超级军网TB高能激光武器系统曝光:国家反导、反卫星"氧一碘强激 ...
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/29 15:01:46
http://dbpub.cnki.net/Grid2008/d ... Bs0frGVKrifZuVuFyg=
【第一完成单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【关键词】 晶体生长;衬底材料;大尺寸晶体;蓝宝石;温度梯度法
【中图分类号】 TQ164.2;O782.9
【学科分类号】 140.50;530.34
【成果简介】 蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达Φ115×80mm^3的大尺寸优质蓝宝石晶体,晶体外形完整,等径部位不开裂。分析比较了不同纯度的Al_2O_3原料对晶体质量的影响。建立了特殊的高温退火装置,耐火温度>1600℃。通过以上工艺,已经成功地解决了蓝宝石晶体的着色现象,并极大地减小了晶体的光吸收。较好地解决了大尺寸蓝宝石晶体的加工问题,面形精度获得明显提高。该项目生产出的蓝宝石晶体具有国际领先水平,标准化蓝宝石衬底φ50×0.4mm已达到产业化水平,更大尺寸(第二代和第三代)的蓝宝石衬底和特殊要求的钛宝石晶体正在发展之中。目前四英寸蓝宝石晶体的研制取得以下研究成果：1、稳定生长尺寸≥Φ120×80mm的优质Al_2O_3晶体,成品率≥80%。2、大面积光学均匀性Δn<10^(-5);光损耗<10^(-4)/cm;3．位错密度：≤5×l0^2/ m^2;双晶衍射摇摆曲线：FWHM≤20";4．美国 LIGO工程对于该研究小组生长的大尺寸蓝宝石晶体Φ110×80mm进行了1064nm处的弱吸收测试,结果：吸收系数为35－65pp/cm,优于美国 CRYSTAL SYSTEM Inc.(CSI)公司提供的样品(80ppm/cm)通过改进生长工艺,建立更合适的温度梯度,有效地提高了蓝宝石晶体的光学均匀性,PV值达17nm,优于美国CSI公司的30nm。5、已向美国国家自然科学基金委重大项目LIGO计划提供大尺寸蓝宝石晶体样品,并己提出了第二期研究计划。6．向国内从事GaN的研究单位提供各类蓝宝石衬底基片100多片。7、将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。评价情况：该成果于2000年1月通过上海市科委验收,达国际先进水平。成果专利情况：1、一种耐高温的温梯法生长装置[专利号：85100534.9(发明)];2、垂直温梯法生长铝酸锂和镓酸锂晶体[申请号：97106255.2(发明)]。成果获奖情况：1、1993年掺钛蓝宝石可调谐激光晶体获上海市科技进步一等奖;2、1996年优质可调谐激光晶体掺钛蓝宝石的研制获国家科技进步二等奖。该项研究现处于小批量生产阶段,氮化镓是继硅单晶之后,人类所发现的最重要的新材料,其市场刚刚启动,1998年市场销售额年5亿美元,1999年9亿美元,目前每年正以40%的速度迅速增加。它所需要的蓝宝石衬底,将以同样的增速发展,市场前景十分可观。效益分析与预测：仅氮化物半导体所需衬底材料,每年约需100万片(φ50X0.4mm),1999年市场销售额0.6亿美元;2000年1亿美元。已取得的经济和社会效益：自“九五”立项以来,实验室阶段：向美国、日本、法国、以色列等国家和地区出口钛宝石激光棒100多根和蓝宝石晶体。出口创汇20多万美元,国内创汇30万人民币。成为继美国之后能提供实用化优质大尺寸蓝宝石晶体的国家,代表了我国在此领域的地位和水平。
【成果类别】 应用技术
【成果水平】
【研究起止时间】
【评价形式】
【成果入库时间】 2004
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【第一完成单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【关键词】 晶体生长;衬底材料;大尺寸晶体;蓝宝石;温度梯度法
【中图分类号】 TQ164.2;O782.9
【学科分类号】 140.50;530.34
