超级军网我国有了光刻机核心技术
来源：百度文库 编辑：超级军网 时间：2024/04/18 09:48:41
科技日报北京5月13日电 （记者林莉君）对于普通人来说，光刻机或许是一个陌生的名词，但它却是制造大规模集成电路的核心装备，每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造。记者13日从清华大学获悉，国家科技重大专项“光刻机双工件台系统样机研发”通过验收，使我国成为少数能研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一。
“简单地说，光刻机就是把工程师的设计‘印入’基底材料，其核心技术长期被荷兰、日本、德国等把持。”“千人计划”专家、从事密码芯片研发的九州华兴集成电路设计公司首席科学家丁丹在接受科技日报记者采访时说，“我们研发的芯片投入生产时，130纳米的芯片开模就是120万元人民币，而28纳米的芯片开模费用高达上千万元人民币。”
据介绍，为了将设计图形制作到硅片上，并在2—3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2纳米（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。因此光刻机双工件台又被称为“超精密技术皇冠上的明珠”。
专家组认为，历经5年攻关，研究团队研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台水平，并获得专利授权122项，为后续产品研发和产业化打下了坚实基础。
http://digitalpaper.stdaily.com/ ... t_338856.htm?div=-1
科技日报北京5月13日电 （记者林莉君）对于普通人来说，光刻机或许是一个陌生的名词，但它却是制造大规模集成电路的核心装备，每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造。记者13日从清华大学获悉，国家科技重大专项“光刻机双工件台系统样机研发”通过验收，使我国成为少数能研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一。
“简单地说，光刻机就是把工程师的设计‘印入’基底材料，其核心技术长期被荷兰、日本、德国等把持。”“千人计划”专家、从事密码芯片研发的九州华兴集成电路设计公司首席科学家丁丹在接受科技日报记者采访时说，“我们研发的芯片投入生产时，130纳米的芯片开模就是120万元人民币，而28纳米的芯片开模费用高达上千万元人民币。”
据介绍，为了将设计图形制作到硅片上，并在2—3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2纳米（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。因此光刻机双工件台又被称为“超精密技术皇冠上的明珠”。
专家组认为，历经5年攻关，研究团队研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台水平，并获得专利授权122项，为后续产品研发和产业化打下了坚实基础。
http://digitalpaper.stdaily.com/ ... t_338856.htm?div=-1
“简单地说，光刻机就是把工程师的设计‘印入’基底材料，其核心技术长期被荷兰、日本、德国等把持。”“千人计划”专家、从事密码芯片研发的九州华兴集成电路设计公司首席科学家丁丹在接受科技日报记者采访时说，“我们研发的芯片投入生产时，130纳米的芯片开模就是120万元人民币，而28纳米的芯片开模费用高达上千万元人民币。”
据介绍，为了将设计图形制作到硅片上，并在2—3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2纳米（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。因此光刻机双工件台又被称为“超精密技术皇冠上的明珠”。
专家组认为，历经5年攻关，研究团队研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台水平，并获得专利授权122项，为后续产品研发和产业化打下了坚实基础。
http://digitalpaper.stdaily.com/ ... t_338856.htm?div=-1
科技日报北京5月13日电 （记者林莉君）对于普通人来说，光刻机或许是一个陌生的名词，但它却是制造大规模集成电路的核心装备，每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造。记者13日从清华大学获悉，国家科技重大专项“光刻机双工件台系统样机研发”通过验收，使我国成为少数能研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一。
“简单地说，光刻机就是把工程师的设计‘印入’基底材料，其核心技术长期被荷兰、日本、德国等把持。”“千人计划”专家、从事密码芯片研发的九州华兴集成电路设计公司首席科学家丁丹在接受科技日报记者采访时说，“我们研发的芯片投入生产时，130纳米的芯片开模就是120万元人民币，而28纳米的芯片开模费用高达上千万元人民币。”
据介绍，为了将设计图形制作到硅片上，并在2—3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2纳米（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。因此光刻机双工件台又被称为“超精密技术皇冠上的明珠”。
专家组认为，历经5年攻关，研究团队研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台水平，并获得专利授权122项，为后续产品研发和产业化打下了坚实基础。
http://digitalpaper.stdaily.com/ ... t_338856.htm?div=-1
平面电机、微动台、超精密测量、超精密运动控制、系统动力学分析、先进工程材料制备及应用等若干关键技术，攻克了光刻机工件台系统设计和集成技术。
实验室里做几台不难，难是的如何在工厂里规模应用，如何让工厂相信这东西可以用。
工厂对良率、稳定的要求极高。
工厂对良率、稳定的要求极高。
实验室做几台也非常难！当然实验室的东西产业化也很难！
实验室里做几台不难，难是的如何在工厂里规模应用，如何让工厂相信这东西可以用。
工厂对良率、稳定的要 ...
