期待已久的烟台睿创非制冷红外焦平面生产线终于要量产了

RTM3224 384×288非制冷红外热像仪机芯组件
RTD331 384×288 非制冷红外焦平面探测器
产品特点
u 氧化钒微测辐射热计
u 阵列规模: 384×288
u 像元尺寸; 35μm×35μm
u NETD:＜60mk
u 工作帧频：50Hz/60Hz
u 响应波段; 8-14μm
u 像元非均匀性校正功能
u 探测器自动保护功能
RTD331 主要技术参数
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列规模
384×288
像元尺寸
35μm×35μm
NETD
＜60mk(f/1.0,300k,50Hz)
工作波段
8-14μm
盲元率
＜0.5%
工作帧频
50Hz/60Hz
输出信号
模拟差分信号输出
典型功耗
＜100mk
封装形式
金属真空封装
器件尺寸
23.5mm×32mm×7.7mm
工作温度
-40°-﹢60°
重量
＜25g
应用范围
汽车夜间辅助驾驶，安防，观瞄，消防，节能环保，小区监控，工业过程控制，疾病预防检测，化学管路监测，电力设备检测。

RTM3224 384×288非制冷红外热像仪机芯组件
RTD331 384×288 非制冷红外焦平面探测器
产品特点
u 氧化钒微测辐射热计
u 阵列规模: 384×288
u 像元尺寸; 35μm×35μm
u NETD:＜60mk
u 工作帧频：50Hz/60Hz
u 响应波段; 8-14μm
u 像元非均匀性校正功能
u 探测器自动保护功能
RTD331 主要技术参数
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列规模
384×288
像元尺寸
35μm×35μm
NETD
＜60mk(f/1.0,300k,50Hz)
工作波段
8-14μm
盲元率
＜0.5%
工作帧频
50Hz/60Hz
输出信号
模拟差分信号输出
典型功耗
＜100mk
封装形式
金属真空封装
器件尺寸
23.5mm×32mm×7.7mm
工作温度
-40°-﹢60°
重量
＜25g
应用范围
汽车夜间辅助驾驶，安防，观瞄，消防，节能环保，小区监控，工业过程控制，疾病预防检测，化学管路监测，电力设备检测。

RTM-T01 384x288太赫兹成像组件
RTD-TO1 384×288太赫兹焦平面探测器
产品特点
u 非制冷太赫兹焦平面探测器
u 阵列国模: 384×288
u 像元尺寸：35μm×35μm
u NEP: ＜100pW@4.25THz
u 响应波段：2THz-6THz
u 像元级非均匀性校正功能
u 红外截止功能
u 工作帧频: 50/60Hz
RTD-T01 主要技术参数
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列模式
384×288
像元尺寸
35μm×35μm
NEP
＜100pW@4.25Hz
工作波段
2THz-6THz
盲元率
＜1%
输出信号
模拟差分信号输出
典型功耗
＜100mW
封装方式
真空封装
器件尺寸
23.5㎜×32㎜×7.7mm
工作温度
-20°-﹢50°
重量
＜30g
应用范围
使用于THz实时成像，主要用于安全检查，生物化学，医疗诊断，环境监测，材料监测，反恐救援等领域。

RTM-T01 384x288太赫兹成像组件
RTD-TO1 384×288太赫兹焦平面探测器
产品特点
u 非制冷太赫兹焦平面探测器
u 阵列国模: 384×288
u 像元尺寸：35μm×35μm
u NEP: ＜100pW@4.25THz
u 响应波段：2THz-6THz
u 像元级非均匀性校正功能
u 红外截止功能
u 工作帧频: 50/60Hz
RTD-T01 主要技术参数
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列模式
384×288
像元尺寸
35μm×35μm
NEP
＜100pW@4.25Hz
工作波段
2THz-6THz
盲元率
＜1%
输出信号
模拟差分信号输出
典型功耗
＜100mW
封装方式
真空封装
器件尺寸
23.5㎜×32㎜×7.7mm
工作温度
-20°-﹢50°
重量
＜30g
应用范围
使用于THz实时成像，主要用于安全检查，生物化学，医疗诊断，环境监测，材料监测，反恐救援等领域。

RTM3310 384x288非制冷红外热像仪机芯组件
产品特点
自主研发智能氧化钒焦平面探测器
阵列规模：384x288
像元尺寸：35μmx35μm
NETD：＜80mK@f/1.0
工作帧频：50/60Hz
低功耗电路设计
新一代FPGA图像处理平台
RS-232标准接口，易于集成
结构紧凑，体积小，重量轻
性能指标
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列规模
384x288
像元尺寸
35μmx35μm
NETD
＜80mK（f/1.0，300K，50Hz）
频帧
50Hz/60Hz
响应波段
8~14μm
视频输出
模拟视频：PAL/NTSC
数字视频：10bit/14bit LVTTL
功耗
≤1.8W
工作温度
-20℃~+50℃（-40℃~+60℃可选）
输入电压
4-6VDC
电子变倍
2X/4X
亮度、对比度调整
手动/半自动/全自动
极 性
黑热/白热
控制接口
RS-232/USB
尺寸
45㎜x45㎜x36㎜（不带镜头）
应用范围
汽车夜间辅助驾驶、安防、观瞄、消防、节能环保、小区监控、工业工程控制、疾病预防检测、化学管路检测、电力检测等

