国产半导体设备研发亮点

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2020/11/24 23:13:20
http://info.ledgb.com/detail-a42-65433.html


上海微电子装备:


  封装光刻机目前已经在生产线中应用。


  北方微电子:


  2005年9月第一台8英寸100纳米等离子刻蚀机进入中芯国际,2007年又分别销售给上海华虹NEC和上海宏力半导体公司,通过四五年的运行,已验证其优越的工艺性能和稳定可靠的设备能力。2008年第一台12英寸90纳米等离子刻蚀机进入北京中芯国际,2010年5月12英寸65纳米等离子刻蚀机进入中芯国际。


  北方微电子公司的8英寸100纳米等离子刻蚀机、12英寸65纳米等离子刻蚀机、晶硅太阳能平板PECVD设备、LED大产能ICP刻蚀机先后进入国内主流大生产线,


  中微半导体:


  12英寸90nm~65nm介质刻蚀机目前已经可以延伸到45nm~32nm的数量级,已进入国际市场,在亚洲5条生产线上成功投入使用。下一代产品也会很快进入市场。


  盛美半导体:


  上海的盛美半导体公司的清洗设备也已经进入韩国市场。目前盛美半导体采用的兆声波技术,能够在12英寸硅片上实现兆声波能量均匀度为2%,在无损伤条件下,颗粒清除效率(PRE)达到了世界领先的99%.


  格兰达:


  激光打标机已经分别在两家验证单位通过了验收,并且已经完全投入到量产中。http://info.ledgb.com/detail-a42-65433.html


上海微电子装备:


  封装光刻机目前已经在生产线中应用。


  北方微电子:


  2005年9月第一台8英寸100纳米等离子刻蚀机进入中芯国际,2007年又分别销售给上海华虹NEC和上海宏力半导体公司,通过四五年的运行,已验证其优越的工艺性能和稳定可靠的设备能力。2008年第一台12英寸90纳米等离子刻蚀机进入北京中芯国际,2010年5月12英寸65纳米等离子刻蚀机进入中芯国际。


  北方微电子公司的8英寸100纳米等离子刻蚀机、12英寸65纳米等离子刻蚀机、晶硅太阳能平板PECVD设备、LED大产能ICP刻蚀机先后进入国内主流大生产线,


  中微半导体:


  12英寸90nm~65nm介质刻蚀机目前已经可以延伸到45nm~32nm的数量级,已进入国际市场,在亚洲5条生产线上成功投入使用。下一代产品也会很快进入市场。


  盛美半导体:


  上海的盛美半导体公司的清洗设备也已经进入韩国市场。目前盛美半导体采用的兆声波技术,能够在12英寸硅片上实现兆声波能量均匀度为2%,在无损伤条件下,颗粒清除效率(PRE)达到了世界领先的99%.


  格兰达:


  激光打标机已经分别在两家验证单位通过了验收,并且已经完全投入到量产中。
中微创业路
作者:董红 (ddong@semi.org)

看过电影《阿凡达》的人很少有人记得住电影情节,但其恢宏的场面、丰富的想象却让观众很难忘怀,而这些离不开电脑制作的功劳,电脑又离不开具有高速运算、存储等功能的IC芯片。从事IC关键设备研发与制造的中微半导体设备(上海)有限公司董事长、CEO尹志尧博士看了电影《阿凡达》后更觉得自己所从事的事业很有意义。

两年前笔者就试图采访尹志尧,但一直被他婉言谢绝,用他自己的话讲:“人怕出名,猪怕壮”,他一直认为,中微的创办靠的是团队和大家的共同努力,而不是靠一个人的力量。而且一旦将个人的经历写到杂志上,他会觉得压力大、负担重。

与现在的年轻人相比,尹志尧没有那么幸运。36岁在改革开放初期,离开中国去美国加州大学洛杉矶分校攻读博士学位,40岁拿到物理化学博士学位。在随后的20年里,尹志尧一直在美国硅谷工作,从Intel的中心技术发展部门做电浆蚀刻工作,后转到Lam Research从事技术产品发展,负责开发了后来广为应用的彩虹等离子体刻蚀设备和最初的电感耦合的等离子体源。1991年,尹志尧加入Applied Materials负责开发多种等离子体刻蚀设备和市场的引入。在Applied Materials尹志尧一直做到总公司副总裁和等离子体刻蚀产品事业群总经理的位置。

按常理,一个中国人奋斗到作为年销售量100亿美元、全球领先的设备公司全球副总裁的位置已相当不易,完全可以在这个位置上告老还乡了,可是尹志尧却在60岁的时候,选择离开美国,回国创业的艰难道路。

