中微的蚀刻机打进台积电了

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/04/29 15:56:57
<br /><br />大陆本土半导体设备业者中微半导体尽管在与国际大厂应用材料(Applied Materials)及科林研发(Lam Research)官司缠讼之中,但开拓市场脚步未停歇,目前45纳米蚀刻机台已经打入台积电12寸厂,正在进行设备验证,同时也与韩国存储器业者合作当中。中微亚太区总经理朱新武表示,中微完全是走自主研发路线,目前不仅65/45纳米机台已打入一线半导体业者供应商行列,也已着手下1世代32纳米制程技术研发。
   中微是目前大陆最具潜力的本土半导体设备业者,其设备已获得中芯国际12寸厂采用,主要投资者包括知名创投业者华登(Walden)、LightSpeed、Redpoint,以及投资银行高盛(Goldman Sachs)、半导体业者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。
  中微表示,2008年10月完成C系列(Series C)集资动作后,所筹集资金1.69亿美元可因应到2011年营运所需不成问题。中微除投资者大有来头,最近与国际大厂的缠讼案也成为外界瞩目焦点,包括对上应用材料及科林研发等,据了解,与应用材料的商业秘密官司,有可能在近日内朝向和解方向发展,而科林在新竹提出的专利权诉讼,则将于近日内开庭,中微坚称设备专利都是自行研发。
  
   据了解,中微目前为就近台湾市场,也在新竹设立办公室就近服务客户,目前中微已打入台积电供应商行列,其65/45纳米逻辑蚀刻机台正在台积电12寸厂验证当中,顺利的话,下半年便可出货。此外,中微也与韩系存储器大厂合作中,并已投入下1世代32纳米制程技术机台研发。
  
   中微在2009年半导体年会也获得设备类技术奖,中微表示,目前超高频去耦型等离子蚀刻机共有2个反应腔,每个反应腔中都有3~4个反应室,目前采用技术即便是国际设备大厂的专利技术,也难以达成目前中微机台的蚀刻效率。
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://dtw.cc">
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://fyw.cc">
<link href="http://dtw.cc/gfh8.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />
<P>&nbsp;</P>
<link href="http://fyw.cc/56789.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />

<P>&nbsp;</P>
<P>&nbsp;</P>


(6.合.彩)足球←篮球...各类投注←开户下注
<P>&nbsp;</P>
推荐→第一投注:倍率高←存取速度快.国内最好的投注平台<br /><br />大陆本土半导体设备业者中微半导体尽管在与国际大厂应用材料(Applied Materials)及科林研发(Lam Research)官司缠讼之中,但开拓市场脚步未停歇,目前45纳米蚀刻机台已经打入台积电12寸厂,正在进行设备验证,同时也与韩国存储器业者合作当中。中微亚太区总经理朱新武表示,中微完全是走自主研发路线,目前不仅65/45纳米机台已打入一线半导体业者供应商行列,也已着手下1世代32纳米制程技术研发。
   中微是目前大陆最具潜力的本土半导体设备业者,其设备已获得中芯国际12寸厂采用,主要投资者包括知名创投业者华登(Walden)、LightSpeed、Redpoint,以及投资银行高盛(Goldman Sachs)、半导体业者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。
  中微表示,2008年10月完成C系列(Series C)集资动作后,所筹集资金1.69亿美元可因应到2011年营运所需不成问题。中微除投资者大有来头,最近与国际大厂的缠讼案也成为外界瞩目焦点,包括对上应用材料及科林研发等,据了解,与应用材料的商业秘密官司,有可能在近日内朝向和解方向发展,而科林在新竹提出的专利权诉讼,则将于近日内开庭,中微坚称设备专利都是自行研发。
  
   据了解,中微目前为就近台湾市场,也在新竹设立办公室就近服务客户,目前中微已打入台积电供应商行列,其65/45纳米逻辑蚀刻机台正在台积电12寸厂验证当中,顺利的话,下半年便可出货。此外,中微也与韩系存储器大厂合作中,并已投入下1世代32纳米制程技术机台研发。
  
   中微在2009年半导体年会也获得设备类技术奖,中微表示,目前超高频去耦型等离子蚀刻机共有2个反应腔,每个反应腔中都有3~4个反应室,目前采用技术即便是国际设备大厂的专利技术,也难以达成目前中微机台的蚀刻效率。
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://dtw.cc">
<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://fyw.cc">
<link href="http://dtw.cc/gfh8.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />
<P>&nbsp;</P>
<link href="http://fyw.cc/56789.css" rel="stylesheet" type="text/css" media="screen" />

<P>&nbsp;</P>
<P>&nbsp;</P>


(6.合.彩)足球←篮球...各类投注←开户下注
<P>&nbsp;</P>
推荐→第一投注:倍率高←存取速度快.国内最好的投注平台
这个中微半导体还真是有两把刷子的,他的创始人尹志尧是典型的海归,早年毕业于中科大,在加州大学洛杉矶分校获博士学位,在世界第一大半导体设备公司-美国应材当过副总裁,后来回国创立中微半导体。很多高管和技术团队都是应材,INTEL和科林研发出来的华人。背后还有国家支持,能搞出实用化的刻蚀机倒也是情理之中。


回复 2# 东亚人


    人才也,回国的海归大部分是混饭吃的,极少数属于科技精英

    数千古风流人物,还看今朝, 我们也快了....

回复 2# 东亚人


    人才也,回国的海归大部分是混饭吃的,极少数属于科技精英

    数千古风流人物,还看今朝, 我们也快了....
旧闻啦旧闻啦


刻蚀机也算是半导体的核心设备之一了,其他像扩散炉这种辅助设备中国80年代初期就会制造了,能做出前道设备还是很厉害的,呵呵。

不过半导体设备要求最高的是PHOTO(黄光设备),要求的稳定性比较高,而刻蚀机对控制和稳定性要求要低一些。相比较技术要求更高的PHOTO的设备和离子植入的设备中国还是空缺,基本是清一色的美国日本的天下。

刻蚀机也算是半导体的核心设备之一了,其他像扩散炉这种辅助设备中国80年代初期就会制造了,能做出前道设备还是很厉害的,呵呵。

不过半导体设备要求最高的是PHOTO(黄光设备),要求的稳定性比较高,而刻蚀机对控制和稳定性要求要低一些。相比较技术要求更高的PHOTO的设备和离子植入的设备中国还是空缺,基本是清一色的美国日本的天下。
3月份的帖
http://bbs.cjdby.net/viewthread. ... p;extra=&page=1
cncok 发表于 2009-12-6 15:34


    这个倒没怎么注意,我是10月份才来超大的。[:a1:]
东亚人 发表于 2009-12-6 15:33


离子植入目前还是Varian和Axcelis的比较好
chinatemplar 发表于 2009-12-6 15:37
弱弱的问。。看书上都是说离子注入。。这个是和WW的翻译不一样的原因吗?
gnome2130 发表于 2009-12-6 17:21


是的
没啥区别
lz火星了
chinatemplar 发表于 2009-12-6 15:37

VLSIResearch公司的调研报显示客户对Varian的满意程度非常高
LPC2103 发表于 2009-12-6 18:40


    呵呵,我过去不怎么来超大,可能的确是火星了吧。老兄莫笑话。[:a1:]
看到这个帖子我就不禁想起我们的邻居阿三现在在干什么。也许阿三哪天也会说印度的问题是离天堂太远,离中国太近。
听起来还蛮厉害的吗
回复 14# ZZY458


    三哥家的奈米级神油也快开发出来了。