问一个伺服电机精度的问题

来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/29 23:12:27


我现在单位上有一个蔡司的显微镜，载物台可以用电机控制上下，进而调整对焦。前阵猛然发现控制面板上显示的可以控制的精度最小可以到 0.00001mm, 特来超大求教这个伺服电机的水平究竟到什么程度了？

我现在单位上有一个蔡司的显微镜，载物台可以用电机控制上下，进而调整对焦。前阵猛然发现控制面板上显示的可以控制的精度最小可以到 0.00001mm, 特来超大求教这个伺服电机的水平究竟到什么程度了？
这个精度貌似超声波电机才能达到？
压电陶瓷加闭环反馈控制，步进精度做到5nm没有问题
RE楼上！
Chasefreedom 发表于 2010-3-13 22:19


    行程不够
这个应该只是“理论”值，并非实际精度。假如真能达到这个精度，那一定得保证恒温。否则，零件的热胀冷缩产生的误差就远大于这个值了。
386i 发表于 2010-3-13 22:45

压电陶瓷的行程很长的
FEI的NOVA系列SEM的样品台就是压电陶瓷的
可以做到横向至少200mm，高低50mm的移动
精度也能做到50nm左右
10nm，估计只是分辨率吧，实际的控制精度应该是亚微米级别的，至少比分辨率高一个数量级
木瓜 发表于 2010-3-14 00:13

压电陶瓷的行程很长的
FEI的NOVA系列SEM的样品台就是压电陶瓷的
可以做到横向至少200mm，高低50mm的移 ...
chinatemplar 发表于 2010-3-14 00:39


就是精度和行程不能兼顾，放大行程会降低精度。不如用超声波电机，行程大，精度达到10nm也没问题。
对了，你说的应该就是超声波电机
压电陶瓷的行程很长的
FEI的NOVA系列SEM的样品台就是压电陶瓷的
可以做到横向至少200mm，高低50mm的移 ...
chinatemplar 发表于 2010-3-14 00:39


就是精度和行程不能兼顾，放大行程会降低精度。不如用超声波电机，行程大，精度达到10nm也没问题。
对了，你说的应该就是超声波电机
我靠，这个精度的东西必须安在一楼吧。要不然高层楼房在一般风速下的位移都比这个大不少吧。
回复 11# docliu


    防振桌或者光学平台对低频振动有较好的隔离效果，北大的微纳加工试验室确实在地下室……
docliu 发表于 2010-3-14 11:16


也不一定
如果用减震台也可以装在高层
xdkdzhy87 发表于 2010-3-14 13:51
回复 14# sarchiel

1、实验室在地下
2、有防振桌的
Specifications   
  Min. Load @ 20 psi  Max. Load @ 80 psi   
Vertical Natural Frequency 1.9HZ  Vertical Natural Frequency 1.5Hz
  Isolation Efficiency @ 5Hz 70%   Isolation Efficiency @ 5Hz 85%
Isolation Efficiency @ 10Hz 90%   Isolation Efficiency @ 10Hz 97%
Horizontal Natural Frequency 2.2Hz  Horizontal Natural Frequency 1.2Hz
  Isolation Efficiency @ 5Hz 64%   Isolation Efficiency @ 5Hz 91%
  Isolation Efficiency @ 10Hz 90%   Isolation Efficiency @ 10Hz 97%
        
  Gross Load Capacity @ 80 psi
　　9101 800 lbs.(363kg)
　　9102 1300 lbs.(590kg)
  Finish:
standard 　Linear White Polyurethane
Class 10 　White Epoxy Powder Coat   
  Note: Typical performance efficiencies are for microdisturbances

某型防振桌的性能数据
docliu 发表于 2010-3-14 11:16


    有时间装在一楼也不太行，做实验时得夜深人静，没有车经过
Nighthawk 发表于 2010-3-14 21:19


那个，实验室是可以加固的
可以很大程度上减小环境的影响
其实很多时候最大的影响来自于空调和人的说话...
要有防震壕，挖一米五宽一米五深可防地面震动。实际的控制精度没多高。
这楼……
这玩意儿国内造得出来吗？我比较关心这个
回复 20# uuk


  做不到，谢谢
貌似蔡司的某些材料很变态的说。俺们三坐标机子上的玻璃光栅尺，蔡司号称零膨胀...（有老大科普下这东东吗，可以把膨胀系数搞得这么变态么） 机器的底座是气动的主动减震底座，俺没事的时候就看着机器不停的在扭...
evang82 发表于 15-3-2010 07:27


    哎，刷白了……
好高端....国内能做吗?
uoxxj 发表于 2010-3-16 11:49


    这帖子里说的貌似国内都不能做
要防震的。

以前凤凰光学在山里面的地盘得天独厚的安静，后来由于江西铜业的矿山就在齐备编辑公里处，采掘、爆破的震动，迫使凤凰光学搬迁。因为光学加工机械必须防震才能确保其精度。
我靠，看得我一头雾水，这么牛逼啊
ttbit 发表于 2010-3-16 00:26


    你能看到不停的在扭？您老的眼神赶上显微镜了吧
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