我国成功研制纳米光栅样板

由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过三年的科技攻关，在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前，这个课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。

　　据中国计量科学研究院相关负责人介绍，近年来，我国纳米技术产业发展迅速，量值溯源问题已严重阻碍了我国纳米技术产业的发展，每年进口的近万台纳米测量仪器无法进行质量检测，不得不依靠国外样板进行校准。即便如此，我国纳米产业量值不一的状况仍未从根本上得到解决。由于溯源渠道不同，同在无锡的两家大型集成电路企业的线宽量值竟然相差10%。

　　为解决上述问题，以中国计量科学研究院电学量子所长度量子基准研究室为主导的科研小组于2006年立项承担了“十一五”国家科技支撑计划课题 ——“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”。经过三年的努力，研究小组掌握了铬原子沉积纳米光栅理论和技术，自主建立了高真空度原子沉积实验装置，成功研制出一维纳米尺度光栅标准样板，并通过了专业机构的计量验证。

　　据了解，一维标准纳米光栅样板是国际计量局规定的5个纳米标准样板之一。它的成功研制填补了我国在纳米计量标准物质方面研究的空白，技术指标达到了国际先进水平。该项成果的取得，使我国成为少数几个掌握原子光栅沉积技术的国家之一，将从根本上解决我国纳米测量仪器的量值溯源和校准问题，改变我国纳米计量长期依赖国外的现状。
http://www.jx.cn/xwzx/viewnew.asp?ig=6&id=52353由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过三年的科技攻关，在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前，这个课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。

　　据中国计量科学研究院相关负责人介绍，近年来，我国纳米技术产业发展迅速，量值溯源问题已严重阻碍了我国纳米技术产业的发展，每年进口的近万台纳米测量仪器无法进行质量检测，不得不依靠国外样板进行校准。即便如此，我国纳米产业量值不一的状况仍未从根本上得到解决。由于溯源渠道不同，同在无锡的两家大型集成电路企业的线宽量值竟然相差10%。

　　为解决上述问题，以中国计量科学研究院电学量子所长度量子基准研究室为主导的科研小组于2006年立项承担了“十一五”国家科技支撑计划课题 ——“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”。经过三年的努力，研究小组掌握了铬原子沉积纳米光栅理论和技术，自主建立了高真空度原子沉积实验装置，成功研制出一维纳米尺度光栅标准样板，并通过了专业机构的计量验证。

　　据了解，一维标准纳米光栅样板是国际计量局规定的5个纳米标准样板之一。它的成功研制填补了我国在纳米计量标准物质方面研究的空白，技术指标达到了国际先进水平。该项成果的取得，使我国成为少数几个掌握原子光栅沉积技术的国家之一，将从根本上解决我国纳米测量仪器的量值溯源和校准问题，改变我国纳米计量长期依赖国外的现状。
http://www.jx.cn/xwzx/viewnew.asp?ig=6&id=52353