</P>
<P> </P>
<P>硅微传感器及其集成测量系统研究 </P>


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张文栋 华北工学院 批准号:59725512 期限：1998.01-2000.12 金额: 60万

　　理论方面的突破:
　　（1）建立了特殊环境下多参数的融合与分离理论；提出了环境因子概念
　　该理论对实际的高温、高压、高过载、强冲击震动的环境下，多个参数间的信息的融合，交叉干扰，以及数据分离进行了深入的研究。对多维测试信息及其干扰的耦合识别模型理论进行了探讨，并完成了复合传感器的建模。
　　环境因子概念的提出，将环境对测试参数的影响用数学的方法来表征，在多参数的融合与分离中，将从属参数简化为环境因子；这个概念的提出极大的简化了特殊环境下复合传感器的建模。
　　（2）建立了实时数据压缩存储理论
　　该理论提出实时数据压缩存储算法以及四种采样策略，使得有限的存储容量可以记录更多的有用信息，或者是减小存储容量以降低存储测试系统成本；为“三微”的实现提供了理论基础，在该理论的指导下，研制了专用数据采集压缩芯片Th9801
　　（3）建立了并行梁电阻网络测试加速度的理论与方法，并应用于三轴加速度传感器的设计
　　在对加速度的测试进行全面调研和深入研究的基础上，提出了并行梁测试加速度的理论与方法。该方法已经应用于单质量块三轴加速度传感器。
　　技术方面的突破：
　　（1）设计了并行梁电阻网络单质量块三轴集成加速度传感器
　　该传感器改变了过去采用三个单轴加速度传感器组合测量三轴加速度的方法，实现了单质量块三轴加速度测量，通过有效算法,大大地提高了三轴加速度的测量准确性。既减小了体积又节省了经费,为系统集成奠定了基础。
　　（2）结构的稳态与瞬态仿真
　　采用Ansys 有限元分析软件，对结构进行了仿真研究，结果表明所设计的结构特性理论与实验测试基本相符。
　　（3）加速度、压力、温度复合传感器一体化
　　压力和温度传感器经过一次硅工艺流程加工而成。压力传感器采用电容原理，通过电容极板间隙的变化来感受压力的变化。温度传感器则是利用PN结的温度效应来实现的。该传感器实现了压力传感器结构与温度传感器一体化单片集成。为“单芯片系统”的研制奠定了基础。采用微组装和硅硅键合技术，实现了由硅微传感器同时测量加速度，压力和温度三个参数。它是特殊环境多参数融合与分离理论,并行梁电阻网络理论等理论以及多项新工艺的结晶。
　　（4）集成微型测量系统
　　在实时数据压缩存储理论的指导下，研制出了实时数据采集与压缩存储控制芯片Th9801。完成了集加速度、压力与温度存储测试于一体的集成测量系统。
　　（5）突破了密封健合同时又要在结合面引出导线的工艺难点。
　　密封键合导线工艺用于温度压力复合传感器的加工，采用融熔键合技术与二氧化硅生长密封技术，实现了密封的同时从结合面引出导线。
　　（6）突破了多参数复合传感器装配，封装的工艺难点
　　该工艺结合传感器自身的特点以及特殊的测试环境，不仅能起到芯片保护和机械支撑而且还耐腐蚀、耐高温、可承受冲击震动、抗强电磁场等。
　　1、其它成果（获得专利、工程应用或进入国家其它重大计划等）
　　◆ 东海10号巡航导弹飞行过载测试
　　◆ YJ-62，YJ-82，YJ-83，YJ-85，YJ-91等鹰击系列潜舰发射导弹出水过载
　　◆ HHQ-7、HHQ-9防空导弹弹道加速度测试
　　◆ DO1炮射导弹全弹道加速度测试
　　◆ CZ-3A/B运载火箭星箭分离冲击过载
　　◆ 人体运动参数测试仪
　　◆ 引信环境参数测试
　　2、国际合作与交流：
　　1．2000.4 在日本参加第六届国际微机械高层会议，联合发表了“SOCIAL INDUSTRICAL IMPACTS ”的学术论文，会后访问了韩国汉城大学。
　　2．1999.6：美国工程院士，伯克利加州大学教授R.Muller应邀访问，作学术报告“MEMS：the Promise for the 3rd Millennium”。
　　3．1999.4，在英国参加第五届国际微机械高层会议。发表论文“A DISTRIBUTED ENVIRMONMENT MONITORING SYSTEM”。会后访问瑞士CSEM。
　　4．1999.6：美国路易斯安娜州立大学王万军教授应邀访问，作学术报告。
　　5．1999.6：伯克利加州大学教授Fai Ma应邀访问，作学术报告。