【成果简介】 蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达Φ115×80mm^3的大尺寸优质蓝宝石晶体,晶体外形完整,等径部位不开裂。分析比较了不同纯度的Al_2O_3原料对晶体质量的影响。建立了特殊的高温退火装置,耐火温度>1600℃。通过以上工艺,已经成功地解决了蓝宝石晶体的着色现象,并极大地减小了晶体的光吸收。较好地解决了大尺寸蓝宝石晶体的加工问题,面形精度获得明显提高。该项目生产出的蓝宝石晶体具有国际领先水平,标准化蓝宝石衬底φ50×0.4mm已达到产业化水平,更大尺寸(第二代和第三代)的蓝宝石衬底和特殊要求的钛宝石晶体正在发展之中。目前四英寸蓝宝石晶体的研制取得以下研究成果：1、稳定生长尺寸≥Φ120×80mm的优质Al_2O_3晶体,成品率≥80%。2、大面积光学均匀性Δn<10^(-5);光损耗<10^(-4)/cm;3．位错密度：≤5×l0^2/ m^2;双晶衍射摇摆曲线：FWHM≤20";4．美国 LIGO工程对于该研究小组生长的大尺寸蓝宝石晶体Φ110×80mm进行了1064nm处的弱吸收测试,结果：吸收系数为35－65pp/cm,优于美国 CRYSTAL SYSTEM Inc.(CSI)公司提供的样品(80ppm/cm)通过改进生长工艺,建立更合适的温度梯度,有效地提高了蓝宝石晶体的光学均匀性,PV值达17nm,优于美国CSI公司的30nm。5、已向美国国家自然科学基金委重大项目LIGO计划提供大尺寸蓝宝石晶体样品,并己提出了第二期研究计划。6．向国内从事GaN的研究单位提供各类蓝宝石衬底基片100多片。7、将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。评价情况：该成果于2000年1月通过上海市科委验收,达国际先进水平。成果专利情况：1、一种耐高温的温梯法生长装置[专利号：85100534.9(发明)];2、垂直温梯法生长铝酸锂和镓酸锂晶体[申请号：97106255.2(发明)]。成果获奖情况：1、1993年掺钛蓝宝石可调谐激光晶体获上海市科技进步一等奖;2、1996年优质可调谐激光晶体掺钛蓝宝石的研制获国家科技进步二等奖。该项研究现处于小批量生产阶段,氮化镓是继硅单晶之后,人类所发现的最重要的新材料,其市场刚刚启动,1998年市场销售额年5亿美元,1999年9亿美元,目前每年正以40%的速度迅速增加。它所需要的蓝宝石衬底,将以同样的增速发展,市场前景十分可观。效益分析与预测：仅氮化物半导体所需衬底材料,每年约需100万片(φ50X0.4mm),1999年市场销售额0.6亿美元;2000年1亿美元。已取得的经济和社会效益：自“九五”立项以来,实验室阶段：向美国、日本、法国、以色列等国家和地区出口钛宝石激光棒100多根和蓝宝石晶体。出口创汇20多万美元,国内创汇30万人民币。成为继美国之后能提供实用化优质大尺寸蓝宝石晶体的国家,代表了我国在此领域的地位和水平。
【成果类别】 应用技术
【成果水平】
【研究起止时间】
【评价形式】
【成果入库时间】 2004
【第一完成单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【关键词】 晶体生长;衬底材料;大尺寸晶体;蓝宝石;温度梯度法
【中图分类号】 TQ164.2;O782.9
【学科分类号】 140.50;530.34
【成果简介】 蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达Φ115×80mm^3的大尺寸优质蓝宝石晶体,晶体外形完整,等径部位不开裂。分析比较了不同纯度的Al_2O_3原料对晶体质量的影响。建立了特殊的高温退火装置,耐火温度>1600℃。通过以上工艺,已经成功地解决了蓝宝石晶体的着色现象,并极大地减小了晶体的光吸收。较好地解决了大尺寸蓝宝石晶体的加工问题,面形精度获得明显提高。该项目生产出的蓝宝石晶体具有国际领先水平,标准化蓝宝石衬底φ50×0.4mm已达到产业化水平,更大尺寸(第二代和第三代)的蓝宝石衬底和特殊要求的钛宝石晶体正在发展之中。目前四英寸蓝宝石晶体的研制取得以下研究成果：1、稳定生长尺寸≥Φ120×80mm的优质Al_2O_3晶体,成品率≥80%。2、大面积光学均匀性Δn<10^(-5);光损耗<10^(-4)/cm;3．位错密度：≤5×l0^2/ m^2;双晶衍射摇摆曲线：FWHM≤20";4．美国 LIGO工程对于该研究小组生长的大尺寸蓝宝石晶体Φ110×80mm进行了1064nm处的弱吸收测试,结果：吸收系数为35－65pp/cm,优于美国 CRYSTAL SYSTEM Inc.(CSI)公司提供的样品(80ppm/cm)通过改进生长工艺,建立更合适的温度梯度,有效地提高了蓝宝石晶体的光学均匀性,PV值达17nm,优于美国CSI公司的30nm。5、已向美国国家自然科学基金委重大项目LIGO计划提供大尺寸蓝宝石晶体样品,并己提出了第二期研究计划。6．向国内从事GaN的研究单位提供各类蓝宝石衬底基片100多片。7、将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。评价情况：该成果于2000年1月通过上海市科委验收,达国际先进水平。成果专利情况：1、一种耐高温的温梯法生长装置[专利号：85100534.9(发明)];2、垂直温梯法生长铝酸锂和镓酸锂晶体[申请号：97106255.2(发明)]。成果获奖情况：1、1993年掺钛蓝宝石可调谐激光晶体获上海市科技进步一等奖;2、1996年优质可调谐激光晶体掺钛蓝宝石的研制获国家科技进步二等奖。该项研究现处于小批量生产阶段,氮化镓是继硅单晶之后,人类所发现的最重要的新材料,其市场刚刚启动,1998年市场销售额年5亿美元,1999年9亿美元,目前每年正以40%的速度迅速增加。它所需要的蓝宝石衬底,将以同样的增速发展,市场前景十分可观。效益分析与预测：仅氮化物半导体所需衬底材料,每年约需100万片(φ50X0.4mm),1999年市场销售额0.6亿美元;2000年1亿美元。已取得的经济和社会效益：自“九五”立项以来,实验室阶段：向美国、日本、法国、以色列等国家和地区出口钛宝石激光棒100多根和蓝宝石晶体。出口创汇20多万美元,国内创汇30万人民币。成为继美国之后能提供实用化优质大尺寸蓝宝石晶体的国家,代表了我国在此领域的地位和水平。
