探访手握70多项专利的IC装备业“隐形冠军”

■第二看台
    一家名不见经传的小公司，藏身于沈阳市浑南区一处僻静小院，投资仅3亿多元，历时短短四五载，就一举突破少数国际巨头的垄断，在全国首次实现大规模集成电路专用薄膜设备（PECVD设备）的量产，被誉为IC装备业界的“隐形冠军”。
    它就是沈阳拓荆科技有限公司。
    庆功的酒香仍在弥漫。
    一个多月前，拓荆所产的12英寸PECVD设备，累计在线加工量突破10万片，产品合格率达到100％。这标志着，我国国产高端IC装备实现重大突破，开始全面进入市场，助力“中国芯”迈上新台阶。
    近日，记者来到拓荆，探访这位“隐形冠军”背后的奥秘。
    这里，听不到机器的轰鸣，看不到壮观的设备。透过密闭的玻璃窗，记者看到，超洁净的工区内，穿戴防护装备的技术人员，正在生产线上紧张忙碌。
    “硅片上一层层‘长’出的薄膜，厚度要非常均匀，要求设备有极高的精度和稳定性，”沈阳拓荆公司副总经理刘忆军博士告诉记者，“芯片制造代表了现代工业的核心竞争力，每个硅片上载有上千片芯片，价值几十万、上百万元美金，工程师拿起来，手会紧张得发抖！”
    长期以来，我国芯片产业严重落后，要靠大量进口，每年进口量已超过石油，成为第一大进口商品。PECVD设备是芯片制造的4种最重要设备之一，其核心技术是利用等离子体增强化学气相沉积法，在硅晶片表面镀一层固态薄膜。该技术完全被美日等少数发达国家垄断，设备进口受到严格限制。
    拓荆人为何要向这一技术领域的“珠穆朗玛峰”攀登？
    2005年，旅居海外、任美国第二大IC装备企业技术副总裁的姜谦博士，在美邂逅了中科院和沈阳市政府的招商团。从那一刻起，他作出了回国创业、带领中国IC装备制造业打破封锁、突出重围的重大人生决定；次年，姜谦来到沈阳，随后领衔承担科技部“十一五”重大技术专项的研发。
    2010年，在辽宁省及沈阳市、浑南区政府支持下，沈阳拓荆公司正式成立，投资3亿多元，向国际巨头垄断的大规模集成电路专用薄膜设备生产发起挑战。
    拓荆在当地招聘大学毕业生，组建创业团队，又吸引海外优秀专家加盟。经过一系列艰苦努力，终于完成了硬件、软件、自动控制、工艺等全部开发任务，成功导入生产商线上测试。2011年10月，我国首台自主开发研制的12英寸PECVD设备样机出厂。
    几年过去了，在向世界科技高峰的攀登中，拓荆交出了令业内吃惊的答卷：自主开发出2－12英寸PECVD三个完整系列产品，成为国内唯一能够生产用于大规模集成电路生产线的12英寸全自动PECVD设备的企业，薄膜制备可靠性、可重复性及工艺水平达到国际先进水平，打破了长期依赖国外进口的局面；累计销售产品18台（套），其中12英寸PECVD设备8台（套），为中芯国际、苏州晶方以及复旦、清华等高端客户提供设备支撑；已获专利70多项，在申请的有60余项；不仅实现设备国产化，还使价格比进口降低30％多，提升了我国IC制造装备的市场竞争力。
    拓荆在业界开始有名了。但是，拓荆把目标定得更宏大。
    “12英寸PECVD设备每年全球的市场份额，大约是100多亿元，我们要积极抢占这一市场，”拓荆公司的领导团队显然成竹在胸。
    拓荆打造现代企业管理制度，全员持股。去年又成功进行一次融资，筹备建设新厂区，并向国际最新一代产品——原子层沉积系统ALD设备进军，确保我国IC薄膜设备制造与国际主流技术保持同步。
    记者采访中了解到，在辽宁，类似拓荆这样的成长型企业，已涌现出一大批。它们拥有自主核心技术，抢占行业制高点，显现巨大发展潜力和良好前景。
    新的力量、新的希望正在破茧而出。
    目前，辽宁省高新技术企业主营业务收入过亿元的企业超过360家。无论是高端装备，还是制药产业、激光产业、软件信息服务产业，逐渐形成战略性新兴产业品牌，引领和带动区域产业转型升级。（据新华社） http://digitalpaper.stdaily.com/http_www.kjrb.com/kjrb/html/2015-08/19/content_314274.htm?div=-1■第二看台
