中国深紫外技术“独步世界”

这技术好处在哪里？不懂技术啊

请科普有啥用？

莽撞者 发表于 2011-10-27 23:48
请科普有啥用？
全固态深紫外（一般指波长短于200nm）相干光源是目前正在开发的一个重要激光应用领域。此相干光源的开发将极大的推动193nm光刻技术、激光精密加工、各种光电子能谱仪、激光光谱仪、激光Raman光谱仪等高技术领域和先进仪器制造业的发展。

深紫外(一般指波长短于200纳米)固态激光源是目前正在开发的一个重要的激光应用领域，是当前分析仪器发展的重要方向之一。它在提高科学仪器的空间分辨率、时间分辨率、能量分辨率方面起到重要作用。此光源的开发将极大地推动各种光电子能谱仪、激光光谱仪、激光拉曼光谱仪等高技术领域和先进仪器制造业的发展。

　　深紫外固态激光源科研装备可为化学、物理、信息、资源环境、生命科学等领域提供全新的研究手段，对科研活动将起到革命性的推动作用。

　　本报辽宁讯全球首台177.3纳米深紫外区拉曼光谱仪，全球最高空间分辨率深紫外激光光发射电子显微镜(PEEM)——最近，我国科研人员在重大科学仪器自主研制上获得两项创新成果。5月17日，由中科院组织，清华大学朱静院士任组长，清华大学、厦门大学、北京大学等机构的15位专家组成的验收委员会对中科院大连化学物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”子项目——“深紫外拉曼光谱仪研制”和“深紫外激光光发射电子显微镜的研制”项目进行审核，一致同意其通过验收。

　　据介绍，“深紫外拉曼光谱仪研制”项目利用我国自主研制的177.3纳米深紫外激光光源，采用外光路椭圆反射收集镜和深紫外区170～400纳米光谱响应的三联光栅成像单色仪，研制成功了国际上首台177.3纳米深紫外区拉曼光谱仪，并首次实现了193～240纳米激发波长的连续可调。该谱仪已经初步应用于催化、材料、能源等领域的拉曼光谱研究，显示出独特优势。

　　验收委员会在听取“深紫外拉曼光谱仪研制”项目负责人李灿院士的工作报告等，检查了仪器运转情况，并审核相关材料后表示：这种深紫外拉曼光谱仪各项性能达到了任务书要求，仪器运转正常，完成了预定的研制任务。它的成功研制将推动我国深紫外拉曼光谱仪的发展及其在催化等领域的研究，进一步保持我国在国际催化表征研究和相关研究领域的领先地位。验收委员会一致同意该项目通过验收，并建议项目组加强有关研究和仪器的下一步应用推广工作。

　　另一项由包信和院士领导的“深紫外激光光发射电子显微镜的研制”项目，首次将我国科学家自主研制的深紫外激光光源应用于光发射电子显微镜技术中，利用深紫外激光的高能量、高强度等特点获得了3.9纳米的空间分辨率——这是目前国际上报道的最高水平。并且，在该光发射电子显微镜系统的研制中第一次引入镜面透镜的方式实现像差矫正功能，利用半球能量分析器进行光电子的能量选择，采用场发射电子枪用于低能电子显微成像和微区电子衍射，结合深紫外激光技术，使得该系统能够实现在高空间分辨条件下的表面化学和表面结构的动态原位研究，是一套世界领先并且功能独特的表面研究平台。该系统已成功地应用于催化、材料、能源等领域的原位和动态观察，实现在变温和气氛条件下的表面过程研究，在某些领域中显示了不可替代的作用。

　　验收委员会认为，该项目达到了项目任务书中规定的技术指标，全面完成了预定的研制任务，一致同意其通过验收。

　　另据了解，“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”研制过程采用中科院国家重大科研装备研制项目新型项目管理模式，由大连化学物理研究所各管理部门组成的项目管理工作组和项目实施工作组积极推进项目实施工作。这两个项目的成功实施，为我国其他重大科学仪器的研制和发展提供了借鉴。

光刻机！！ 这个可以弯道赶上！！

中新社北京10月27日电 (记者 孙自法)工欲善其事，必先利其器。中国科学家利用独创、独有的深紫外技术和深紫外激光非线性光学晶体，已成功研制出深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜等8台深紫外固态激光源前沿装备，均为当今世界所独有的科研利器，居深紫外领域国际领先地位。

记者27日从中国科学院获悉，总投资1.8亿元人民币的深紫外固态激光源前沿装备研制项目，2008年启动实施以来进展顺利，现已研制成功的8台前沿装备还包括深紫外激光光化学反应仪、深紫外激光光致发光光谱仪、深紫外激光自旋分辨角分辨光电子能谱仪、深紫外激光原位时空分辨隧道电子谱仪、基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪等国际领先水平的仪器设备，另外1台光子能量可调深紫外激光光电子能谱仪研制工作也已基本完成，正在调试之中。目前，多台仪器设备已初步用于前沿科学研究，并表现出优异的性能。

