七星电子承担国家科技重大专项“28-14nm原子层沉积系统 ...

来源:百度文库 编辑:超级军网 时间:2024/03/29 19:21:19
http://www.cfi.net.cn/p20151124000908.html

2015年11月23日,本公司接到“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专
项(以下简称“02专项”)实施管理办公室下发的《关于02专项2015年度项目立
项批复的通知》(ZX02[2015]018号),根据该通知的内容,本公司申请承担的
国家科技重大专项2015年度项目“28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产
业化”已完成立项审批,项目经费资金已完成预算核定。


根据该通知后附的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项2015年立
项项目(课题)经费预算核定表,本公司承担的“28-14nm原子层沉积系统(ALD)
产品研发及产业化”项目经费资金金额合计55,144万元,其中,中央财政核定资
金总额16,098万元,地方政府配套资金总额19,997万元,企业自筹其余部分资金。


该事项对公司生产经营的影响:原子层沉积系统(ALD)是半导体高世代成
膜关键设备,通过项目实施,公司的半导体装备技术能力将从现有的
65nm-45nm-28nm提升到28nm-14nm,既符合半导体技术进步要求,又能满足市场需
要,对扩大公司产品种类范围,提升公司产品核心竞争力具有重要的现实意义。
http://www.cfi.net.cn/p20151124000908.html

2015年11月23日,本公司接到“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专
项(以下简称“02专项”)实施管理办公室下发的《关于02专项2015年度项目立
项批复的通知》(ZX02[2015]018号),根据该通知的内容,本公司申请承担的
国家科技重大专项2015年度项目“28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产
业化”已完成立项审批,项目经费资金已完成预算核定。


根据该通知后附的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项2015年立
项项目(课题)经费预算核定表,本公司承担的“28-14nm原子层沉积系统(ALD)
产品研发及产业化”项目经费资金金额合计55,144万元,其中,中央财政核定资
金总额16,098万元,地方政府配套资金总额19,997万元,企业自筹其余部分资金。


该事项对公司生产经营的影响:原子层沉积系统(ALD)是半导体高世代成
膜关键设备,通过项目实施,公司的半导体装备技术能力将从现有的
65nm-45nm-28nm提升到28nm-14nm,既符合半导体技术进步要求,又能满足市场需
要,对扩大公司产品种类范围,提升公司产品核心竞争力具有重要的现实意义。
28nm以下膜沉积的关键设备
北方微电子啊~
好像ALD设备国内只有一个叫科民的在做
jeciq 发表于 2016-2-25 22:49
好像ALD设备国内只有一个叫科民的在做
找到了
更令国人振奋的是,半浮栅晶体管中关键栅隔离介质是在我国自主研发生产的仪器设备上成功完成的(嘉兴科民公司的ALD设备)。该设备由中科院微电子研究所夏洋团队研发成功(重大科技专项),与嘉兴科民电子公司联合进行开发生产,具有国际领先的性能,已销往北大、复旦、西安电子科大、南大等多家科研机构及出口美国。

复旦科学家正在使用嘉兴科民公司的ALD设备
制备新型晶体管。 8月12日CCTV 新闻联播