【成果类别】 应用技术
【成果水平】
【研究起止时间】
【评价形式】
【成果入库时间】 2004
http://dbpub.cnki.net/Grid2008/d ... Bs0frGVKrifZuVuFyg=
【第一完成单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【关键词】 晶体生长;衬底材料;大尺寸晶体;蓝宝石;温度梯度法
【中图分类号】 TQ164.2;O782.9
【学科分类号】 140.50;530.34
【成果简介】 蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达Φ115×80mm^3的大尺寸优质蓝宝石晶体,晶体外形完整,等径部位不开裂。分析比较了不同纯度的Al_2O_3原料对晶体质量的影响。建立了特殊的高温退火装置,耐火温度>1600℃。通过以上工艺,已经成功地解决了蓝宝石晶体的着色现象,并极大地减小了晶体的光吸收。较好地解决了大尺寸蓝宝石晶体的加工问题,面形精度获得明显提高。该项目生产出的蓝宝石晶体具有国际领先水平,标准化蓝宝石衬底φ50×0.4mm已达到产业化水平,更大尺寸(第二代和第三代)的蓝宝石衬底和特殊要求的钛宝石晶体正在发展之中。目前四英寸蓝宝石晶体的研制取得以下研究成果：1、稳定生长尺寸≥Φ120×80mm的优质Al_2O_3晶体,成品率≥80%。2、大面积光学均匀性Δn<10^(-5);光损耗<10^(-4)/cm;3．位错密度：≤5×l0^2/ m^2;双晶衍射摇摆曲线：FWHM≤20";4．美国 LIGO工程对于该研究小组生长的大尺寸蓝宝石晶体Φ110×80mm进行了1064nm处的弱吸收测试,结果：吸收系数为35－65pp/cm,优于美国 CRYSTAL SYSTEM Inc.(CSI)公司提供的样品(80ppm/cm)通过改进生长工艺,建立更合适的温度梯度,有效地提高了蓝宝石晶体的光学均匀性,PV值达17nm,优于美国CSI公司的30nm。5、已向美国国家自然科学基金委重大项目LIGO计划提供大尺寸蓝宝石晶体样品,并己提出了第二期研究计划。6．向国内从事GaN的研究单位提供各类蓝宝石衬底基片100多片。7、将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。评价情况：该成果于2000年1月通过上海市科委验收,达国际先进水平。成果专利情况：1、一种耐高温的温梯法生长装置[专利号：85100534.9(发明)];2、垂直温梯法生长铝酸锂和镓酸锂晶体[申请号：97106255.2(发明)]。成果获奖情况：1、1993年掺钛蓝宝石可调谐激光晶体获上海市科技进步一等奖;2、1996年优质可调谐激光晶体掺钛蓝宝石的研制获国家科技进步二等奖。该项研究现处于小批量生产阶段,氮化镓是继硅单晶之后,人类所发现的最重要的新材料,其市场刚刚启动,1998年市场销售额年5亿美元,1999年9亿美元,目前每年正以40%的速度迅速增加。它所需要的蓝宝石衬底,将以同样的增速发展,市场前景十分可观。效益分析与预测：仅氮化物半导体所需衬底材料,每年约需100万片(φ50X0.4mm),1999年市场销售额0.6亿美元;2000年1亿美元。已取得的经济和社会效益：自“九五”立项以来,实验室阶段：向美国、日本、法国、以色列等国家和地区出口钛宝石激光棒100多根和蓝宝石晶体。出口创汇20多万美元,国内创汇30万人民币。成为继美国之后能提供实用化优质大尺寸蓝宝石晶体的国家,代表了我国在此领域的地位和水平。
【成果类别】 应用技术
【成果水平】
【研究起止时间】
【评价形式】
【成果入库时间】 2004
1.该成果于2000年1月通过上海市科委验收,达国际先进水平。
2.【成果入库时间】 2004
3.将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。
应该早已经是完成时.
2.【成果入库时间】 2004
3.将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。
应该早已经是完成时.
TG的激光技术一直很牛X
不明觉历！
卫星反卫，这下某个亚洲领袖国家又得抖一抖了。
得，今儿中午还有个问的，下午就有人瞌睡递枕头了