60岁,已远远过了创业的最佳年龄,但尹志尧认为,半导体设备行业需要多学科综合技能的支持,并且要熟悉产品,熟悉市场,甚至要熟悉零备件供应商。尹志尧认为:“将整套设备设计并生产出来,成功地推向市场,通过营运达到收支平衡,最后达到盈利的目的,不是一件容易的事情,没有足够的经验积累,根本做不成。”张忠谋55 岁创业,中国的很多领导人近70岁还在为国家操劳,自己还年富力强,应该继续为产业发展做贡献。

凭借20年在硅谷的经验积累,2004年尹志尧回国与他的十七人的创业团队共同在上海创办了中微半导体设备(上海)有限公司。这个创业团队中多数的创始人在美国硅谷工作了十几年到二十几年,有开发产品和将产品引入市场的实战经验。这个团队人才济济,不仅包括技术工程专家,还包括销售、市场专家。如毕业于麻省理工的杜志游博士,现在负责中微所有产品的管理、开发和生产;在硅谷具有十几年化学薄膜设备研发经验的陈爱华博士,负责薄膜设备的开发;在硅谷的多个设备公司工作了二十多年的钱学煜博士、麦士义博士,及工作了十几年的倪图强博士,负责等离子体刻蚀的技术开发、产品管理和市场开发……在后来的五年中,中微又陆续招聘了七十多位、来自八个国家、在国际半导体设备行业资深的中高级技术及管理人才,并在国内招聘了更多年轻有为的技术和管理人才。

至于为什么选择在上海创业,中微的创业团队自有他们的考虑。从半导体工业发展趋势来看,近20年来半导体制造逐渐从美国向亚洲转移,进入2000年以后,70%的新生产线都是建在亚洲,半导体制造中心无疑已经转移到了亚洲。至于为什么IC制造转移到亚洲,很多人认为是成本和市场使然,但尹志尧却不这样认为。在他看来,亚洲人的教育和文化决定了IC 制造业最终一定要转移到亚洲。“亚洲的教育是一种训练有素的教育,亚洲的文化重在中心控制的有纪律的文化。而芯片生产是世界上最复杂的工艺过程,要在上百步的精细加工中,造出比人的头发丝小几千倍的微观结构,需要极好的耐心和极高的纪律性,每个步骤都要严格按照章法去做事,每一个步骤都要保证质量才能有最后的收益,所以亚洲人有得天独厚的优势。”尹志尧认为,西方教育强调的是 “个人意识”和“创新”,亚洲的教育强调的是“集体行动”和“循规”,这是亚洲有广大的潜在市场和低成本等优势之上最重要的原因。“随着芯片制造业向亚洲转移,设备供应商如果不能把基地放在亚洲,更接近用户的话,就很难了解客户的真正需求。”尹志尧强调说:“设备供应商将研发、销售、服务的基地,随着芯片生产中心的转移从西方转移到亚洲,是历史的必然趋势。”

促使中微创业团队回国创业的另一个原因是看到中国改革开放30年来巨大的变化,以及政府对发展高科技产业的支持力度和各种优惠政策。特别是长三角地区作为中国制造业的中心,上海政府和浦东政府对高科技企业的大力支持,造成创业的很好条件,最终促使中微落户在上海浦东。

2004年,在上海市和美国十个一流风投的资金支持下,由17名创始人共同创办的中微半导体设备(上海)有限公司正式启动。最初是在张江牛顿路上的一个办公楼里,办公面积加起来不足500平米,同年9月就开始了设备的设计与研发。一年后,中微搬到设在浦东金桥出口加工区的现在的厂区,开始第一台设备样机的组装。

中微创办之初是选择了两个产品一起开发──12英寸介质等离子体刻蚀设备和高压化学气相沉积设备。当时的考虑是将公司的命运全部押在一个产品上风险太大,一旦出现意外,没有其他退路,而同时开发两个产品,成功的几率增加一倍,而研发费用只增加了20-30%。当后来产品进入市场时,果然不出所料,12英寸介质刻蚀设备推向市场势头很好,而CVD设备却遇到一些问题,再加上当时受金融危机的冲击,在资金有限的前提下,公司当机立断停掉了CVD产品。

对于初创公司来说,最重要的是人,即核心团队。这个团队必须具有相当的经验与能力,不仅能够研发和生产出产品,还应该知道如何打市场,同时创业的决心与信念要一致,只有这样才能在遇到困难时同舟共济。