从无到有，只要有耐心总会追上世界先进水平的。
工厂对良率、稳定的要 ...
从无到有，只要有耐心总会追上世界先进水平的。
浮岛 发表于 2016-5-14 14:48
从无到有，只要有耐心总会追上世界先进水平的。
我觉得，这种要求高度精密+高度稳定的机器，不大适合目前的大陆机构、公司来做。
从无到有，只要有耐心总会追上世界先进水平的。
我觉得，这种要求高度精密+高度稳定的机器，不大适合目前的大陆机构、公司来做。
ehnd20 发表于 2016-5-14 14:52
我觉得，这种要求高度精密+高度稳定的机器，不大适合目前的大陆机构、公司来做。
这是为什么？国内的企业制作高精密的产品多了去了，为什么这个不行。国内做的纳米级精度产品很多，这个为什么不行。
超高精度机床，如果不相信国产的，可以进口。最高等级的无尘，恒温车间国内都有。无论是操作，还是组装的技术工人也不缺。材料大部分国内都可以做，极个别的可以进口。还缺什么呢？千万别说是缺工匠精神这么抽象的东西。
我觉得，这种要求高度精密+高度稳定的机器，不大适合目前的大陆机构、公司来做。
这是为什么？国内的企业制作高精密的产品多了去了，为什么这个不行。国内做的纳米级精度产品很多，这个为什么不行。
超高精度机床，如果不相信国产的，可以进口。最高等级的无尘，恒温车间国内都有。无论是操作，还是组装的技术工人也不缺。材料大部分国内都可以做，极个别的可以进口。还缺什么呢？千万别说是缺工匠精神这么抽象的东西。
泰国刀削面 发表于 2016-5-14 15:07
这是为什么？国内的企业制作高精密的产品多了去了，为什么这个不行。国内做的纳米级精度产品很多，这个为 ...
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大可能把产品天天做好。。。
这是为什么？国内的企业制作高精密的产品多了去了，为什么这个不行。国内做的纳米级精度产品很多，这个为 ...
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大可能把产品天天做好。。。
按某人的理論只要是印度人做的就行
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:09
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
别动不动就扯中国人如何如何，你的层次还差的太远
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
别动不动就扯中国人如何如何，你的层次还差的太远
目前就是能赚一笔是一笔
那明天怎么办？
明天？想那么远干什么 谁知道明天又换什么特色什么主义了
那明天怎么办？
明天？想那么远干什么 谁知道明天又换什么特色什么主义了
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:09
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。
superdirex 发表于 2016-5-14 15:17
别动不动就扯中国人如何如何，你的层次还差的太远
中国企业，有一些通病：
1、竞争方式偏激。
宁可抱着对方一起死，也不放手。
一个产品，价格总是不断下降的，利润会不断降低，有的企业，会通过研发，寻找更高科技、更高利润率的产品，甚至放弃低利的产品，卖掉相关的产业。
中国企业，大都不断地降成本，降价格，没有钱做研发，与对手拼消耗，没利也要做，甚至就赚点自己国家的补贴，甚至算上了补贴，仍然巨亏也要继续拼下去。质量，当然只能越做越差。。。
典型例子：比如那些做电视机的。。。亏成那样，还不如把厂关掉，全厂员工白拿工资奖金呢。。。
2、价格战