　　6．1999.6：主办了“第三届国际测试技术研究会”国内外150名专家学者就MEMS专题进行学术研究。
　　7．1998.4：美国路易斯安娜州立大学王万军教授应邀作讲学一个月。
　　8．1998.6：美国ADI公司高级技术专家赵阳博士应邀来访参观实验室，进行技术座谈，并作了题为：“AD公司MEMS产品及其应用”的学术报告。
　　9．1998.4：在澳大利亚参加第四届国际微机械高层会议。并作了题为“Microinstrumentation”的大会报告。
　　10.1998.8～1993.3：到美国伯克利加州大学传感器与执行器研究中心进行学术交流与访问研究。研究课题：硅微加工技术与微器件研究
　　3、人才培养
　　培养12名研究生，其中博士4名，硕士8名，有8名研究生从事微机械方面的研究课题。
　　4、5篇具代表性的论文或成果目录
　　◆ 张文栋 等，导弹数据记录设备，获国家教育部科技进步一等奖，1999。
　　◆ 张文栋译“Micromachined tranducers”，100万字，科学出版社，2000年
　　◆ 张文栋等，微型测量仪，《兵工学报》，第20卷，第17-20页，中国兵工学会，1999。
　　◆ Wendong Zhang, et al. Multi-parameter micosensor and the integrated measurement system,Proceedings of IEEE IMTC/2000, IEEE Instrumentation and Measurement Society, pp 305-308, USA, 2000
　　◆ Wendong Zhang, et al.A distributed environment monitoring system , Proceeding of the 5th world micromachine summit, pp 50-54, UK,1999
</P><P>只有东海10号（DH-10)巡航导弹，见下列文章!</P>
<P>希望大家不要再以讹传讹!</P>
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<P>硅微传感器及其集成测量系统研究 </P>


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张文栋 华北工学院 批准号:59725512 期限：1998.01-2000.12 金额: 60万

　　理论方面的突破:
　　（1）建立了特殊环境下多参数的融合与分离理论；提出了环境因子概念
　　该理论对实际的高温、高压、高过载、强冲击震动的环境下，多个参数间的信息的融合，交叉干扰，以及数据分离进行了深入的研究。对多维测试信息及其干扰的耦合识别模型理论进行了探讨，并完成了复合传感器的建模。
　　环境因子概念的提出，将环境对测试参数的影响用数学的方法来表征，在多参数的融合与分离中，将从属参数简化为环境因子；这个概念的提出极大的简化了特殊环境下复合传感器的建模。
　　（2）建立了实时数据压缩存储理论
　　该理论提出实时数据压缩存储算法以及四种采样策略，使得有限的存储容量可以记录更多的有用信息，或者是减小存储容量以降低存储测试系统成本；为“三微”的实现提供了理论基础，在该理论的指导下，研制了专用数据采集压缩芯片Th9801
　　（3）建立了并行梁电阻网络测试加速度的理论与方法，并应用于三轴加速度传感器的设计
　　在对加速度的测试进行全面调研和深入研究的基础上，提出了并行梁测试加速度的理论与方法。该方法已经应用于单质量块三轴加速度传感器。
　　技术方面的突破：
　　（1）设计了并行梁电阻网络单质量块三轴集成加速度传感器
　　该传感器改变了过去采用三个单轴加速度传感器组合测量三轴加速度的方法，实现了单质量块三轴加速度测量，通过有效算法,大大地提高了三轴加速度的测量准确性。既减小了体积又节省了经费,为系统集成奠定了基础。
　　（2）结构的稳态与瞬态仿真
　　采用Ansys 有限元分析软件，对结构进行了仿真研究，结果表明所设计的结构特性理论与实验测试基本相符。
　　（3）加速度、压力、温度复合传感器一体化