RTM3310 384x288非制冷红外热像仪机芯组件
产品特点
自主研发智能氧化钒焦平面探测器
阵列规模：384x288
像元尺寸：35μmx35μm
NETD：＜80mK@f/1.0
工作帧频：50/60Hz
低功耗电路设计
新一代FPGA图像处理平台
RS-232标准接口，易于集成
结构紧凑，体积小，重量轻
性能指标
探测器类型
氧化钒微测辐射热计
阵列规模
384x288
像元尺寸
35μmx35μm
NETD
＜80mK（f/1.0，300K，50Hz）
频帧
50Hz/60Hz
响应波段
8~14μm
视频输出
模拟视频：PAL/NTSC
数字视频：10bit/14bit LVTTL
功耗
≤1.8W
工作温度
-20℃~+50℃（-40℃~+60℃可选）
输入电压
4-6VDC
电子变倍
2X/4X
亮度、对比度调整
手动/半自动/全自动
极 性
黑热/白热
控制接口
RS-232/USB
尺寸
45㎜x45㎜x36㎜（不带镜头）
应用范围
汽车夜间辅助驾驶、安防、观瞄、消防、节能环保、小区监控、工业工程控制、疾病预防检测、化学管路检测、电力检测等

非制冷太赫兹焦平面探测器实时成像图



非制冷太赫兹焦平面探测器实时成像图

看不懂他们的技术路线

咦？我们这的，可以去参观么。。。

你理解错误标题了，这个九成是用FLIR机芯做的，384×288的VOX，呵呵呵

你理解错误标题了，这个九成是用FLIR机芯做的，384×288的VOX，呵呵呵
烟台睿创微纳技术有限公司成立于2009年12月，注册资本1.8亿元人民币， 位于山东省烟台市经济技术开发区，占地约300亩。是专业从事非制冷红外焦平面芯片、机芯、 THz成像技术及光纤传感系统研发、生产及销售的高科技公司。主营业务包括非制冷红外焦平 面探测器芯片、器件，非制冷红外成像机芯与红外成像整机。

烟台睿创微纳技术有限公司>封装工艺工程师封装工艺工程师 本公司其他职位 工作地点： 山东省烟台市 职位月薪： 面议 招聘人数： 不限 最低学历： 硕士 年龄要求： 不限 工作经验： 3~5年 招聘方式： 全职  更新日期： 2013-07-07 留言收藏投诉推荐岗位职责/待遇/环境：岗位职责：1） 红外焦平面阵列探测器封装工艺（贴片、Wirebond、共晶焊接等）开发；2） 现有红外探测器封装工艺技术优化与改进；3） 红外焦平面阵列探测器器件良品率提高；4） 生产工艺规范化和标准化；5） 研发和生产过程中的质量控制方法制定和贯彻；6） 培训技术员与操作员，提高其操作能力和质量意识；

烟台睿创微纳技术有限公司成立于2009年，注册资本1.8亿元人民币。公司位于山东省烟台市经济技术开发区，是集科研、开发、生产为一体的高科技民营企业。公司主要从事光通信用光电子元器件、非制冷红外热像仪、光纤传感模块等光电产品的研发、生产和销售。公司网址：www.raytrontek.com。烟台艾睿光电科技有限公司成立于2010年，隶属于烟台睿创微纳技术有限公司，总部位于烟台经济技术开发区，研发中心位于中国光电子产业基地－武汉·中国光谷。公司网址：

hswz 发表于 2013-7-7 19:18
烟台睿创微纳技术有限公司成立于2009年12月，注册资本1.8亿元人民币， 位于山东省烟台市经济技术开发区， ...
兄弟你不是圈内人，所以容易被唬住，这种公司行业内不算少，其实是只吃的应用饭，但是打的是核心研发招牌，其实就他们那点钱哪里够研发VOX核心技术，浙江大立靠着核心产业化幌子上市圈钱，钱算是不少了吧，到现在实际上还是吃的应用饭。

热烈庆祝公司顺利通过“武器装备科研生产单位二级保密资格”现场审查发布时间： 2012-08-28       浏览次数：107烟台艾睿光电科技有限公司顺利通过省保密局，省国防科工办等组织的“武器装备科研生产单位二级保密资格”现场审查。

本来以为兄弟你是打广告的，看了看产品参数还打算冷笑两声，现在发现你是真信，我只好苦笑两声了。

那种标题典型是骗创新企业扶持款项的新闻稿

艾睿光电进军海外市场发布时间： 2010-12-20       浏览次数：624作为高科技的企业之一，艾睿光电的发展日新月异，目前正进军国际市场，崭露头角。近几月是外贸的黄金月，艾睿光电也迎来了不少海外客户的参观和访问，就双方的合作进行了洽谈。海外客户的到访，受到艾睿光电专业团队的热情接待。研发人员向其讲解了艾睿光电的技术发展，并和客户真诚的谈论了许多技术细节，海外客户对艾睿光电成熟的红外技术表示肯定。市场部向海外客户演示了相关产品，海外客户表示对产品和产品演示效果都十分满意。他们相信艾睿光电生产的红外热像仪会因为其卓越的品质赢得国际市场的青睐，并表示他们希望与艾睿光电建立长期的合作关系。

