我国企业研制成功2英寸37片GaN基MOCVD

http://www.coema.org.cn/oenews/product/20120508/103557.html

    从中国光学光电子行业协会光电器件分会第六届理事会第七次会议上了解到，南昌黄绿照明有限公司成功研制出自主知识产权的生产型MOCVD设备。黄绿照明公司依托南昌大学、国家硅基LED工程技术研究中心，经过近一年的努力，研制成功2英寸(硅衬底/蓝宝石衬底/碳化硅衬底)37片GaN基MOCVD。该设备具有自主创新的气体输运系统，较进口机具有材料生长时间短，原材料消耗少等特点。黄绿照明公司将实行较钥匙工程，保证客户芯片工艺制造水平达到冷白光110流明/瓦以上。

　据悉，黄绿照明公司、国家硅基LED工程技术研究中心将在做好第一代设备在线生产使用的基础上，积极开发下一代MOCVD设备，为中国LED照明产业的可持续发展做贡献。

    南昌黄绿照明有限公司以“国家硅基LED工程技术研究中心”为技术依托，主要从事 LED专用MOCVD 装备的研发、生产和销售以及LED外延片、芯片、器件及其应用产品的研发、生产和销售等（主要是高亮度黄、绿光LED外延芯片制造技术，故取名为黄绿公司）。其目标是在未来几年内建成具有国际水准的MOCVD装备制造基地和LED工程中心。

MOCVD设备市场情况

设备供应商概况

    目前国际上主要的MOCVD设备（LED bulb）供应商有两家：

① 德国AIXTRON公司(德国艾思强公司)

根据Gartner Dataquest最近的一份分析报告，2008年AIXTRON公司MOCVD复合半导体设备的全球占有率达到72%。

目前，AIXTRON公司最先进的独特的行星转盘技术应用在大型G4 2800HT 42*2”以及Thomas Swan(1999年被AIXTRON收购) CCS Crius 30*2” MOCVD系统，使得AIXTRON的MOCVD设备被公认为世界上技术和商业价值最完美的结合。

② 美国VEECO公司

美国维易科精密仪器有限公司占20%以上，其中主打机型45片机K465已经销售超过100台，至今K系列MOCVD产品全球销售超过200台。80%的世界顶尖LED企业已经采用K465型号的MOCVD，截止到目前，VEECO于中国地区大有斩获，累计MOCVD出货已达85台。

VEECO的MOCVD主要有以下优势：

首先，它是量产型机器，能有效提高量产的时间，减少清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达1000摄氏度的温度冷却后清洗，然后再将温度升高至1000摄氏度，需要浪费不少的时间。

第二，自动化程度高，减少人为操作。例如可自动化导入，机械手在生产完成后可自动更换蓝宝石等，属于量产型的设计。

第三，保护设备投资，防止落伍。避免将来由于新的设备出现，造成旧设备的落伍。通过计划与客户充分沟通，新的设备与旧的设备联系在一起，提升产品的良率。

今年以来由于MOCVD机台供不应求的状况，使得VEECO在这段期间取得了相对有利的市场地位，尤其在中国市场大有斩获。中国地区的成长相较去年成长将近80%。根据了解，由于VEECO开始透过委外代工来增加产能，目前产能规模直追产业龙头AIXTRON，因此明年MOCVD机台供给不足的瓶颈将可望获得解决。

③ 其他厂家

主要包括日本酸素(NIPPON Sanso)和日新电机(Nissin Electric)等，其市场基本限于日本国内。此外，日亚公司和丰田合成的设备主要是自己研发，其GaN-MOCVD 设备不在市场上销售，仅供自用。

从设备性能上来讲，日亚公司设备生产的材料质量和器件性能上，要优于AIXTRON和EMCORE(已经被VEECO收购)的设备。

按生产能力计算，2006 年GaN型MOCVD 设备在全球市场的主要分布为：中国台湾地区48%，美国15%，日本15%，韩国11%，中国大陆7%，欧盟4%。MOCVD的主要厂商虽然为欧美，但最大的两家AIXTRON 和VEECO 都是单纯设备制造商，不会对外延片生产厂构成威胁。http://www.coema.org.cn/oenews/product/20120508/103557.html

