莫非是我想多了

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/04/29 16:49:51


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说明一下,胡松是国家重大专项光刻机首席技术专家,成都光电所四室主任


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值得关注, 热切希望着。

洪堡骑士 发表于 2016-3-16 17:54
值得关注, 热切希望着。


另外,02专项的子课题arf温控和净化系统是华中科大在搞,也就是‘’双腔‘,’已经用在arf光源投影系统上,EUV的温控和净化系统正在搞,也是华中科大,研究人员是李小平和他的学生
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