有了人还不够,还需要源源不断的资金来维持企业达到“收支平衡”前的正常运作。当初筹集的启动资金使中微能够有了一个产品的设计方案和完整的商业计划,随后的设备开发、生产,以及推向市场方方面面的费用从哪里募集?资金来源无外乎两个渠道:国内和国际投资,而当时国内风险投资机制还没有形成,融到大笔国内投资的可能性不大,所以中微选择了争取国际投资。经过两、三期的募集,共有10家风投给中微投资,其中包括高盛、华登国际、光速、红点等国际一流的风投,还有一些跨国公司的投资部,如高通、三星和KLA-Tencor等也纷纷投资。经过几期的融资,中微有了充足的资金开始运作,产品样机出来后打入市场,引起了国内投资公司和政府的关注,来自国内的投资也开始涌入,中微有了更多的资金去开发海外市场。到目前为止,中微已获得包括股权投资、贷款在内的2 亿多美元的资金。

尽管在构建核心团队和融资方面中微十分幸运,但随后遇到的种种困难却是尹志尧和他的团队始料未及的。由于半导体设备业的特殊性,一家初创公司从一张白纸做到能够在行业里站稳脚跟,再到收支平衡,甚至盈利,整个过程一般需要七到十年左右,而风险投资的耐心是有限的。这之间的矛盾如何解决?公司如何在发展中期保证有足够的资金继续发展?摆在尹志尧和他的创业团队面前的困难极富挑战。“只有尽快拿到客户的订单,尽快达到收支平衡,才能最终解决这一矛盾。” 尹志尧表示。


另一个困难是产品推向市场时的准入门槛。半导体设备业有一个特点,每一种关键设备供应商最多不会超过三家,这些成熟的设备商一般资金雄厚,销售渠道和服务网络遍布全球各主要IC生产基地,他们要推出一个新产品相对比较容易。而新公司情况就完全不同,客户对一家新公司的长期稳定性会产生怀疑,对未经量产验证的新产品更是怀疑,这种情况下让客户接受你的产品非常困难,准入门槛相当高。“在这种情况下,你必须用数据和产品性能来说服每一个客户不同层面、不同部门的相关人员,获得包括产品部、研发部、采购部、甚至法律部等的一致认可,才有可能让这家公司接受新公司的新产品。”尹志尧表示,由于中微的设备“Made in China”,一些国外客户习惯性地对设备的质量和性能产生担心,再加上地域性的保护策略,给中微的设备推向市场造成相当困扰。

当中微克服种种困难将设备渐渐推向国际市场之际,席卷全球的金融危机使尹志尧和他的团队措手不及。2009年半导体设备销售达到20年最低点,再加上竞争对手在中微产品进入市场时,以法律诉讼的方式,希望阻止中微的产品进入。“2009年是中微最困难的时期,”尹志尧坦言,所幸中微的等离子体刻蚀设备在设计和性能上有独到之处,不少客户还是继续接受中微产品,使中微度过了难关。由于采用甚高频、去耦合的反应离子刻蚀技术,及双芯片反应器设计,芯片加工结果好,重复性高,比一般单芯片反应器效率提高35%,成本也降低了35%,得到了客户很好的评价。“从多次的客户芯片测试证明,中微的介质等离子体刻蚀设备不但可加工65纳米到45纳米的芯片,在加工35纳米的芯片上也取得了很好的结果。”尹志尧自豪地表示。

不同于以往的本土设备公司,中微从创办之初就制定了全球性战略。从人才到融资,再到销售网络,无不体现其全球化战略。“我们在亚洲的各个分支机构都是聘请当地最能干的销售和技术人员,这对我们打开海外市场很有帮助。”据尹志尧介绍,目前中微的等离子体刻蚀设备已经进入了中国大陆、中国台湾和新加坡等五家芯片生产厂,而且开始拿到重复性订单。在台湾已在生产线上整整运转了一年多,已经加工了二十万片12英寸芯片,设备可加工时间达到94%以上,性能非常稳定。

中微创办五年以来,让尹志尧满意的不仅仅是产品进入市场的初步成功,更让他满意的是在平衡各个利益集团、使各利益集团多赢的商业模式。“当你做一件事情时要考虑有多少个利益集团会参与,他们希望得到什么回报,更多的人得到满意的回报,就会有更多的人支持中微,中微成功的希望就越大。”尹志尧将创办中微的相关利益集团分为七类:创办人和管理团队、投资人、政府、员工、客户、供应商和各种顾问,其中员工的利益往往最容易被忽略。