    从中国光学光电子行业协会光电器件分会第六届理事会第七次会议上了解到，南昌黄绿照明有限公司成功研制出自主知识产权的生产型MOCVD设备。黄绿照明公司依托南昌大学、国家硅基LED工程技术研究中心，经过近一年的努力，研制成功2英寸(硅衬底/蓝宝石衬底/碳化硅衬底)37片GaN基MOCVD。该设备具有自主创新的气体输运系统，较进口机具有材料生长时间短，原材料消耗少等特点。黄绿照明公司将实行较钥匙工程，保证客户芯片工艺制造水平达到冷白光110流明/瓦以上。

　据悉，黄绿照明公司、国家硅基LED工程技术研究中心将在做好第一代设备在线生产使用的基础上，积极开发下一代MOCVD设备，为中国LED照明产业的可持续发展做贡献。

    南昌黄绿照明有限公司以“国家硅基LED工程技术研究中心”为技术依托，主要从事 LED专用MOCVD 装备的研发、生产和销售以及LED外延片、芯片、器件及其应用产品的研发、生产和销售等（主要是高亮度黄、绿光LED外延芯片制造技术，故取名为黄绿公司）。其目标是在未来几年内建成具有国际水准的MOCVD装备制造基地和LED工程中心。

MOCVD设备市场情况

设备供应商概况

    目前国际上主要的MOCVD设备（LED bulb）供应商有两家：

① 德国AIXTRON公司(德国艾思强公司)

根据Gartner Dataquest最近的一份分析报告，2008年AIXTRON公司MOCVD复合半导体设备的全球占有率达到72%。

目前，AIXTRON公司最先进的独特的行星转盘技术应用在大型G4 2800HT 42*2”以及Thomas Swan(1999年被AIXTRON收购) CCS Crius 30*2” MOCVD系统，使得AIXTRON的MOCVD设备被公认为世界上技术和商业价值最完美的结合。

② 美国VEECO公司

美国维易科精密仪器有限公司占20%以上，其中主打机型45片机K465已经销售超过100台，至今K系列MOCVD产品全球销售超过200台。80%的世界顶尖LED企业已经采用K465型号的MOCVD，截止到目前，VEECO于中国地区大有斩获，累计MOCVD出货已达85台。

VEECO的MOCVD主要有以下优势：

首先，它是量产型机器，能有效提高量产的时间，减少清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达1000摄氏度的温度冷却后清洗，然后再将温度升高至1000摄氏度，需要浪费不少的时间。

第二，自动化程度高，减少人为操作。例如可自动化导入，机械手在生产完成后可自动更换蓝宝石等，属于量产型的设计。

第三，保护设备投资，防止落伍。避免将来由于新的设备出现，造成旧设备的落伍。通过计划与客户充分沟通，新的设备与旧的设备联系在一起，提升产品的良率。

今年以来由于MOCVD机台供不应求的状况，使得VEECO在这段期间取得了相对有利的市场地位，尤其在中国市场大有斩获。中国地区的成长相较去年成长将近80%。根据了解，由于VEECO开始透过委外代工来增加产能，目前产能规模直追产业龙头AIXTRON，因此明年MOCVD机台供给不足的瓶颈将可望获得解决。

③ 其他厂家

主要包括日本酸素(NIPPON Sanso)和日新电机(Nissin Electric)等，其市场基本限于日本国内。此外，日亚公司和丰田合成的设备主要是自己研发，其GaN-MOCVD 设备不在市场上销售，仅供自用。

从设备性能上来讲，日亚公司设备生产的材料质量和器件性能上，要优于AIXTRON和EMCORE(已经被VEECO收购)的设备。

按生产能力计算，2006 年GaN型MOCVD 设备在全球市场的主要分布为：中国台湾地区48%，美国15%，日本15%，韩国11%，中国大陆7%，欧盟4%。MOCVD的主要厂商虽然为欧美，但最大的两家AIXTRON 和VEECO 都是单纯设备制造商，不会对外延片生产厂构成威胁。