中国企业大都不喜欢技术战，就喜欢价格战，你低我更低，跟对手拼命，成本不断地降降降，降到亏损了，还要继续坚持降价，研发？哪来的钱啊。。。提高质量？开玩笑，每一分钱成本都要再想办法降下去，天天就想着再多降几块钱成本，质量怎么提高？
superdirex 发表于 2016-5-14 15:17
别动不动就扯中国人如何如何，你的层次还差的太远
中国企业，有一些通病：
1、竞争方式偏激。
宁可抱着对方一起死，也不放手。
一个产品，价格总是不断下降的，利润会不断降低，有的企业，会通过研发，寻找更高科技、更高利润率的产品，甚至放弃低利的产品，卖掉相关的产业。
中国企业，大都不断地降成本，降价格，没有钱做研发，与对手拼消耗，没利也要做，甚至就赚点自己国家的补贴，甚至算上了补贴，仍然巨亏也要继续拼下去。质量，当然只能越做越差。。。
典型例子：比如那些做电视机的。。。亏成那样，还不如把厂关掉，全厂员工白拿工资奖金呢。。。
2、价格战
中国企业大都不喜欢技术战，就喜欢价格战，你低我更低，跟对手拼命，成本不断地降降降，降到亏损了，还要继续坚持降价，研发？哪来的钱啊。。。提高质量？开玩笑，每一分钱成本都要再想办法降下去，天天就想着再多降几块钱成本，质量怎么提高？
我觉得，这种要求高度精密+高度稳定的机器，不大适合目前的大陆机构、公司来做。
那永远都不会做
那永远都不会做
superth 发表于 2016-5-14 15:25
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。
既然你了解、接触过世界领先的，那就说几个例子呗，不应该是国家机密吧。。。
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。
既然你了解、接触过世界领先的，那就说几个例子呗，不应该是国家机密吧。。。
α样机之后还要开发β样机和γ样机
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:09
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
这可新鲜了。全国每天跑的几千列高铁，每家每户用的各种家电，几亿只手机，难道都不是中国人做的？难道都是次品？
有价格战，但不是什么产品都打，而且多一半的降价都是因为像你这样戴着有色眼镜的人的偏见造成的。
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
这可新鲜了。全国每天跑的几千列高铁，每家每户用的各种家电，几亿只手机，难道都不是中国人做的？难道都是次品？
有价格战，但不是什么产品都打，而且多一半的降价都是因为像你这样戴着有色眼镜的人的偏见造成的。
既然你了解、接触过世界领先的，那就说几个例子呗，不应该是国家机密吧。。。
那麼你也說說你在那家大公司做高層唄，讓我們見識一下
那麼你也說說你在那家大公司做高層唄，讓我們見識一下
风雨江城 发表于 2016-5-14 15:30
α样机之后还要开发β样机和γ样机
看过你的一些回帖，觉得你对半导体这方面比较懂，有时间可以多介绍一些。
α样机之后还要开发β样机和γ样机
看过你的一些回帖，觉得你对半导体这方面比较懂，有时间可以多介绍一些。
泰国刀削面 发表于 2016-5-14 15:30
这可新鲜了。全国每天跑的几千列高铁，每家每户用的各种家电，几亿只手机，难道都不是中国人做的？难道都 ...
高铁不是竞争，是行政垄断的，铁道部分果果，你分一半，我分一半，现在不用分了，2家厂合并了，一起斗铁路局，哈哈
PS，有过公开报道的，原来合并之前，他们去国外开打价格战，打得那个狠啊，你可以找找看，哈哈
泰国刀削面 发表于 2016-5-14 15:30
这可新鲜了。全国每天跑的几千列高铁，每家每户用的各种家电，几亿只手机，难道都不是中国人做的？难道都 ...
