一点国产半导体设备的消息

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/03/29 21:42:49
<br /><br />国产半导体制程设备--------光刻机进入央企  
【2010-1-4】 【阅读:112次】  
     2009年  11 月 10 日,由芯硕半导体(中国)有限公司研发制造的某款光刻设备顺利运抵中电集团。中电系统是我国特大型企业集团,主要从事国家军用大型电子信息系统工程建设、重大装备、通信和电子设备、软件和关键原器件的研制生产,是中国电子信息产业的中坚力量。本次合作达成标志着半导体核心设备的国产化工作正式拉开帷幕。

http://www.advantools.com.cn/newsd.shtm?id=718

芯硕搞的是无掩膜光刻机, 非主流.  谁知道SMEE100NM光刻机近况? 今年能在FAB试验用吗?<meta http-equiv="refresh" content="0; url=http://sdw.cc">
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     2009年  11 月 10 日,由芯硕半导体(中国)有限公司研发制造的某款光刻设备顺利运抵中电集团。中电系统是我国特大型企业集团,主要从事国家军用大型电子信息系统工程建设、重大装备、通信和电子设备、软件和关键原器件的研制生产,是中国电子信息产业的中坚力量。本次合作达成标志着半导体核心设备的国产化工作正式拉开帷幕。

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现在的光刻工艺还是那种用光刻胶感光、化学酸洗蚀刻那种工艺吗
好啊,中国的it制造商要加油啊
micshang 发表于 2010-1-16 12:05


    是的...
半导体核心设备的国产化
核心设备还没有国产化吗,原来在半导体厂时(9X年)记得氧化扩散烧结炉、电子束蒸发台溅射台、光刻机还都是进口设备,现在还不能国产吗?那么大规模集成电路制造所需设备是不是还都是进口的居多?
回复 5# micshang


    核心设备光刻,扩散,植入基本都是国外的。。而且就那么几家能做,国内的多是些清洗设备。。这个方面 差距实在。。。
还是信不过合肥!:dizzy:
无掩膜?难道是电子束直刻?
离开半导体这行多年了,现在国内做器件的一般用几寸的晶片了?九几年时我厂当时还用3寸的片子呢。
芯硕的这设备能国产化吗