国内集成电路用的光膜哪里造?

来源：百度文库编辑：超级军网时间：2024/04/28 00:08:27

我做光刻和ETCHING需要便宜但是不那里精密的光膜
国内哪里有便宜点的, 做实验只需要小批量. 可能
一种设计就一个两个. 40MM*40MM价格多少?我做光刻和ETCHING需要便宜但是不那里精密的光膜
国内哪里有便宜点的, 做实验只需要小批量. 可能
一种设计就一个两个. 40MM*40MM价格多少?

我现在从苏格兰某地买的, 一块大约8000RMB

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教主，你到底懂不懂啊
你有不说是contact还是projector的
pattern是什么样的
grid是什么材料的，substrate厚度，什么材料
特征尺寸，max/min tolerance
鬼知道多少钱啊
也不知道你是要mother mask还是production mask
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我不做工艺,只用简单的ETCHING和PHOTOLITHOGRAGHY做无源器件.

contact
<1微米
单晶硅
图案很简单

从几百欧到几万欧的都有

还是多联系几家问问吧

mask？
可以去上海杜邦问问

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我没那么多要求, 一微米的足够了.
但是我现在用的还是玻璃的.

合肥：国内首台自主研发“光刻机”面世
2008年01月13日 15:34:58 　来源：新华网

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新华网合肥１月１３日电（记者熊润频）国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机日前在合肥面世。由中国工程院院士张钟华、叶声华等专家组成的鉴定组在鉴定后认为，芯硕半导体（中国）有限公司的“光刻机”技术，填补了国内光刻机在该项领域的空白，并且在国际同类产品中处于先进水平。
记者从芯硕半导体公司了解到，该公司此项技术投入资金５０００万元，历经一年时间，两台光刻机已于去年１２月正式下线，其分辨率已达到０．６５微米。
http://news.xinhuanet.com/newsce ... content_7414290.htm

他们还有无掩膜直刻产品。

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