本来以为兄弟你是打广告的，看了看产品参数还打算冷笑两声，现在发现你是真信，我只好苦笑两声了。

那种 ...
以前发的那贴子全部删了

==
烟台芯”红外望远镜打破欧美芯片技术垄断2011-11-28 08:24:07 来源：烟台市科技局 浏览次数：0 网络编辑：liyang 网友评论 0 条目前，作为烟台新光电产业龙头———烟台睿创微纳技术有限公司，已经成功打破欧美等国长期对我国红外成像芯片的技术垄断和产品封锁。    有果网讯：目前，作为烟台新光电产业龙头———烟台睿创微纳技术有限公司，已经成功打破欧美等国长期对我国红外成像芯片的技术垄断和产品封锁。目前，红外成像芯片技术已经在烟台开发区完全实现国产化。红外成像技术有望得到更广泛的应用，该技术国产化对国计民生产生的影响，将意义深远。   烟台睿创微纳技术有限公司位于开发区留学生产业园，一期投产收入将达到10亿元。烟台睿创微纳技术有限公司总经理助理江斌告诉记者，睿创微纳红外成像芯片与热像仪整机项目，彻底打破我国红外成像技术无芯困局，突破欧美等国对我国的技术和产品封锁，将促进我国装备升级，对国防建设、国计民生意义重大；项目达产后，热像仪售价将从数万元降至数千元。随着价格的降低，汽车辅助系统、智能电网、敏感区域监控、电工工具等上千亿民用市场也将全面启动，并带动上下游如光学精密加工、液晶显示、精密注塑等产业的发展。目前，投资20亿元的睿创微纳红外成像仪项目厂房主体已经封顶，现正在安装调试设备。一个崭新的新光电工业园“呼之欲出”。2014年，烟台睿创微纳技术项目一期达产后，年可生产3.5万套非制冷红外焦平面器件、组件和4.5万套红外成像整机和系统，预计年销售收入10亿元；2016年，二期达产后年销售收入将达到50亿元。烟台睿创微纳技术有限公司位于开发区留学生产业园。1日上午，记者在这里见到了一架该公司拥有自主知识产权的红外成像望远镜。工作人员介绍说：“这架红外成像望远镜，具有高分辨率。”这引起了记者浓厚兴趣。在工作人员帮助下，记者借助这架望远镜向远方望去，数公里以外墙上的字迹看得一清二楚。一名工作人员告诉记者：“这还不算神奇，我们有的红外成像望远镜，从这里能把烟台发电厂烟囱上附着的水珠，看得清清楚楚。不但如此，我们还有能看清楚天空中飞机的红外成像望远镜。目前，公司生产的更先进的红外成像望远镜，可以看清楚70公里以外的物体！”　　工作人员还向记者现场展示，红外成像仪透过一块漆黑的塑料布，把躲在塑料布后面的人体照片，输送到电脑屏幕上，让在场的记者们争相“试镜”。国产红外成像芯片省钱约75%　　在烟台睿创微纳技术有限公司成品陈列室里，摆放着大大小小拥有完全自主知识产权的芯片镜头。　　该公司芯片事业部总监王宏臣博士告诉记者：“我们自主研发的红外成像芯片，达到世界先进水平。以前，我国红外成像芯片需要进口，每个芯片进口价格在1万至6万元人民币之间。我们实现国产化后，价格仅在3000元至15000元之间。购买成本仅是进口芯片的1/4左右。”　　国产红外成像芯片购买成本仅是进口的1/4，意味着什么？“意味着红外成像将更多、更广泛地用于民用领域。比如，安防监控、汽车辅助驾驶、电力抢险、消防救助、建筑探查、医疗诊断等，使用红外成像可以提高工作水平和效率。红外成像广泛用于民用领域后，民众的生活质量将得到促进和提高。”王宏臣说。　　据王宏臣介绍，目前，老百姓最直观了解红外成像技术的有汽车辅助驾驶（夜间可以避开对面强光，直观地看到真实路况，部分高档车配备此功能）；医疗检查仪器等。红外成像技术如果降低成本，在汽车辅助驾驶方面普及后，将减少很多交通事故，保障行车和路人的安全。

