中国硅产业集团收购芬兰晶圆企业Okmetic

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/04/29 07:15:35
http://www.ccin.com.cn/ccin/news/2016/04/26/334016.shtml



  据芬兰股票交易所4月21日发布的公告,中国硅产业集团(NSIG)与芬兰生产硅晶圆企业Okmetic达成收购协议,中国硅产业集团芬兰子公司将收购Okmetic所有股票和期权。

  中国硅产业集团当日发布公告说,芬兰金融监管机构当日已经批准了该股权收购要约文件。公开股权收购从4月22日起,至5月27日结束。http://www.ccin.com.cn/ccin/news/2016/04/26/334016.shtml



  据芬兰股票交易所4月21日发布的公告,中国硅产业集团(NSIG)与芬兰生产硅晶圆企业Okmetic达成收购协议,中国硅产业集团芬兰子公司将收购Okmetic所有股票和期权。

  中国硅产业集团当日发布公告说,芬兰金融监管机构当日已经批准了该股权收购要约文件。公开股权收购从4月22日起,至5月27日结束。
没有技术收购没什么用处吧
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高温化学气相沉积法生长碳化硅晶体(HTCVD)
中国化工仪器网2013年08月08日 08:48点击:1578


  摘要:研究了 SiC 晶体高温化学气相沉积生长机理,从 SiC 晶体高温化学气相沉积生长过程的化学原理、反应条件、反应过程、一般工艺等方面进行探讨,并分析了沉积温度、气体压力、本底真空及各反应气体分压(配比)对 SiC 单晶生长及其缺陷形成的影响,基于以上分析,得出高温化学气相沉积法生长碳化硅晶体最佳的工艺条件。

关键词:碳化硅晶体;HTCVD 法;晶体生长

碳化硅(SiC)是继第一代半导体材料硅和第二带半导体材料砷化镓(GaAs) 后发展起来的第三代半导体材料。由于碳化硅(SiC)具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和浓度、化学性能稳定、高硬度、抗磨损等特点,SiC 器件在航空、航天探测、核能开发、石油、地热钻井勘探、汽车发动机领域有着重要的应用。半导体材料是电子器件提高性能、实现小型化、多功能和高可靠性的物质基础和技术关键,利用其特有的禁带宽度,还可以制作蓝、绿光和紫外光的发光器件和光探测器件。因此可以预见不久的将来,随着碳化硅(SiC)材料和器件工艺的不断完善,部分 Si 领域被碳化硅(SiC)来替代是指日可待的。

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碳化硅晶体生长方法及原理

目前生长 SiC 晶体的方法包括物理气相传输法(PVT)和化学气相传输法(HTCVD)。而目前国内晶体制备的方法主要是物理气相传输法。高温化学气相沉积技术是一种新型的制备 SiC 晶体的方法,国外已经有多年的研究。国外对外公布使用高温化学气相沉积技术(HTCVD)生长碳化硅晶体的有瑞典的 Okmetic 公司,该公司在 20 世纪 90 年代开始研究此技术,并且在欧洲已经申请了该技术的专利。该方法可以生长高纯度、大尺寸的 SiC 单晶,并可有效地减少 SiC 单晶体中的各种缺陷,要获得高质量的晶体必须精确控制多种晶体生长参数,如:沉积温度、沉积室压力、本底真空、各反应气体分压(配比)等。