求问芯片制造中铜互连工艺如何实现？

来源：百度文库编辑：超级军网时间：2024/04/29 08:22:32

需要将几十层的铜线排布好，不产生互相干扰。请高人科普一下。MD是怎么做到的？需要将几十层的铜线排布好，不产生互相干扰。请高人科普一下。MD是怎么做到的？

有种工艺叫大马士革工艺
不过你说的几十层铜线貌似还没出现过，而且铜工艺跟互相干扰据说没啥直接关系。

大马士革工艺，器件之间是有隔离的。

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