以前删的贴子

===
1        用于红外凝视成像系统的光学微扫描器          吴鑫; 陈四海; 仇力; 熊小刚; 陈巍         华中科技大学光电子科学与工程学院; 武汉光电国家实验室;烟台睿创微纳技术有限公司        【期刊】光机电信息         2010-11-25         0          542        一种空气绝热薄膜红外传感器         王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-02-16         0         03        一种制备高重复性氧化钒薄膜的方法及其设备          王宏臣; 甘先锋; 戴鹏         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-04-06         0          04        一种红外桥式测温传感器         王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-03-30         0          05        一种红外热像仪测试系统         李欣; 范芸; 赵秀娟; 胡佳伟; 马彦静;徐莹         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司        2011-04-20         0          06        一种薄膜式热释电红外传感器         王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-04-20         0         07        一种薄膜式热释电红外传感器         王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-05-11         0         08        一种红外桥式测温传感器         王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-05-11         0          09        一种用于MEMS器件圆片的自动干燥设备          陈火         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-05-18         0          010        一种微机械CMOS热电堆红外测温传感器          王宏臣; 陈文礼; 甘先锋         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-07-20         0          011        一种空气绝热薄膜红外传感器          王宏臣         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-07-27         0         012        红外探测器及其制作方法及多波段非制冷红外焦平面          梁华锋; 王宏臣; 陈文礼; 魏慧娟         烟台睿创微纳技术有限公司       烟台睿创微纳技术有限公司         2011-09-07         0          013        一种使用金锡焊料预成型片的封装方法及金属加热盘          陈火        烟台睿创微纳技术有限公司      烟台睿创微纳技术有限公司         2011-08-31         0          0h t t p:/  /epub.cnki.net/grid2008/brief/Result.aspx?h t t p:/ /epub.cnki.net/grid2008/brief/Result.aspx?&PageName=ASP.generater_searchindex_aspx&DBViewType=FullText&DbCatalog=%u4E2D%u56FD%u5B66%u672F%u6587%u732E%u7F51%u7EDC%u51FA%u7248%u603B%u5E93&DbPrefix=SCDB&ConfigFile=%u4E2D%u56FD%u5B66%u672F%u6587%u732E%u7F51%u7EDC%u51FA%u7248%u603B%u5E93.xml&db_value=CJFQ%2CCDFD%2CCMFD%2CCPFD%2CCCND%2CSCPD%2CSCSF%2CSCHF%2CSCSD%2CSNAD%2CCYFD%2CHBRD%2CMTRD%2CSSJD%2CSTJD%2CFCJD%2CSOSD&NaviField=%E4%B8%93%E9%A2%98%E5%AD%90%E6%A0%8F%E7%9B%AE%E4%BB%A3%E7%A0%81&orderby=relevant&txt_extension=xls&pp_extension=false&au_1_sel=%E4%BD%9C%E8%80%85&au_1_sel2=%E6%9C%BA%E6%9E%84%2C%E5%8D%95%E4%BD%8D%2C%E5%AD%A6%E4%BD%8D%E6%8E%88%E4%BA%88%E5%8D%95%E4%BD%8D%2C%E4%BD%9C%E8%80%85%E6%9C%BA%E6%9E%84&au_1_value2=%E7%9D%BF%E5%88%9B%E5%BE%AE%E7%BA%B3&au_1_special1=%3D&au_1_special2=%25&src_1_sel=%E6%96%87%E7%8C%AE%E6%9D%A5%E6%BA%90&src_1_special1=%3D&sTab=normal&navicode=。以前，我国红外成像芯片需要进口，每个芯片进口价格在1万至6万元人民币之间。我们实现国产化后，价格仅在3000元至15000元之间。购买成本仅是进口芯片的1/4左右。”高德红外在招股说明书中表示，公司生产所需的红外探测器基本是从法国的SOFRADIR公司及其子公司ULIS公司进口，其采购成本约占产品总成本的70%

非制冷，也就是变得适合单兵使用了。

384×288的FLIR低端机芯现在很便宜的，论坛里就有类似企业的兄弟，头像是拖鞋上面趴只猫，我去参观过他们公司，你对这个行业有兴趣可以直接问问他

本来以为兄弟你是打广告的，看了看产品参数还打算冷笑两声，现在发现你是真信，我只好苦笑两声了。

那种 ...
2014年就可知道是不是骗人的

江南鸣镝 发表于 2013-7-7 19:51
384×288的FLIR低端机芯现在很便宜的，论坛里就有类似企业的兄弟，头像是拖鞋上面趴只猫，我去参观过他们公 ...
FLIR TAU2 系列有336*256和324*256两种。384*288的主要是法国ULIS产品的分辨率，睿创的东西用估计用的是法国的读出电路。它的东西只能算是做出来了，性能很不咋地，NETD,MRTD,非均匀性都非常一般。

384×288的FLIR低端机芯现在很便宜的，论坛里就有类似企业的兄弟，头像是拖鞋上面趴只猫，我去参观过他们公 ...
烟台睿创相比武汉高德，浙江大立太低调了，把谷歌，百度上的全删了，只有我在论坛上说了一下也被删了

peteroof 发表于 2013-7-7 19:56
FLIR TAU2 系列有336*256和324*256两种。384*288的主要是法国ULIS产品的分辨率，睿创的东西用估计用的是 ...
是你吗？好久不见，最近有什么新品？

FLIR TAU2 系列有336*256和324*256两种。384*288的主要是法国ULIS产品的分辨率，睿创的东西用估计用的是 ...
看来内行来了，不过还是承认焦平面是自产的，而不是买的法国的，比高德强一点

FLIR TAU2 系列有336*256和324*256两种。384*288的主要是法国ULIS产品的分辨率，睿创的东西用估计用的是 ...
读出电路05年就搞定了
==
非致冷红外固体摄像机系列浏览次数：37次 星　　级：★★★成果完成人：易新建;张天序;陈四海;何兆湘;王宏臣;曹治国;王岳环;黄光;刘靖;徐隆成果类别：应用技术中图分类：TB853.29;TN219;学科分类：510.60;410.99;应用行业：制造业资源采集日期：2005-08-15成果入库时间：2005成果简介成果人(单位)信息负责人联系信息发布人联系信息主要技术指标：光谱响应：8-12μm;像元数：320×240;NETD：80mK;对人观察距离：>750m;观察车辆距离：>2km。除完成上述合同规定外,还开发了160×120和128×128元摄像机。先进性：①能在室温下工作,无需致冷,可以做成无机械运动的系统;②与大规模集成电路工艺兼容,成本低,成品率高,适合于大规模生产的要求;③体积小、重量轻、功耗低、可靠性高,可以做成微型化和低能耗系统;④响应波段宽(1-30μm),在红外常用的两个波段(3-5和8-12μm)都能适用;⑤价格低：同种性能的产品,仅为致冷型的1/10-1/100,为扩大应用领域开辟了道路。创新：①自主完成了非致冷红外固体摄像机的关键技术攻关,含红外焦平面(IRFPA)读出电路(ROIC)、IRFPA热电稳定器控制电路、非均匀性校正技术(NUC)和图像识别算法;②自主实现了长波红外(8-12μm)成像制导智能化信息处理技术,并开发了多种图像算法软件,在国防建设中正在发挥作用;③红外焦平面温度的热电稳定器(TEC)电路控制精度达到5mK,国外技术指标要求10mK,精度提高1倍,已申请国家发明专利;④实现了产品的系列化研制,不仅开发了按合同规定的320×240元红外焦平面摄像机系列,并拓展了160×120和128×128元红外焦平面摄像机系列,扩大了应用领域和为用户提供了更多品种选择。已在长江三峡工程、电力系统故障检查、航天航空和部队中使用,效果良好。