中科院整合麾下理化技术研究所、物理研究所、大连化学物理研究所、半导体研究所科研资源，在财政部专项资金支持下，设立深紫外固态激光源前沿装备研制项目，设计出从“材料－器件－装备－科学研究”完整研发体系。在成功研制8台重大仪器设备的同时，还搭建有深紫外非线性晶体和器件研制平台、深紫外固态激光器研发平台和深紫外应用仪器开发平台，核心器件深紫外晶体及器件已实现小批量生产，为仪器设备后续发展尤其是产业化工作奠定了基础。

深紫外固态激光技术突破是中国新型科学仪器研发的难得机遇。中科院在前期工作基础上，正组织专家进一步调研，一方面，将研制成功的8台仪器设备中技术成熟、具有市场潜力的发展为商品化仪器设备，推动中国高端科学仪器产业化；另一方面，进一步整合人才、技术力量，继续研发新型深紫外科学仪器和设备。

据介绍，深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下的固体激光器，与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。中科院自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术，经过20多年努力，在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体，并发明棱镜耦合技术，率先发展出实用化的深紫外固态激光源，使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。
http://news.ifeng.com/mil/2/detail_2011_10/28/10223344_0.shtml

这个完全不懂了，要请懂行的CDER出来科普一下。

　　中新社北京10月27日电 (记者 孙自法)工欲善其事，必先利其器。中国科学家利用独创、独有的深紫外技术和深紫外激光非线性光学晶体，已成功研制出深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜等8台深紫外固态激光源前沿装备，均为当今世界所独有的科研利器，居深紫外领域国际领先地位。


　　记者27日从中国科学院获悉，总投资1.8亿元人民币的深紫外固态激光源前沿装备研制项目，2008年启动实施以来进展顺利，现已研制成功的8台前沿装备还包括深紫外激光光化学反应仪、深紫外激光光致发光光谱仪、深紫外激光自旋分辨角分辨光电子能谱仪、深紫外激光原位时空分辨隧道电子谱仪、基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪等国际领先水平的仪器设备，另外1台光子能量可调深紫外激光光电子能谱仪研制工作也已基本完成，正在调试之中。目前，多台仪器设备已初步用于前沿科学研究，并表现出优异的性能。

　　中科院整合麾下理化技术研究所、物理研究所、大连化学物理研究所、半导体研究所科研资源，在财政部专项资金支持下，设立深紫外固态激光源前沿装备研制项目，设计出从“材料－器件－装备－科学研究”完整研发体系。在成功研制8台重大仪器设备的同时，还搭建有深紫外非线性晶体和器件研制平台、深紫外固态激光器研发平台和深紫外应用仪器开发平台，核心器件深紫外晶体及器件已实现小批量生产，为仪器设备后续发展尤其是产业化工作奠定了基础。

　　深紫外固态激光技术突破是中国新型科学仪器研发的难得机遇。中科院在前期工作基础上，正组织专家进一步调研，一方面，将研制成功的8台仪器设备中技术成熟、具有市场潜力的发展为商品化仪器设备，推动中国高端科学仪器产业化；另一方面，进一步整合人才、技术力量，继续研发新型深紫外科学仪器和设备。

　　据介绍，深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下的固体激光器，与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。中科院自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术，经过20多年努力，在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体，并发明棱镜耦合技术，率先发展出实用化的深紫外固态激光源，使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。(完)

4大设备的光刻机吗？

求科普，这是拿来干什么的？光刻机，加工晶圆？

joytony 发表于 2011-10-28 12:03
求科普，这是拿来干什么的？光刻机，加工晶圆？
高端科研仪器。。。用于研究固态物体特性。。世界上有200nm下极紫外线光源机器的国家只有中国一家。这是对美“出口管制”的技术。美国那边的顶尖实验室都想用中国的极紫外线技术升级光电子谱仪。

幻九龙 发表于 2011-10-28 12:34
高端科研仪器。。。用于研究固态物体特性。。世界上有200nm下极紫外线光源机器的国家只有中国一家。这是对 ...
好，就是不给他用！！！

   小白提问，是否已与企业合作进入工业化生产阶段？

等大牛出来科普。

留下记号，等大大们来科普呢！戈壁帖子说 和 光刻机 有关？

这是神马物体？有人科普吗？

超级CD刻录机?

那土鳖的芯片产业设备国产化有无可能借此突破？

居然两个帖子一模一样内容：
http://lt.cjdby.net/thread-1258374-1-1.html

幻九龙 发表于 2011-10-28 12:34
高端科研仪器。。。用于研究固态物体特性。。世界上有200nm下极紫外线光源机器的国家只有中国一家。这是对 ...
我喜欢，气死美帝

中国也有对MD出口管制的东西了
话说像一台深紫外光电子显微镜要多少钱？

幻九龙 发表于 2011-10-28 12:34
高端科研仪器。。。用于研究固态物体特性。。世界上有200nm下极紫外线光源机器的国家只有中国一家。这是对 ...