凡是参观过中微的人印象最深的除了觉得到处一尘不染以外,就是员工食堂,这里不仅免费为员工提供营养午餐和晚餐,还有肯德基、麦当劳等供员工挑选,需要公共交通的,公司会每天派面包车到家或地铁站接送,员工的私家车也会有公司请的人定期清洗,中微对员工的福利曾令笔者羡慕不已。中微的理念就是,办企业不能只考虑客户和投资人、创办人的利益,七个利益集团在这里份量一样重,绝没有厚此薄彼,投资商、顾客和各国及各地区政府是上帝,雇员也是上帝。“我们一直在努力把握这个平衡,使各个利益集团的积极性都发挥出来,如果七个利益集团都能得到好的回报,他们就会大力支持中微,中微就一定能够成功。”尹志尧强调。

在半导体产业摸爬滚打近30年,经历了产业起起伏伏,凭以往的经验,尹志尧认为设备业的复苏要回到两、三年前产业景气时的水平,还要等两年以后。尹志尧建议中国在发展半导体设备业方面要集中优势兵力打歼灭战,不能将面铺得过宽,只有集中财力、物力、人力在某些领域,才有希望在五到十年内在这些领域有所突破。尹志尧强调。“政府层面应加强政策优惠、人才引进和促进风险投资机制的形成,特别是在产品开发和进入市场方面政府应对本土设备企业和产业链加强政策上的扶持。”
随着产业的复苏,中微将翻开崭新的一页。
1楼关于中微的说法来自尹志尧对记者说的


这个一定要顶一下,这个企业成功了,中国的产业升级之路就会越走越宽!

这个一定要顶一下,这个企业成功了,中国的产业升级之路就会越走越宽!
这个掌握了  小鬼子的苦日子要开始了


思路很好。军队打仗靠的是士兵,企业盈利靠的是员工。
员工和企业真正同心同德,自然能够爆发出惊人的力量。
很多“中国制造”产品质量不行,也应该从这里找找原因。

思路很好。军队打仗靠的是士兵,企业盈利靠的是员工。
员工和企业真正同心同德,自然能够爆发出惊人的力量。
很多“中国制造”产品质量不行,也应该从这里找找原因。
回复 2# LPC2103

尽管在构建核心团队和融资方面中微十分幸运,但随后遇到的种种困难却是尹志尧和他的团队始料未及的。由于半导体设备业的特殊性,一家初创公司从一张白纸做到能够在行业里站稳脚跟,再到收支平衡,甚至盈利,整个过程一般需要七到十年左右,而风险投资的耐心是有限的。这之间的矛盾如何解决?公司如何在发展中期保证有足够的资金继续发展?摆在尹志尧和他的创业团队面前的困难极富挑战。“只有尽快拿到客户的订单,尽快达到收支平衡,才能最终解决这一矛盾。” 尹志尧表示。

这一段话写的很实在啊:D
回复 7# wanghywanghy

另一个困难是产品推向市场时的准入门槛。半导体设备业有一个特点,每一种关键设备供应商最多不会超过三家,这些成熟的设备商一般资金雄厚,销售渠道和服务网络遍布全球各主要IC生产基地,他们要推出一个新产品相对比较容易。而新公司情况就完全不同,客户对一家新公司的长期稳定性会产生怀疑,对未经量产验证的新产品更是怀疑,这种情况下让客户接受你的产品非常困难,准入门槛相当高。“在这种情况下,你必须用数据和产品性能来说服每一个客户不同层面、不同部门的相关人员,获得包括产品部、研发部、采购部、甚至法律部等的一致认可,才有可能让这家公司接受新公司的新产品。”尹志尧表示,由于中微的设备“Made in China”,一些国外客户习惯性地对设备的质量和性能产生担心,再加上地域性的保护策略,给中微的设备推向市场造成相当困扰。

确实很不容易啊,说到点子上了:D
光刻还要进口
时刻关注电子产业发展。LED的 MOCVD还不能生产制造
中微应该可以造出MOCVD,中国买德国的MOCVD是政治安排
尹志尧的手下陈爱华就是做MOCVD的
如果MOCVD做出来,那德国对中国的逆差又变大了,所以,应该说是某种政治安排,又涉及到国家利益交换
我们不推出MOCVD,然后德国向我们转让某种技术
xbiz 发表于 2011-3-16 15:20


    大家都在抢MOCVD蛋糕,个人认为市场行为还是占大头,背后的政治交换倒真不一定有:满足了德国人,瑞士人要不要满足?满足了瑞士人,美国人要不要满足……