量子尺寸效应及其器件原理研究        【成果完成人】         易新建;陈四海;马宏;赖建军;王宏臣【第一完成单位】         华中科技大学【关键词】         量子尺寸效应;量子限域效应;器件原理【中图分类号】         TN601【学科分类号】        510.10【成果简介】        研究内容和特点简述如下：成果简介】        研究内容和特点简述如下：发现了五族元素Bi、Sb单晶薄膜的量子尺寸效应,含半金属-半导体转变、量子限域效应等,继而提出了以Sb、Bi为基的器件原理探讨,设计了Sb/GaAs、Bi/Bi1-xSbx、Bi/CdTe等量子阱超晶格结构,测定了它们的光电特性和输运特性等。这是经过约30年的停滞后才由本项目组完成。发现了四族锡的α-Sn相单晶薄膜的亚稳态温度由体(块状)单晶的13℃升高到单晶薄膜的约100℃,确定了它的临界厚度,并发现了它的基于量子限域效应而引起的Shubnikov-de Haas(SdH)振荡。此外,利用分子束外延(MBE)研制了α-Sn/CdTe量子阱超晶格结构。利用量子尺寸效应和应变量子阱概念,设计了III-V族化合物半导体量子阱光放大器(SOA)和模斑变换器(SSC),并首次实现了SOA与SSC的单片集成,其组件的光发散角由18o×40o压缩到12o×15o,率先探索了量子阱器件与光波导器件集成组件的设计和集成工艺原理。发现了VO2纳米材料的量子尺寸效应和纳米小尺寸效应。其相转变(半导体-金属可逆转变)温度大幅降低,由常规VO2多晶材料的68℃下降低到纳米材料的35℃,半导体区的TCR(电阻-温度系数)明显增加,此外光学性能亦有显著变化,这些特性,正是器件制造长期以来期待解决的难题。以上发现和研究结果,都是原创性的,相关论文被他引118次(其中SCI数据库他引108次,中国科学引文数据库他引10次),在国际上掀起了一股研究量子尺寸效应及其器件结构的热潮。【成果类别】         基础理论【成果水平】         国际领先【评价形式】         结题【成果入库时间】         2005

北方光电，云南昆明物理所的

==
氧化钒非制冷红外焦平面探测器文章来源：军民结合推进司发布时间：2012年12月21日    【技术开发单位】兵器工业集团公司北方夜视科技集团有限公司　　【技术简介】利用微电子机械系统（MEMS）技术研制氧化钒非制冷红外探测器。公司重点拓展的领域是高端数模混合集成电路开发和MEMS（微机电）传感器和驱动器。公司研发团队的主要人员均有海外学习和工作经历，人员背景包括集成电路设计，MEMS传感器设计，半导体工艺开发与集成，材料科学，电子封装，系统集成，图像处理等。　　【技术特点】微电子机械系统（MEMS）技术是一种微细加工技术，它可将信息获取、处理和执行等功能集成，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点。将MEMS用于非制冷红外探测器的研制能够使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度阵列集成和低成本、高精度、可批量生产等方向发展。　　【技术水平】 主要技术指标：　　速度：25～100 Hz　　热响应时间：3～10 ms　　响应率：5～25 mV/K　　NETD：小于等于40 mK　　空间噪声：＜0.5 NETD　　像元中心间距：20～45 um　　阵列：160×120，384×288，640×512　　盲元率：＜0.1%　　动态范围：＞70 dB　　【可应用领域和范围】我公司生产的非制冷红外探测器系列产品, 适用于消防、电力、建筑、安防等民用领域，实现夜视观测、制导、车载探测和温度测量等功能。　　【技术状态】 批量生产阶段　　【投入需求】建立一条6英寸探测器圆片生产线，投入约为8000万元人民币。主要投入的设备有光刻机，显影机，金属刻蚀机，非金属刻蚀机，清洗机，甩干机，溅射机，CVD，涂胶机，固胶机，退火炉，和各种量测设备，如CDSEM，探针台，台阶仪，应力仪，膜厚仪，4探针检测仪，缺陷检测仪等。　　【预期效益】产能为年产5万只各类探测器，根据目前市场情况，售价为3000至5000元人民币，销售额在两亿元人民币左右，毛利在50%左右。

hswz 发表于 2013-7-7 20:02
看来内行来了，不过还是承认焦平面是自产的，而不是买的法国的，比高德强一点
探测器不是买的，但在哪里流的片就不清楚了，铟倒桩互联和封测也不是在烟台做的，其实广州飒特也可以关注一下。

