陡坡晶体管(Steep slope devices)

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/05/09 10:04:21
降低半导体集成电路(LSI)功耗的最有效方法是降低基本元件——晶体管的电源电压(工作电压)。因为晶体管的功耗与电源电压的平方成正比。

       伴随着微细化的发展,现在的晶体管(MOSFET)的电源电压已经有所降低,但仍很难实现在远低于0.5V的极低电压下工作。原因之一是,从工作原理上讲,无法在室温下将S因子(亚阈值斜率),也就是相对于栅极电压的电流的上升坡度降到60mV/位以下。S因子越小,电流上升坡度越大,越容易降低电源电压。

       最近,为克服上述MOSFET的极限,利用不同于MOSFET的元件结构和工作原理,将S因子降至60mV/位以下的技术开发逐渐兴起。这种旨在实现极低电压下工作的晶体管技术统称为“陡坡晶体管”(steep slope devices),意思是电流坡度陡峭的晶体管。将该技术用于使用电池驱动的移动产品、可穿戴设备及传感器网络终端等领域,有望将功耗降至MOSFET难以实现的水平。

电流上升坡度陡峭(东芝的资料)
东芝计划2017年量产

       在2014年12月于美国举行的半导体器件技术国际会议“IEDM 2014”上,发布了很多有关陡坡晶体管的研究成果。这方面共发表了11篇论文,涉及到隧道FET(TFET)、机械式开关及碰撞电离FET等多种晶体管。

       其中,研究最为活跃的是隧道FET。这种器件是利用电子的带间隧道效应使晶体管工作的,其实现手段(材料)有很多种,在IEDM 2014上,有3篇论文涉及只使用Si的隧道FET,有1篇论文涉及Ge/Si类隧道FET,有2篇论文涉及III-V化合物半导体类隧道FET,有1篇论文涉及二维材料类隧道FET。

隧道FET(TFET)的工作原理(东芝的资料)  
       隧道FET的实用化的关键是提高与CMOS工艺技术的兼容性。能够利用业界长年积累的CMOS工艺技术制造的隧道FET的开发机器性能改善也在加紧进行中。在IEDM 2014上,日本产业技术综合研究所(产综研)公开了使用CMOS工艺实现n型及p型隧道FET的成果。

       虽然隧道FET的研究由大学和研究机构主导,但企业也非常关注。态度积极的企业之一就是东芝。该公司于2014年9月与产综研合作研究出可用CMOS工艺制造的高性能隧道FET,已在于日本筑波市举办的半导体器件技术国际会议“SSDM 2014”上发布(参阅本站报道)。该公司计划2017年投产采用隧道FET的超低功耗MCU。

       作为新一代晶体管技术的有力候补之一,半导体巨头英特尔也在致力于隧道FET的实用化。该公司在SSDM 2014上发表了题为“Tunnel-FET Transistors for 13nm Gate-Length and Beyond”的演讲。可以看出,英特尔也已将TFET视为10nm以后工艺技术的候选。


链接china.nikkeibp.com.cn/news/semi/73408-201501261612.html降低半导体集成电路(LSI)功耗的最有效方法是降低基本元件——晶体管的电源电压(工作电压)。因为晶体管的功耗与电源电压的平方成正比。

       伴随着微细化的发展,现在的晶体管(MOSFET)的电源电压已经有所降低,但仍很难实现在远低于0.5V的极低电压下工作。原因之一是,从工作原理上讲,无法在室温下将S因子(亚阈值斜率),也就是相对于栅极电压的电流的上升坡度降到60mV/位以下。S因子越小,电流上升坡度越大,越容易降低电源电压。

       最近,为克服上述MOSFET的极限,利用不同于MOSFET的元件结构和工作原理,将S因子降至60mV/位以下的技术开发逐渐兴起。这种旨在实现极低电压下工作的晶体管技术统称为“陡坡晶体管”(steep slope devices),意思是电流坡度陡峭的晶体管。将该技术用于使用电池驱动的移动产品、可穿戴设备及传感器网络终端等领域,有望将功耗降至MOSFET难以实现的水平。

电流上升坡度陡峭(东芝的资料)
东芝计划2017年量产

       在2014年12月于美国举行的半导体器件技术国际会议“IEDM 2014”上,发布了很多有关陡坡晶体管的研究成果。这方面共发表了11篇论文,涉及到隧道FET(TFET)、机械式开关及碰撞电离FET等多种晶体管。

       其中,研究最为活跃的是隧道FET。这种器件是利用电子的带间隧道效应使晶体管工作的,其实现手段(材料)有很多种,在IEDM 2014上,有3篇论文涉及只使用Si的隧道FET,有1篇论文涉及Ge/Si类隧道FET,有2篇论文涉及III-V化合物半导体类隧道FET,有1篇论文涉及二维材料类隧道FET。

隧道FET(TFET)的工作原理(东芝的资料)  
       隧道FET的实用化的关键是提高与CMOS工艺技术的兼容性。能够利用业界长年积累的CMOS工艺技术制造的隧道FET的开发机器性能改善也在加紧进行中。在IEDM 2014上,日本产业技术综合研究所(产综研)公开了使用CMOS工艺实现n型及p型隧道FET的成果。

       虽然隧道FET的研究由大学和研究机构主导,但企业也非常关注。态度积极的企业之一就是东芝。该公司于2014年9月与产综研合作研究出可用CMOS工艺制造的高性能隧道FET,已在于日本筑波市举办的半导体器件技术国际会议“SSDM 2014”上发布(参阅本站报道)。该公司计划2017年投产采用隧道FET的超低功耗MCU。

       作为新一代晶体管技术的有力候补之一,半导体巨头英特尔也在致力于隧道FET的实用化。该公司在SSDM 2014上发表了题为“Tunnel-FET Transistors for 13nm Gate-Length and Beyond”的演讲。可以看出,英特尔也已将TFET视为10nm以后工艺技术的候选。


链接china.nikkeibp.com.cn/news/semi/73408-201501261612.html
数字和模拟越走差别越大…
实现极低电压下工作的晶体管技术

有前途 性能早够用了 发展重点应该转向了