高铁不是竞争，是行政垄断的，铁道部分果果，你分一半，我分一半，现在不用分了，2家厂合并了，一起斗铁路局，哈哈
PS，有过公开报道的，原来合并之前，他们去国外开打价格战，打得那个狠啊，你可以找找看，哈哈
yuen95mod1 发表于 2016-5-14 15:32
那麼你也說說你在那家大公司做高層唄，讓我們見識一下
“superth 发表于 2016-5-14 15:25
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。”
这是那位@superth 坛友自己主动说的，你不找他见识一下，为什么找我。。。
yuen95mod1 发表于 2016-5-14 15:32
那麼你也說說你在那家大公司做高層唄，讓我們見識一下
“superth 发表于 2016-5-14 15:25
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专业。”
这是那位@superth 坛友自己主动说的，你不找他见识一下，为什么找我。。。
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:26
中国企业，有一些通病：
1、竞争方式偏激。
在CD你发的帖子，都有啥事实和逻辑？除了扯淡还是扯淡，无知当有趣？
中国企业，有一些通病：
1、竞争方式偏激。
在CD你发的帖子，都有啥事实和逻辑？除了扯淡还是扯淡，无知当有趣？
superdirex 发表于 2016-5-14 15:37
在CD你发的帖子，都有啥事实和逻辑？除了扯淡还是扯淡，无知当有趣？
那么，请你来说说，你的事实和逻辑吧。。。
在CD你发的帖子，都有啥事实和逻辑？除了扯淡还是扯淡，无知当有趣？
那么，请你来说说，你的事实和逻辑吧。。。
开口闭口中国大陆的，莫不是台巴子？台巴子那眼界和尿性，地球人都清楚，建议你还是别扯淡了，台巴子的智商不适合
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:34
高铁不是竞争，是行政垄断的，铁道部分果果，你分一半，我分一半，现在不用分了，2家厂合并了，一起斗 ...
哪个能独立完成高铁的国家不是垄断？！德国，日本，法国。德国国家铁路公司刚刚因为西门子慢的令人难以忍受的交货期，说要买中车的产品，西门子就跳脚出来急了。
你看这些看着牛逼的，如果真的敢公平地放开市场，死的一个比一个难看。
高铁不是竞争，是行政垄断的，铁道部分果果，你分一半，我分一半，现在不用分了，2家厂合并了，一起斗 ...
哪个能独立完成高铁的国家不是垄断？！德国，日本，法国。德国国家铁路公司刚刚因为西门子慢的令人难以忍受的交货期，说要买中车的产品，西门子就跳脚出来急了。
你看这些看着牛逼的，如果真的敢公平地放开市场，死的一个比一个难看。
“superth 发表于 2016-5-14 15:25
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专 ...
你也說自己見識不少嘛，想知道你在那家大公司做高層不行嗎？讓我提高一下水平也好
你了解的东西还是太少，我就在国内企业中接触过世界领先的，非常专 ...
你也說自己見識不少嘛，想知道你在那家大公司做高層不行嗎？讓我提高一下水平也好
yuen95mod1 发表于 2016-5-14 16:02
你也說自己見識不少嘛，想知道你在那家大公司做高層不行嗎？讓我提高一下水平也好
建议你可以找本贴里的@superdirex，@superth嘛。。。
你也說自己見識不少嘛，想知道你在那家大公司做高層不行嗎？讓我提高一下水平也好
建议你可以找本贴里的@superdirex，@superth嘛。。。
建议你可以找本贴里的@superdirex，@superth嘛。。。
可是從你的言論裡覺得你無所不識水平高得多了，所以想先請教你在那家先進大公司做高層高管讓我見識一下。如果你覺得我水平太低不值得你去分享的話那就算了
可是從你的言論裡覺得你無所不識水平高得多了，所以想先請教你在那家先進大公司做高層高管讓我見識一下。如果你覺得我水平太低不值得你去分享的話那就算了
yuen95mod1 发表于 2016-5-14 16:17
可是從你的言論裡覺得你無所不識水平高得多了，所以想先請教你在那家先進大公司做高層高管讓我見識一下 ...
不需要分享，我并不是觉得你水平太低，因为不需要而已，分享的前提是朋友、家人、很熟的熟人，哈
可是從你的言論裡覺得你無所不識水平高得多了，所以想先請教你在那家先進大公司做高層高管讓我見識一下 ...