江南鸣镝 发表于 2013-7-7 20:00
是你吗？好久不见，最近有什么新品？
应该不是，我们以前每见过。

灵敏度
单价／成品率

这是好东西

灵敏度
单价／成品率

这是好东西

氧化钒好像没有铟膜呀？热释电的倒有！
=== 氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究
CAJ全文下载分享到：
作 者：王宏臣
来 源：华中科技大学 2006年
摘 要： 摘    要：自上世纪九十年代以来,非致冷红外成像技术取得了重大突破,引发了红外技术的第三次革命。与前两代致冷型光子红外探测器相比,第三代非致冷热敏红外探测器由于在室温下工作,无需制冷,因此在系统成本、重量、功耗和可靠性等方面都具有明显优势。 第三代非致冷红外探测器主要包括微测辐射热计和热释电探测器两种类型。与具有相当竞争力的热释电红外探测器相比,微测辐射热计具有动态范围大,响应线性度好、制造成本低等独特优点。此外,微测辐射热计工作时无需斩波,成像系统无任何活动部件,这有助于降低成像系统成本和提高系统可靠性,在军事或者民用诸多领域内都具有更广泛的应用前景。 本文围绕微测辐射热计的热敏材料、工作原理、绝热结构、读出电路和器件集成等关键技术,展开了深入系统的研究,主要研究内容和成果综述如下:在材料制备方面, (1)开展了氧化钒热敏薄膜制备技术研究,利用低温反应离子束溅射和磁控溅射在石英和Si3N4/Si衬底上制备了方块电阻为20~50 k?的混合相VOx和亚稳态相VO2(B)热敏薄膜,薄膜淀积温度控制在250℃以下,与大规模集成电路工艺兼容。所制备的热敏薄膜室温时的电阻温度系数约为-2.2%~-2.5%K-1,达到国际先进水平。 (2)完成了纳米VO2薄膜生长方法的研究,利用两步法(低温溅射和后退火)工艺在Si3N4薄膜覆盖的石英和硅衬底上制备了晶粒尺寸约为8~10 nm的VO2薄膜。测试结果表明该纳米VO2薄膜的热滞回线明显向室温移动,薄膜的金属-半导体相变温度由常规VO2材料的68℃下降到纳米VO2的34℃,该结果为国际首次报道。 在器件研制方面, (1)研究了微测辐射热计的工作原理,依据微测辐射热计的电热模型和热敏材料的电压-电流关系曲线,利用等效热导概念简化了探测器的热平衡方程,对探测器在直流、脉冲偏置以及非小信号条件下的响应率进行了分析计算。讨论了影响微测辐射热计红外探测信噪比的关键影响因素,为后续测辐射热计红外探测器的结构和电学参数设计提供了依据。 (2)开展了微测辐射热计绝热微桥结构制作方法的研究,利用多孔硅和光敏聚酰亚胺薄膜作为牺牲层材料,在国内率先研制出了128元单层线阵和32×32双层面阵微桥结构阵列。 (3)针对由CMOS制造工艺引入的读出电路芯片表面的不平坦特性,进行了芯片平坦化研究。利用BCB旋涂和化学镀技术,对电路芯片进行了平坦化,芯片表面不平坦度从平坦化前的2μm减少至平坦化后的0.13μm,为微测辐射热计阵列和读出电路的单片集成铺平了道路。 (4)进行了微测辐射热计阵列与读出电路的单片集成研究,研制出国内首个单片式带微桥结构的32×32微测辐射热计红外探测器焦平面阵列。在真空封装环境下,焦平面的像元黑体响应率和噪声等效功率分别达到1.4×104 V/W和8.4×10-10 W,为进一步研制单片式、高性能的非致冷红外焦平面阵列奠定了基础。
学位:博士


===
混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用
黄江平;杨春丽;黎力;袁斌
        铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一。本文着重介绍了我们在“128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜的制各和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)及研制结果。展示了UFPA的应用前景。
[关键词]：焦平面器件;非制冷探测器;铟膜;铟柱;探测器列阵;混合式;热释电;蒸发源;非致冷;膜制备
[文献类型]：会议论文
[文献出处]：《第八届真空技术应用学术年会论文集》

peteroof 发表于 2013-7-7 21:16 探测器不是买的，但在哪里流的片就不清楚了，铟倒桩互联和封测也不是在烟台做的，其实广州飒特也可以关注 ...

