超级军网深紫外固态激光源的疑问
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/20 08:24:21
我国研制的深紫外固态激光源能否替代目前光刻机所采用的ArF(氟化氩)光源？我国研制的深紫外固态激光源能否替代目前光刻机所采用的ArF(氟化氩)光源？
能替换早有人用了...
不是同一类东西吧。
下带是极紫外光刻机，波长应该比这个还要短
下带是极紫外光刻机，波长应该比这个还要短
11510 发表于 2011-10-30 13:59 ![]()
下带是极紫外光刻机，波长应该比这个还要短
那个好像是13.4nm
下带是极紫外光刻机，波长应该比这个还要短
那个好像是13.4nm
不能替代的话就不会大肆宣传了！个人感觉应该不久就会有运用这个光源的光刻机了吧？
期待！
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