中国也有对MD出口管制的东西了
话说像一台深紫外光电子显微镜要多少钱？

靠，牛了，牛逼的光谱仪。牛逼的电子显微镜
还有牛逼的：深紫外激光光化学反应仪、深紫外激光光致发光光谱仪、深紫外激光自旋分辨角分辨光电子能谱仪、深紫外激光原位时空分辨隧道电子谱仪、基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪

靠，牛了，牛逼的光谱仪。牛逼的电子显微镜
还有牛逼的：深紫外激光光化学反应仪、深紫外激光光致发光光谱仪、深紫外激光自旋分辨角分辨光电子能谱仪、深紫外激光原位时空分辨隧道电子谱仪、基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪

幻九龙 发表于 2011-10-28 12:34
高端科研仪器。。。用于研究固态物体特性。。世界上有200nm下极紫外线光源机器的国家只有中国一家。这是对 ...
两个字：  给力！！

我发现我的头像为什么在家里是MM，在厂就是换成GG

20年磨一剑，可见科研要长期持续的投入才能有回报。

光刻光源？

完全看不懂啊，等待白话解读

小白求科普

别的不清楚，大连化物所是用紫外来研究催化过程的中间体，这方面在国际处于领先

不容易啊，加油啊，

这个在材料科研上很有用

至少明白了一点，就是波长小，加工精度可以提高！

完全不懂这个，谁还能再科普一下。

据台积电公司负责技术研发的副总裁蒋尚义表示，2011年台积电从荷兰ASML公司订购的极紫外（EUV，波长13.5nm）光刻设备将运抵厂内，这批订 购的设备将为台积电公司2013年将公司制程能力升级到20nm级别铺平道路.蒋尚义是在本月24日举办的台积电技术论坛会议上说出这番话的,他同时还指 出EUV光刻技术要想投入商用还需要更加成熟，另外他还透露这批订购的EUV光刻工具每小时能刻制100片晶圆。

台积电首批EUV光刻设备将被安装在300mm Fab12工厂内，而台积电未来的研发重点则将放在28nm及更高级别制程技术的研发方面。

台积电早些时候曾宣布他们会跳过22nm制程节点，直接从28nm节点跳至20nm制程，这家公司透露将于2012年下半年开始20nm制程芯片的试产。

EUV（极紫外光：波长13.5nm）是目前比较流行的DUV(深紫外光：波长193nm)光刻技术的下一代技术，与眼下流行的沉浸式光刻+193nm波长技术这种增加光刻系统数值孔径的方案相比，EUV从另外一个方面即直接缩短光波的波长入手来提升制程的等级。不过目前EUV光刻技术由于需要重新开发光掩膜技术，提升光源功率，因此这项技术要想走向主流仍有较多困难需要克服。
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193nm早就是半导体加工领域成熟的技术了。

现在45nm、32nm制程的cpu都早就在用193nm深紫外激光技术了，已经是成熟的技术，全世界每年不知道要生产几亿的芯， 还没有一台光刻机是中国造，中国第一“独步世界”这个说法不知道从哪里来的......别人13.5nm的极紫外激光都快工业化生产了好不

中国的激光技术在全世界上来讲，应该说不落后，但也就是不落后而已，绝对的领先点很少的。

shiek 发表于 2011-10-29 15:43
现在45nm、32nm制程的cpu都早就在用193nm深紫外激光技术了，已经是成熟的技术，全世界每年不知道要生产几亿 ...
似乎用途不同的东西。

shiek 发表于 2011-10-29 15:43
现在45nm、32nm制程的cpu都早就在用193nm深紫外激光技术了，已经是成熟的技术，全世界每年不知道要生产几亿 ...
193nm光刻机那是同步辐射光源得到的193nm深紫外线。。。和我们的激光固态倍频相干光得到200nm以下深紫外线完全不是一个概念。


全世界只有中国有技术采集到激光固态6倍频的深紫外线相干光。

一项真正的核心技术，有了相干光源，后面的路子就广阔多了。

深紫外线相干光的获得方法有三种，同步辐射光源，准分子激光器，和固态激光倍频晶体

前面两种很多国家都有技术做，但是得到的深紫外线相干光有很多缺点，比如同步辐射不能小型化，做出来的机器很大，无法应用到小型的科研设备比如光电子谱仪，光电显微镜等。193nm光刻机就是个例子。。。很大，而且得到的光束单色性不好，要获得特定狭带宽波长的效率过低。准分子激光器怎是光束的线宽、模式达不到应用仪器的要求，而且操作十分不便。

因此全世界之前都在致力于利用固态激光照射晶体截取倍频相干光来得到固态，稳定并且能小型化的深紫外线相干光。这种晶体就是kbbf晶体，而中国的科学家许祖彦是全世界首个通过棱镜耦合技术采集到全固态激光6倍屏（177,3nm）深紫外线相干光的人。

这个技术是真正的顶级核心技术。是对美“出口管制”的，有了全固态激光6倍屏（177,3nm）深紫外线相干光，就能应用到很多科学仪器上，光谱仪，显微镜，光刻机。。等等。