氧化钒好像没有铟膜呀？热释电的倒有！
=== 氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究
CAJ全文下载分享到：
作 者：王宏臣
来 源：华中科技大学 2006年
摘 要： 摘    要：自上世纪九十年代以来,非致冷红外成像技术取得了重大突破,引发了红外技术的第三次革命。与前两代致冷型光子红外探测器相比,第三代非致冷热敏红外探测器由于在室温下工作,无需制冷,因此在系统成本、重量、功耗和可靠性等方面都具有明显优势。 第三代非致冷红外探测器主要包括微测辐射热计和热释电探测器两种类型。与具有相当竞争力的热释电红外探测器相比,微测辐射热计具有动态范围大,响应线性度好、制造成本低等独特优点。此外,微测辐射热计工作时无需斩波,成像系统无任何活动部件,这有助于降低成像系统成本和提高系统可靠性,在军事或者民用诸多领域内都具有更广泛的应用前景。 本文围绕微测辐射热计的热敏材料、工作原理、绝热结构、读出电路和器件集成等关键技术,展开了深入系统的研究,主要研究内容和成果综述如下:在材料制备方面, (1)开展了氧化钒热敏薄膜制备技术研究,利用低温反应离子束溅射和磁控溅射在石英和Si3N4/Si衬底上制备了方块电阻为20~50 k?的混合相VOx和亚稳态相VO2(B)热敏薄膜,薄膜淀积温度控制在250℃以下,与大规模集成电路工艺兼容。所制备的热敏薄膜室温时的电阻温度系数约为-2.2%~-2.5%K-1,达到国际先进水平。 (2)完成了纳米VO2薄膜生长方法的研究,利用两步法(低温溅射和后退火)工艺在Si3N4薄膜覆盖的石英和硅衬底上制备了晶粒尺寸约为8~10 nm的VO2薄膜。测试结果表明该纳米VO2薄膜的热滞回线明显向室温移动,薄膜的金属-半导体相变温度由常规VO2材料的68℃下降到纳米VO2的34℃,该结果为国际首次报道。 在器件研制方面, (1)研究了微测辐射热计的工作原理,依据微测辐射热计的电热模型和热敏材料的电压-电流关系曲线,利用等效热导概念简化了探测器的热平衡方程,对探测器在直流、脉冲偏置以及非小信号条件下的响应率进行了分析计算。讨论了影响微测辐射热计红外探测信噪比的关键影响因素,为后续测辐射热计红外探测器的结构和电学参数设计提供了依据。 (2)开展了微测辐射热计绝热微桥结构制作方法的研究,利用多孔硅和光敏聚酰亚胺薄膜作为牺牲层材料,在国内率先研制出了128元单层线阵和32×32双层面阵微桥结构阵列。 (3)针对由CMOS制造工艺引入的读出电路芯片表面的不平坦特性,进行了芯片平坦化研究。利用BCB旋涂和化学镀技术,对电路芯片进行了平坦化,芯片表面不平坦度从平坦化前的2μm减少至平坦化后的0.13μm,为微测辐射热计阵列和读出电路的单片集成铺平了道路。 (4)进行了微测辐射热计阵列与读出电路的单片集成研究,研制出国内首个单片式带微桥结构的32×32微测辐射热计红外探测器焦平面阵列。在真空封装环境下,焦平面的像元黑体响应率和噪声等效功率分别达到1.4×104 V/W和8.4×10-10 W,为进一步研制单片式、高性能的非致冷红外焦平面阵列奠定了基础。
学位:博士


===
混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用
黄江平;杨春丽;黎力;袁斌
        铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一。本文着重介绍了我们在“128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜的制各和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)及研制结果。展示了UFPA的应用前景。
[关键词]：焦平面器件;非制冷探测器;铟膜;铟柱;探测器列阵;混合式;热释电;蒸发源;非致冷;膜制备
[文献类型]：会议论文
[文献出处]：《第八届真空技术应用学术年会论文集》

hswz 发表于 2013-7-7 22:31
氧化钒好像没有铟膜呀？热释电的倒有！
=== 氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究
CAJ全文下载分享到：
读出电路是硅的，和氧化钒之间是通过铟柱连接的，一个像素一个，热释电很坑爹，实际中基本没有用的。

　国内非制冷红外焦平面阵列探测器的发展情况　　由于非制冷焦平面探测器在军事方面的诸多应用，美国对中国一直实行严格的禁运措施。美国厂商在国内仅出售热像仪整机，或者在分辨率、帧频等方面有限制条件的机芯组件。法国的探测器可以对中国出口，但实施最终用户许可制度，并且在最先进的技术方面加以限制。　　国内过去主要在高校等研究机构进行一些相关研究，一直未能实现国产化。从2006年前后，国内开始有商业公司进行非制冷探测器的研制工作。主要包括浙江大立科技、武汉高德红外等较大规模的热像仪厂家，沿袭其热像系统中使用的探测器体制，采用了非晶硅探测器路线。另外一些初创型公司如北京广微积电、烟台睿创等，采取了氧化钒探测器路线。　　在2012年9月的深圳光博会上，浙江大立科技首次公开展示了公司的国产非制冷焦平面探测器，包括45um像元间距、320×240分辨率，35um像元间距、384×288分辨率，25um像元间距、384×288和640×480分辨率的多款型号a-Si探测器，性能与法国进口器件水平相当。　　另外，国内还有上海巨哥电子、昆山光微等公司从事光读出非制冷焦平面探测器的研制和产业化。

===
　（来源：浙江大立科技股份有限公司 2013年6月6日）

红外，超声波雷达，毫米波雷达在以后 的巷战，城市站很有用处。。。

封装应该可以量产了,我国最大的封装企业可以做
=== 《电子与封装》
2010年06期 加入收藏获取最新
应用于红外焦平面铟柱互连的封装技术
李金健
【摘要】：焦平面技术在红外侦察系统和红外成像导弹系统等军事领域都已经进入实际应用阶段,同时还将扩展到诸如工业监控测温、医疗卫生、海上救援、车辆和舰船的驾驶员夜视增强观察仪等广阔的民用领域。红外焦平面阵列是红外成像的核心部件,对于红外焦平面铟柱的连结方式目前主要是通过倒装焊的封装方式,通过涂敷助焊剂并通过红外回流将其重要组成部分的探测器和读出电路互连起来。文章主要介绍了应用于红外焦平面铟柱互连的倒装焊封装技术及其可靠性的影响。【作者单位】：南通富士通微电子股份有限公司;【关键词】：红外焦平面铟柱互连封装倒装焊【分类号】：TN215【正文快照】：1引言自20世纪70年代以来,红外焦平面的发展非常迅速,其规模从单元探测器发展到多元、线列和面阵,目前已成为红外科学领域的研究前沿。当今的红外焦平面技术已发展成为集红外材料、光学、制冷、硅微机械加工和微电子集成电路设计于一体的高科技综合技术。在红外焦平面探测器