    一家名不见经传的小公司，藏身于沈阳市浑南区一处僻静小院，投资仅3亿多元，历时短短四五载，就一举突破少数国际巨头的垄断，在全国首次实现大规模集成电路专用薄膜设备（PECVD设备）的量产，被誉为IC装备业界的“隐形冠军”。
    它就是沈阳拓荆科技有限公司。
    庆功的酒香仍在弥漫。
    一个多月前，拓荆所产的12英寸PECVD设备，累计在线加工量突破10万片，产品合格率达到100％。这标志着，我国国产高端IC装备实现重大突破，开始全面进入市场，助力“中国芯”迈上新台阶。
    近日，记者来到拓荆，探访这位“隐形冠军”背后的奥秘。
    这里，听不到机器的轰鸣，看不到壮观的设备。透过密闭的玻璃窗，记者看到，超洁净的工区内，穿戴防护装备的技术人员，正在生产线上紧张忙碌。
    “硅片上一层层‘长’出的薄膜，厚度要非常均匀，要求设备有极高的精度和稳定性，”沈阳拓荆公司副总经理刘忆军博士告诉记者，“芯片制造代表了现代工业的核心竞争力，每个硅片上载有上千片芯片，价值几十万、上百万元美金，工程师拿起来，手会紧张得发抖！”
    长期以来，我国芯片产业严重落后，要靠大量进口，每年进口量已超过石油，成为第一大进口商品。PECVD设备是芯片制造的4种最重要设备之一，其核心技术是利用等离子体增强化学气相沉积法，在硅晶片表面镀一层固态薄膜。该技术完全被美日等少数发达国家垄断，设备进口受到严格限制。
    拓荆人为何要向这一技术领域的“珠穆朗玛峰”攀登？
    2005年，旅居海外、任美国第二大IC装备企业技术副总裁的姜谦博士，在美邂逅了中科院和沈阳市政府的招商团。从那一刻起，他作出了回国创业、带领中国IC装备制造业打破封锁、突出重围的重大人生决定；次年，姜谦来到沈阳，随后领衔承担科技部“十一五”重大技术专项的研发。
    2010年，在辽宁省及沈阳市、浑南区政府支持下，沈阳拓荆公司正式成立，投资3亿多元，向国际巨头垄断的大规模集成电路专用薄膜设备生产发起挑战。
    拓荆在当地招聘大学毕业生，组建创业团队，又吸引海外优秀专家加盟。经过一系列艰苦努力，终于完成了硬件、软件、自动控制、工艺等全部开发任务，成功导入生产商线上测试。2011年10月，我国首台自主开发研制的12英寸PECVD设备样机出厂。
    几年过去了，在向世界科技高峰的攀登中，拓荆交出了令业内吃惊的答卷：自主开发出2－12英寸PECVD三个完整系列产品，成为国内唯一能够生产用于大规模集成电路生产线的12英寸全自动PECVD设备的企业，薄膜制备可靠性、可重复性及工艺水平达到国际先进水平，打破了长期依赖国外进口的局面；累计销售产品18台（套），其中12英寸PECVD设备8台（套），为中芯国际、苏州晶方以及复旦、清华等高端客户提供设备支撑；已获专利70多项，在申请的有60余项；不仅实现设备国产化，还使价格比进口降低30％多，提升了我国IC制造装备的市场竞争力。
    拓荆在业界开始有名了。但是，拓荆把目标定得更宏大。
    “12英寸PECVD设备每年全球的市场份额，大约是100多亿元，我们要积极抢占这一市场，”拓荆公司的领导团队显然成竹在胸。
    拓荆打造现代企业管理制度，全员持股。去年又成功进行一次融资，筹备建设新厂区，并向国际最新一代产品——原子层沉积系统ALD设备进军，确保我国IC薄膜设备制造与国际主流技术保持同步。
    记者采访中了解到，在辽宁，类似拓荆这样的成长型企业，已涌现出一大批。它们拥有自主核心技术，抢占行业制高点，显现巨大发展潜力和良好前景。
    新的力量、新的希望正在破茧而出。
    目前，辽宁省高新技术企业主营业务收入过亿元的企业超过360家。无论是高端装备，还是制药产业、激光产业、软件信息服务产业，逐渐形成战略性新兴产业品牌，引领和带动区域产业转型升级。（据新华社） http://digitalpaper.stdaily.com/http_www.kjrb.com/kjrb/html/2015-08/19/content_314274.htm?div=-1