不需要分享，我并不是觉得你水平太低，因为不需要而已，分享的前提是朋友、家人、很熟的熟人，哈
不需要分享，我并不是觉得你水平太低，因为不需要而已，分享的前提是朋友、家人、很熟的熟人，哈
既然你分享了一小部分你的先进理论我觉得很受用，想请你做客教授一下也可以呗，时间和报酬可以商量的
既然你分享了一小部分你的先进理论我觉得很受用，想请你做客教授一下也可以呗，时间和报酬可以商量的
yuen95mod1 发表于 2016-5-14 16:26
既然你分享了一小部分你的先进理论我觉得很受用，想请你做客教授一下也可以呗，时间和报酬可以商量的
没兴趣教授，就喜欢在坛里与不确定的坛友聊天，完全无负担，自由自在，想到什么说什么，有没有人搭理，无所谓，哈
既然你分享了一小部分你的先进理论我觉得很受用，想请你做客教授一下也可以呗，时间和报酬可以商量的
没兴趣教授，就喜欢在坛里与不确定的坛友聊天，完全无负担，自由自在，想到什么说什么，有没有人搭理，无所谓，哈
高端前道光刻机本身就不是很批量化的产品，从光源到机电部分精度要求都超高，所以ASML货出来也很慢。。。。
没兴趣教授，就喜欢在坛里与不确定的坛友聊天，完全无负担，自由自在，想到什么说什么，有没有人理，无 ...
想到什么就说什么，原来如此。果然是个人才
想到什么就说什么，原来如此。果然是个人才
做好一件事不难。
难的是让喷子们闭嘴。
难的是让喷子们闭嘴。
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
喜欢打价格战，是因为过去中国人造的产品人人都能造。人人都来竞争。如果是技术门槛高，能做到人无我有的东西。谁脑子抽了打价格战？
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
喜欢打价格战，是因为过去中国人造的产品人人都能造。人人都来竞争。如果是技术门槛高，能做到人无我有的东西。谁脑子抽了打价格战？
中国企业，有一些通病：
1、竞争方式偏激。
哥们，你地图炮了，中国企业就一定是你说的那样？
1、竞争方式偏激。
哥们，你地图炮了，中国企业就一定是你说的那样？
ehnd20 发表于 2016-5-14 15:09
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
西方人也不是一开始就天天做好，件件做好的。无论是虚无的匠人精神，还是实际的成品率，都是需要经验的积累和人员的长期培养的。但是不能因为现在中国做的不好就不做了，那永远也做不好了。不能因噎废食
中国人把一件产品做好，并不太难，难的是件件做好，天天做好。
因为中国人热衷于价格战，所以，不大 ...
西方人也不是一开始就天天做好，件件做好的。无论是虚无的匠人精神，还是实际的成品率，都是需要经验的积累和人员的长期培养的。但是不能因为现在中国做的不好就不做了，那永远也做不好了。不能因噎废食
普加乔夫的眼镜 发表于 2016-5-14 16:43
喜欢打价格战，是因为过去中国人造的产品人人都能造。人人都来竞争。如果是技术门槛高，能做到人无我有的 ...
中国人并不是一个整体，先把老外打跑，然后，自己对打价格战，各地都有补贴，谁怕谁？
国内对打，还跑国外去对打价格战，不管有没有老外参与，照打，狠狠地打价格战。不分中外，只有敌我。。。
普加乔夫的眼镜 发表于 2016-5-14 16:43
喜欢打价格战，是因为过去中国人造的产品人人都能造。人人都来竞争。如果是技术门槛高，能做到人无我有的 ...
中国人并不是一个整体，先把老外打跑，然后，自己对打价格战，各地都有补贴，谁怕谁？
国内对打，还跑国外去对打价格战，不管有没有老外参与，照打，狠狠地打价格战。不分中外，只有敌我。。。
dede200 发表于 2016-5-14 16:48
哥们，你地图炮了，中国企业就一定是你说的那样？
喷子不需要实际理由，子虚乌有的，拿来用着更合适，你问他要证据，他一准给你扯别的
哥们，你地图炮了，中国企业就一定是你说的那样？
喷子不需要实际理由，子虚乌有的，拿来用着更合适，你问他要证据，他一准给你扯别的
这位巴子又地图炮了，中高端光刻机大陆只有个别所院在研究而且还没工业化生产，根本不存在什么内部价格战。。