peteroof 发表于 2013-7-7 22:40 读出电路是硅的，和氧化钒之间是通过铟柱连接的，一个像素一个，热释电很坑爹，实际中基本没有用的。

封装应该可以量产了,我国最大的封装企业可以做
=== 《电子与封装》
2010年06期 加入收藏获取最新
应用于红外焦平面铟柱互连的封装技术
李金健
【摘要】：焦平面技术在红外侦察系统和红外成像导弹系统等军事领域都已经进入实际应用阶段,同时还将扩展到诸如工业监控测温、医疗卫生、海上救援、车辆和舰船的驾驶员夜视增强观察仪等广阔的民用领域。红外焦平面阵列是红外成像的核心部件,对于红外焦平面铟柱的连结方式目前主要是通过倒装焊的封装方式,通过涂敷助焊剂并通过红外回流将其重要组成部分的探测器和读出电路互连起来。文章主要介绍了应用于红外焦平面铟柱互连的倒装焊封装技术及其可靠性的影响。【作者单位】：南通富士通微电子股份有限公司;【关键词】：红外焦平面铟柱互连封装倒装焊【分类号】：TN215【正文快照】：1引言自20世纪70年代以来,红外焦平面的发展非常迅速,其规模从单元探测器发展到多元、线列和面阵,目前已成为红外科学领域的研究前沿。当今的红外焦平面技术已发展成为集红外材料、光学、制冷、硅微机械加工和微电子集成电路设计于一体的高科技综合技术。在红外焦平面探测器

严重关注中        。

北方光电，云南昆明物理所的 ==
还有一家 北京广微积电,北方光电系的,不知军转民的项目是不是他,好像资金出问题了
===
bbsdj2010-10-01 10:41北京广微积电的非制冷红外探测器已经出样片        北京广微积电的非制冷红外探测器已经有成品出现，是基于氧化钒VOx的；他们的总工程师雷述宇已经开始在国内就其产品进行宣传，NETD据说是在40mk-60mk之间，电路上集成了DA、以及14bit的ADxiangyi1702010-10-22 15:13好贴啊，爆内部了！顶！！bbsdj2010-10-30 14:05而且北京广微积电已经在建8inch的MEMS fab，预计今年年底完工；加上机台调试时间大约3个月的话，明年4-5月份应该会有第一次量产流片出现irmems2010-12-01 04:59请问他家是在哪里流片（电路，微结构，封装分别在哪里） ？ 完全自主知识产权吗？现在宣传的探测器是有哪些尺寸和分辨率的呢？谢谢~imems2010-12-21 11:12呵呵，，，搞了好久了bbsdj2010-12-21 11:47技术指标较为简略，我不清楚；做的公司以及研究所越来越多了，11所貌似在等待广微积电的产品呢liukui2011-01-12 14:39还要看看hymao20112011-01-12 18:04还有没有更具体一些的资料？国内还有其它在做非致冷红外成像研究的团队吗？水平怎么样？bbsdj2011-01-12 18:56更具体的资料，只知道pixel size是35um，NETD小于等于60mk，频率是50Hz到60Hz吧；最近广微的8inch fab可能遇到了资金问题，等等估计就能继续向前推进了吧，不然多可惜limate2011-01-30 13:20请问有没有广微资金问题的新进展？bbsdj2011-01-30 13:28牛B的公司不怕没有资金,半导体企业有国家支撑呢xianforum2011-05-07 02:37版主消息很灵通嘛。march2011-07-19 09:08想听听后续情况啊liuq022011-07-25 10:46北京广微积电 是什么背景？为什么牛，有人能科普一下。。leadmems2011-07-31 20:26http://www.gwic.com.cn/给你个官网你看看zgghit2011-09-08 12:58好啊，不错啊fenghuolun122012-09-23 10:19过去这么久了现在的情况如何呢？nanocenter2012-10-30 16:34光微机电是不是死了Admin_MEMS2012-10-31 07:26nanocenter:光微机电是不是死了(2012-10-30 16:34)在微型投影仪上应用不是很火吗樂兲ブ籃塰豚2012-12-28 23:51哈 谢谢啦 ！谢谢分享hitjiong2013-04-26 10:38如果是真的还不错嘛！

探测器不是买的，但在哪里流的片就不清楚了，铟倒桩互联和封测也不是在烟台做的，其实广州飒特也可以关注 ...
原来买了一条6寸MEMS线,自己流片

===
尺寸（inch）    名称            所在城市       状态
6                    睿创微纳             烟台        MEMS fab

北京广微积电的指标
。25um像素，netd 60mk，50Hz，氧化钒。

8寸的MEMS线
尺寸（inch）       名称        所在城市            状态
8                       广微积电      北京MEMS      fab在建…

北京广微积电的指标
。25um像素，netd 60mk，50Hz，氧化钒。

8寸的MEMS线
尺寸（inch）       名称        所在城市            状态
8                       广微积电      北京MEMS      fab在建…