　　压力和温度传感器经过一次硅工艺流程加工而成。压力传感器采用电容原理，通过电容极板间隙的变化来感受压力的变化。温度传感器则是利用PN结的温度效应来实现的。该传感器实现了压力传感器结构与温度传感器一体化单片集成。为“单芯片系统”的研制奠定了基础。采用微组装和硅硅键合技术，实现了由硅微传感器同时测量加速度，压力和温度三个参数。它是特殊环境多参数融合与分离理论,并行梁电阻网络理论等理论以及多项新工艺的结晶。
　　（4）集成微型测量系统
　　在实时数据压缩存储理论的指导下，研制出了实时数据采集与压缩存储控制芯片Th9801。完成了集加速度、压力与温度存储测试于一体的集成测量系统。
　　（5）突破了密封健合同时又要在结合面引出导线的工艺难点。
　　密封键合导线工艺用于温度压力复合传感器的加工，采用融熔键合技术与二氧化硅生长密封技术，实现了密封的同时从结合面引出导线。
　　（6）突破了多参数复合传感器装配，封装的工艺难点
　　该工艺结合传感器自身的特点以及特殊的测试环境，不仅能起到芯片保护和机械支撑而且还耐腐蚀、耐高温、可承受冲击震动、抗强电磁场等。
　　1、其它成果（获得专利、工程应用或进入国家其它重大计划等）
　　◆ 东海10号巡航导弹飞行过载测试
　　◆ YJ-62，YJ-82，YJ-83，YJ-85，YJ-91等鹰击系列潜舰发射导弹出水过载
　　◆ HHQ-7、HHQ-9防空导弹弹道加速度测试
　　◆ DO1炮射导弹全弹道加速度测试
　　◆ CZ-3A/B运载火箭星箭分离冲击过载
　　◆ 人体运动参数测试仪
　　◆ 引信环境参数测试
　　2、国际合作与交流：
　　1．2000.4 在日本参加第六届国际微机械高层会议，联合发表了“SOCIAL INDUSTRICAL IMPACTS ”的学术论文，会后访问了韩国汉城大学。
　　2．1999.6：美国工程院士，伯克利加州大学教授R.Muller应邀访问，作学术报告“MEMS：the Promise for the 3rd Millennium”。
　　3．1999.4，在英国参加第五届国际微机械高层会议。发表论文“A DISTRIBUTED ENVIRMONMENT MONITORING SYSTEM”。会后访问瑞士CSEM。
　　4．1999.6：美国路易斯安娜州立大学王万军教授应邀访问，作学术报告。
　　5．1999.6：伯克利加州大学教授Fai Ma应邀访问，作学术报告。
　　6．1999.6：主办了“第三届国际测试技术研究会”国内外150名专家学者就MEMS专题进行学术研究。
　　7．1998.4：美国路易斯安娜州立大学王万军教授应邀作讲学一个月。
　　8．1998.6：美国ADI公司高级技术专家赵阳博士应邀来访参观实验室，进行技术座谈，并作了题为：“AD公司MEMS产品及其应用”的学术报告。
　　9．1998.4：在澳大利亚参加第四届国际微机械高层会议。并作了题为“Microinstrumentation”的大会报告。
　　10.1998.8～1993.3：到美国伯克利加州大学传感器与执行器研究中心进行学术交流与访问研究。研究课题：硅微加工技术与微器件研究
　　3、人才培养
　　培养12名研究生，其中博士4名，硕士8名，有8名研究生从事微机械方面的研究课题。
　　4、5篇具代表性的论文或成果目录
　　◆ 张文栋 等，导弹数据记录设备，获国家教育部科技进步一等奖，1999。
　　◆ 张文栋译“Micromachined tranducers”，100万字，科学出版社，2000年
　　◆ 张文栋等，微型测量仪，《兵工学报》，第20卷，第17-20页，中国兵工学会，1999。
　　◆ Wendong Zhang, et al. Multi-parameter micosensor and the integrated measurement system,Proceedings of IEEE IMTC/2000, IEEE Instrumentation and Measurement Society, pp 305-308, USA, 2000
　　◆ Wendong Zhang, et al.A distributed environment monitoring system , Proceeding of the 5th world micromachine summit, pp 50-54, UK,1999
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