超级军网SMEE首台应用于AM-OLED显示屏制造的国产投影光刻机上线
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/27 11:22:35
SMEE自主研制的首台应用于AM-OLED显示屏TFT电路制造的2.5代投影光刻机SSB225/10A通过出厂验收，顺利发运至客户处并上线试用。
未来，我司还将为国内平板显示产业提供更高世代TFT电路制造投影光刻机产品，为国内平板显示产业增强国际竞争力贡献力量。
SSB225/10A
SSB225/10投影光刻机专用于AM-OLED显示屏TFT电路制造，可使用的基板尺寸为370mm × 470mm，可满足OLED生产线G2.5代工艺要求及各种使用需求。
卓越的设备性能，高分辨率，高套刻精度
支持370mm × 470mm玻璃基板，适用于G2.5代线
曝光采用6英寸掩模版，设备可存储30块掩模版
采用UNIX操作系统，具有良好的系统稳定性的同时，具备友好的人机交互界面
支持符合SEMI标准的生产线自动化接口及设备之间的工艺数据同步
主要技术参数
分辨率(Resolution) 2um
曝光光源(Exposure Light Source) i-line mercury lamp
基板尺寸(Wafer Diameter) 370mm × 470mm
SSB245/10投影光刻机
专用于AM-OLED显示屏TFT电路制造，可使用的基板尺寸为730mm × 920mm，可满足OLED生产线G4.5代工艺要求及各种使用需求。
SMEE自主研制的首台应用于AM-OLED显示屏TFT电路制造的2.5代投影光刻机SSB225/10A通过出厂验收，顺利发运至客户处并上线试用。
未来，我司还将为国内平板显示产业提供更高世代TFT电路制造投影光刻机产品，为国内平板显示产业增强国际竞争力贡献力量。
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SSB225/10A
SSB225/10投影光刻机专用于AM-OLED显示屏TFT电路制造，可使用的基板尺寸为370mm × 470mm，可满足OLED生产线G2.5代工艺要求及各种使用需求。
卓越的设备性能，高分辨率，高套刻精度
支持370mm × 470mm玻璃基板，适用于G2.5代线
曝光采用6英寸掩模版，设备可存储30块掩模版
采用UNIX操作系统，具有良好的系统稳定性的同时，具备友好的人机交互界面
支持符合SEMI标准的生产线自动化接口及设备之间的工艺数据同步
主要技术参数
分辨率(Resolution) 2um
曝光光源(Exposure Light Source) i-line mercury lamp
基板尺寸(Wafer Diameter) 370mm × 470mm
SSB245/10投影光刻机
专用于AM-OLED显示屏TFT电路制造，可使用的基板尺寸为730mm × 920mm，可满足OLED生产线G4.5代工艺要求及各种使用需求。
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SSB245/10投影光刻机
LZ所在的公司现在在做这个
SMEE？没听过这家企业。
上海微电子装备有限公司(SMEE)
http://www.smee.com.cn/
http://www.smee.com.cn/
2013年3月19日至3月21日，全球最大规模的半导体展会——SEMICONChina2013在上海新国际博览中心隆重举行。 上海微电子装备有限公司（以下简称SMEE）重点展示了面向IC先进封装、3D-TSV制造领域的SSB500/20型步进投影光刻机，该产品较SSB500/10型进行了全面升级，在翘曲片处理、套刻精度、双面对准、高精度热效应控制等方面比国外竞争产品有明显优势。SSB500/20型于2012年陆续交付多家客户，并已实现多台海外设备出货，成为客户解决大翘曲硅片曝光工艺的最佳选择。目前SSB500系列产品已累计获得国内外专利220余项，先后获得“2010年度中国产学研创新成果奖”、“2011年度国家重点新产品计划入选产品”以及“2012年第14届中国国际工业博览会金奖”等多个奖项。 SMEE还展示了应用于HB-LED、MEMS和功率器件制造领域的300系列步进投影光刻机、应用于AM-OLEDTFT制造领域的SSB200系列投影光刻机以及面向前道大规模集成电路制造的600系列扫描投影光刻机。SMEE副总经理兼营销总监陈勇辉博士在展会同期举办的“2013本土半导体装备及材料产业研讨会及新品发布会”上，结合IC制造、先进封装、HB-LED以及AM-OLEDTFT技术趋势，全面介绍了SMEE面向下一个世代半导体制造光刻曝光工艺的全线解决方案，受到了与会200多名专业人士的重点关注。
请问，国产侵润试光刻机啥时候出来呀？
人家欧洲现在都在玩极紫外了
人家欧洲现在都在玩极紫外了
我要极紫外
好，阿拉上海人就是好样的
尺寸是不是太小了啊才３70mm × 470mm，也就２０寸的样子啊，太小了啊。
希望２０ＮＭ国产ＣＰＵ光刻机早日量产啊
希望２０ＮＭ国产ＣＰＵ光刻机早日量产啊
楼上怎么这么多哦不切实际的幻想呢，造出浸润式，EUV卖给谁？
好熟悉的场景，能造出来卖出去就能不断壮大。希望是要花钱实现的。